气相沉积法

摘要： 为了研究碳纳米管纤维在气相沉积法反应器内的运动形态,并分析纤维运动形态对生成碳纳米管纤维的影响,首先采用数值模拟的方法对气相沉积法反应器内的气体流场进行数值求解,得到反应器内的气体流场的速度;然后在此气体流场中建立碳纳米管纤维模型并对其进行受力分析,得到纤维动力学方程,与气体流场控制方程组联立得纤维/气体两相流动模型;最后利用求解得到反应器内的气体速度,再对纤维动力学方程进行数值求解,从而得到碳纳米管纤维在反应器内的运动形态。模拟结果表明:气相沉积法反应器内的气体流场呈层流状态;由于气体从中心流入,纤维反应器中心轴线附近有较大波动,中心轴线附近气体流动区域逐渐扩大,加速度方向也产生改变,使得气体速度方向、大小均发生改变,纤维通过波动纠缠可以增加纤维束中纤维的连接,使之不易分散开来;而靠近壁面的气体流动逐渐稳定,导致靠近壁面的纤维运动形态逐渐平缓。通过模拟得到的纤维运动形态对形成碳纳米管纤维束有良好的促进作用。

摘要： 为制备具超疏水功能且具有优良抗菌性的玻璃,采用气相沉积法将玻璃片表面用氨基的硅烷偶联剂处理制备端氨基玻璃,再经葡萄糖、酒石酸、银氨溶液浸泡在端氨基玻璃表面修饰1层纳米银膜增加其表面粗糙度,同时结合低表面能物质(十二烷基硫醇的乙醇溶液)修饰2 h,构造出具有超疏水和优异抗菌性的功能表面;通过电子显微镜扫描、XRD测定、接触角分析仪分析及抗菌性能试验分析来表征改性玻璃表面纳米银的负载情况、超疏水性能以及抗菌性。结果表明:超疏水抗菌玻璃表面形成了强度较高的纳米银晶体颗粒,水滴在其表面具有较大的接触角(接近165°),且超疏水和纳米银的协同抗菌效果显著,具备优异的抗菌性能;纳米银膜层具有良好的稳定性,通过气相沉积法在玻璃表面构造纳米银膜,结合低表面能物质修饰制备的超疏水玻璃拥有良好且稳定的超疏水和抗菌性能。

摘要： 以甲基三甲氧基硅烷为改性剂,通过气相沉积法制备了超疏水亲油化妆棉,利用扫描电子显微镜和傅立叶红外光谱对化妆棉的微观形貌和化学结构进行表征,探究了该化妆棉的油水分离性能。结果表明:改性剂水解后与化妆棉高分子链中的羟基发生脱水反应,成功地实现了化妆棉的疏水化改性,改性化妆棉的水接触角为151°,油接触角为0°,具有良好的疏水亲油性,能选择性吸附水中的油污,油水分离效率高,分离通量为22918 L/(h·m^(2)),且重复使用10次后分离效率仍高于95.3%。重力驱动下可以有效实现乳液的油水分离,对常见生活污水及强酸、强碱水溶液均具有良好的防污效果,并具有良好的自清洁性能,在油水分离领域具有广阔的应用前景。

摘要： 二硫化钼(MoS2)作为十分热门的材料,以其独特的物理和化学特性备受关注.纳米MoS2因其具有可调控带隙、 巨大的比表面积、丰富的边缘位点及良好的化学稳定性等优异的理化性质,在光电器件、催化、锂离子电池及超级电容器、润滑等领域有巨大的应用价值.介绍了采用化学气相沉积(CVD)法,在氩气保护氛围下,以三氧化钼粉末与硫粉作为反应物,在管式炉中将反应温度保持在750°C,在二氧化硅衬底上沉积生长MoS2纳米管,并对其进行SEM、TEM、XRD和Raman等表征和分析.XRD和Raman表征结果显示,样品是(002)取向生长且结晶晶粒大小约为22 nm的体型MoS2.另外根据SEM和TEM照片所显示的微结构,对MoS2纳米管的形成原因和生长过程进行了分析,认为MoS2在生长过程中为了降低结构能而弯曲并堆叠生长,并且在弯曲的纳米片上堆叠生长的纳米片由于层间的范德瓦尔斯力使每层生长方向的角度越来越大,当生长角度达到60°左右时,MoS2开始沿轴向方向垂直堆叠生长,并最终形成单开口的管状结构.这是一种与传统纳米管生长完全不同的生长方式.

摘要： 探讨纳米银纺织品复合材料的研究现状和应用进展.介绍了纳米银纺织品复合材料的常用制备方法,总结了国内外纳米银纺织品复合材料的主要研究成果,分析了纳米银纺织品复合材料在抗菌性、防紫外线性、防静电性、疏水性等方面的研究成果,并对纳米银的应用进行了展望.认为:提高纳米银和纺织品的结合力,将纳米银和其他功能性纳米材料共同复合是下一步研究的重点.

摘要： 近日,中国科学院深圳先进技术研究院集成所功能薄膜材料研究中心研究员唐永炳团队联合医药所人体组织与器官退行性中心研究员赵颖团队,研发出一种兼具自清洁、抗菌、抗生物粘附、抗磨损以及抗腐蚀特性的新型仿生多级次金刚石功能膜,为医疗防护和海洋仪器防污提供解决方案.团队通过自主研发的分步植晶气相沉积法,成功构造出具有植物叶片仿生结构的超疏水微纳分级金刚石功能膜,实现了如荷叶出淤泥而不染的自清洁、抗黏附功能,同时具有超高的机械性能和化学稳定性.与无涂层钛合金相比,仿生金刚石薄膜抑制了99%大肠杆菌的吸附.在海洋环境中,与无镀膜钛合金和石英玻璃相比,仿生金刚石薄膜降低了95%以上绿藻的黏附.另外,仿生金刚石薄膜的抗磨损性能是无镀膜钛合金的20倍以上.浸泡在腐蚀性液体中1个月后,物理化学性质未发生改变,且抗菌性保持不变.

摘要： 随着科学技术的飞速发展,用于机械加工、矿山采掘的硬质合金刀具在不断的更新,刀具涂层技术也在日趋多样化和复杂化,对生产工艺的要求也随之提高.文中介绍了硬质合金刀具涂层的2种主要制备方法即化学气相沉积法(CVD)和物理气相沉积法(PVD),简述了刀具涂层即单组分涂层、多组分涂层、多层涂层和梯度涂层的发展,概括了几种新型涂层即金刚石涂层、类金刚石涂层、立方氮化硼涂层和氮化碳涂层,对未来硬质合金刀具涂层的发展方向进行了展望.

摘要： 随着科学技术的飞速发展,用于机械加工、矿山采掘的硬质合金刀具在不断的更新,刀具涂层技术也在日趋多样化和复杂化,对生产工艺的要求也随之提高.文中介绍了硬质合金刀具涂层的2种主要制备方法即化学气相沉积法(CVD)和物理气相沉积法(PVD),简述了刀具涂层即单组分涂层、多组分涂层、多层涂层和梯度涂层的发展,概括了几种新型涂层即金刚石涂层、类金刚石涂层、立方氮化硼涂层和氮化碳涂层,对未来硬质合金刀具涂层的发展方向进行了展望.

摘要： 以均苯四甲酸二酰亚胺(PMD)为原料,采用真空气相沉积法制得PMD纳米自组装材料,由此建立了测定三硝基甲烷的荧光化学传感新方法.采用真空气相沉积法自组装PMD纳米材料,并用扫描电镜、透射电镜、红外光谱、紫外光谱、差热分析及荧光光谱对材料进行了表征.扫描电镜图像显示,PMD纳米材料呈带状网络结构,长度为30 ～ 100 μm;TEM图像表明,PMD纳米带宽度为100 ～ 300 nm,其中纳米线直径为120 ～ 220nm.在PMD分子自组装过程中,分子间氢键、π-π等弱相互作用是构筑纳米结构的主要驱动力.一些较低沸点有机分子蒸汽对PMD纳米材料的荧光(λ./λem=377 nm/495 nm)有猝灭作用,尤其是PMD纳米材料对三硝基甲烷有灵敏的响应.测定三硝基甲烷的线性范围为2.19×10-5～ 1.37×10-4 mol/L,R2=0.995,检出限为1.02×10-6 mol/L.%Pyromellitic diimide(PMD) nanomaterial was prepared by vacuum vapor deposition and molecular self-assembly method using PMD as raw material.A new method for determination of trinitromethane was established by fluorescence chemical sensor.The properties of PMD nanomaterials synthesized by vacuum vapor deposition method were characterized by scanning electron microscopy,transmission electron microscopy,infrared spectroscopy,UV spectroscopy,differential thermal analysis and fluorescence spectroscopy.The scanning electron microscopy (SEM) results show that the PMD nanomaterial has a banding network with a length of 30-100 μm.TEM images show that the PMD nanobelts have a width of 100-300 nm,and the nanowires have a diameter of 120-220 nm.The main driving force for constructing the nanostructures of PMD in the self-assembly process is from the intermolecular hydrogen bonds and π-π weak interaction.The experiments show that some of the lower boiling organic molecules have a strong effect on the fluorescence quenching of PMD nanomaterials,especially trinitromethane does a sensitive response to PMD nanostructures.The linear range of trinitromethane is from 2.19 × 10-5 to 1.37 × 10-4 mol/L(R2 =0.995) with the detection limit of 1.02 × 10-6 mol/L.

摘要： Janus纳米粒子的非对称结构赋予其在空间结构和物理化学性质的各向异性,在半导体、催化、分散介质、生物医药等领域表现出优于普通纳米材料特性,是近年来纳米材料的研究热点.近些年来的研究报道多集中在含二氧化硅组份的Janus纳米粒子上,按其化学组成主要分为无机物?二氧化硅和聚合物?二氧化硅两大类.按此分类分析比较了Janus纳米粒子的制备方法,并介绍了其在药物输送、表面活性剂和催化等领域的应用现状.

摘要： 纳米碳纤维因其优异的性质表现了广阔的应用前景,但是低密度、低机械性能等缺陷限制了其应用.本文以乙烯一氢气(C2H4/H2)为碳源,无负载型Cu-Ni合金为催化剂,采用化学气相沉积法(CVD)在自制的模具内制备出了长50mm、直径25 mm的具有三维网络结构的块状纳米碳纤维,此块体的密度可达到0.3g/cm3,比表面积最高可达250 m2/g.压缩试验表明,块状纳米碳纤维为弹性体,压缩弹性模量最高达到2.O kPa,具有一定的机械性能.可望应用于复合材料增强体以及催化剂载体等领域.

摘要： 石墨烯是一种由六边形蜂房结构紧密堆积碳原子形成的二维材料,具有许多优异的性能.石墨烯制备方法不同,所获得石墨烯的形状、尺寸和质量也均不同,目前在纺织印染行业,最主要选用的是氧化还原的化学方法,同时还有气相沉积法等.介绍了石墨烯在纺织品功能整理中的应用,包括防电磁屏蔽、阻燃和抗菌整理等.要实现石墨烯的产业化应用,还需解决石墨烯与纤维基体的相容性差问题.

摘要： 金刚石的应用主要分为两类,一类是用于制作金刚石工具,如磨具、刀具等;另一类是用于制备金刚石功能材料,如导热材料.介绍了金刚石与金属、碳化硅或树脂等新型先进复合材料的研究现状、制备方法及主要应用前景.金刚石/金属复合材料与金刚石/碳化硅复合材料主要采用气相沉积法和烧结法来制备,烧结可以采用高压高温、脉冲电流烧结、微波、等离子体和反应渗透烧结等多种方式和热源,所制备的复合材料是热管理应用的理想材料,也可以用作耐磨材料.金刚石/树脂复合材料主要把金刚石共混到树脂基体中,可以提高树脂的导热率,或用作精密抛光材料.

摘要： 采用催化化学气相沉积法,以Ni/mica为催化剂、乙烯为碳源,制备了Ni-CNFs/mica 复合材料,并通过透射电子显微镜、H2的程序升温还原、拉曼光谱和X射线衍射分析对Ni-CNFs/mica 复合材料的形貌和物理-化学性能进行了表征。结果表明,Ni-CNFs/mica 中CNFs以顶部生长模式为主,纤维的直径范围在5～60 nm 之间.Ni-CNFs/mica 中CNFs的石墨化程度较高和不含有镍的氧化物.Ni-CNFs/mica催化剂具有较高的氨分解活性和高温稳定性.

摘要： 基于超疏水表面的制备原理，以低表面能的含硅烷烃为原料，利用常温化学气相沉积法在竹材表面自组装形成直径大约30-80nm左右的纳米棒阵列或纳米线网状结构。研究结果表明，改性后竹材横切面接触角最大达到157°，具备了超疏水表面特性；改性后竹材横切面的疏水性能明显优于径切面和弦切面，但整个表面颜色会有不同程度地加深。该研究证实了利用纳米技术赋予竹、木等亲水纤维素材料以超强疏水性能的可能性，将为上述材料提供更为广阔的应用前景。

摘要： 研究了气相沉积方法制备的Co掺杂ZnO纳米线的结构及其磁学性能。结果表明,Co离子代替Zn离子的位置进入ZnO晶格,样品的磁性能对实验条件的依赖性比较大,通入适量空气的条件下制备的样品具有室温铁磁性。

摘要： 金属纳米材料的合成已经引起了广泛的关注，因其在纳米装置及VLSI电路设计中的具有广泛的应用前景。因此，本研究采用方法简单条件温和的金属有机化合物气相沉积法进行合成研究，以高度有序介孔材料SBA-15为模板，铜有机化合物在其孔中沉积、分解形成金属铜，成功得到了铜纳米线，棒结构材料。这对于纳米线的合成研究是一个重要的进步，不仅是因为该方法工艺简单，更重要的是通过不同孔径模板材料的选择为纳米线尺寸的可调节性提供了可能。

摘要： 随着磁记录密度的不断提高,磁记录的单元变得越来越小,为了保证较高的信噪比,晶粒尺寸也要求越来越小.由于热扰动的影响,当铁磁材料的颗粒尺寸减小到几个纳米时,就会出现超顺磁现象.为了避免超顺磁的出现,材料需要大的磁晶各向异性常数.L10-FePt以其高的磁晶各向异性能、高的矫顽力以及优异的化学稳定性而成为未来高密度垂直磁记录介质的候选材料之一.无论用物理气相沉积法(PVD)还是化学自组装法得到的制备态FePt薄膜大多为fcc结构的FePt,须经后续退火处理方能得到fct结构的L10-FePt.然而当退火温度较高时,FePt颗粒容易聚集长大,不利于磁纪录.在用PVD法制备FePt薄膜的研究领域中,人们尝试了基片原位加热、离子辐照等多种方法降低FePt薄膜的有序化温度,并取得了较大的成功.而在降低化学自装FePt薄膜有序化温度方面,研究工作报道的较少.本文对化学自装FePt薄膜采用快速退火的方法得到L10-FePt,并研究退火时间和温度对薄膜微结构的影响。

摘要： Basic properties of graphene2Review of graphene-silicon solar cells3Graphene nanoflakes prepared by PECVD and relevant application in solar cellsCONTENT1Basic properties of graphene2Review of graphene-silicon solar cells3Graphene nanoflakes prepared by PECVD and relevant application in solar cellsCONTENT1Basic properties of graphene2Review of graphene-silicon solar cells3Graphene nanoflakes prepared by PECVD and relevant application in solar cells。

摘要： Basic properties of graphene2Review of graphene-silicon solar cells3Graphene nanoflakes prepared by PECVD and relevant application in solar cellsCONTENT1Basic properties of graphene2Review of graphene-silicon solar cells3Graphene nanoflakes prepared by PECVD and relevant application in solar cellsCONTENT1Basic properties of graphene2Review of graphene-silicon solar cells3Graphene nanoflakes prepared by PECVD and relevant application in solar cells。

摘要： 本发明涉及一种用于在一个或多个衬底上涂覆涂层的方法，所述涂层的成分以至少两种气体的形式借助于一进气装置输入工艺过程腔室(7)，其中，所述气体分别被引入所述进气装置的叠置的腔室(1，2)，并且从那通过连接至所述工艺过程腔室(7)的气体流出孔(3，4)进入所述工艺过程腔室(7)。为了进一步发展开头所述的、用于形成单层涂层的方法或装置，本发明建议，由于两个腔室中的每个各分为至少两个基本上全等地叠置的隔间(1a，1b；2a，2b)，所述两种过程气体在周向相互分隔地进入所述工艺过程腔室，因此，环形地布置在形成所述工艺过程腔室(7)的底部的衬底支架(9)上的衬底(10)由于所述衬底支架(9)围绕其轴线(9)的转动依次暴露在不同的过程气体中。

摘要： 本发明揭示了一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法，一次性全表面气相沉积支架包括共轴的第一支架和第二支架，所述第一支架上形成有至少一个第一支撑平面，所述第二支架上形成有与每个第一支撑平面匹配且共轴的第二支撑平面；第一状态下，每个所述第一支撑平面高于与其对应的所述第二支撑平面；第二状态下，每个所述第一支撑平面低于与其对应的所述第二支撑平面。本发明设计精巧，采用两套支架结构，并使一支架中的每个支撑平面可高于或低于另一支架中的对应支撑平面，可以自动切换与工件接触的支架，进而改变工件被遮蔽的位置，实现一次性沉积，自动化程度高，操作简单，不需要停止沉积过程，减少了时间成本，大大提高了沉积效率。

摘要： 本发明属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种热丝法化学气相沉积设备，包括腔体、载具、加热组件及调压组件，其中，腔体至少设置有两个腔室，每个腔室均设置有进气口和出气口；载具包括竖直紧固于腔室内的升降台、以及设置于升降台的载盘，载盘设置有1～3排待镀膜的工件；加热组件包括加热丝，以及电极组件；电极组件与供电装置电连接；调压组件用于腔室压力调节及腔室中气体的输入输出。本发明能够有效提升工件镀膜效率及其灵活性，且镀膜一致性和均匀性好，同时还能够有效节省镀膜成本。此外，本发明还提供了一种采用上述热丝法化学气相沉积设备的化学气相沉积方法，该方法操作方便灵活，能够有效提升工件镀膜效率，节省工件镀膜成本。

摘要： 本发明公开了一种化学气相沉积系统、方法及系统的装置。所述系统包括涂覆室、流体引入系统和辐射加热元件的装置。所述涂覆室具有围绕涂覆区域延伸的封闭边界以及以相对于所述封闭边界的轴向取向定位的通路部分，所述涂覆室处于固定且水平的位置。所述流体引入系统包括真空泵和流体引入装置，所述流体引入系统被布置和设置成将流体引入所述涂覆室以便在所述涂覆室中对制品进行化学气相沉积涂覆。所述辐射加热元件的装置定位在所述涂覆室之外并且与所述涂覆室的所述封闭边界到所述涂覆室内的加热区热连接。所述方法使用所述系统。所述装置包括不止一个所述化学气相沉积系统。

摘要： 本发明涉及一种用于在一个或多个衬底上涂覆涂层的方法，所述涂层的成分以至少两种气体的形式借助于一进气装置输入工艺过程腔室(7)，其中，所述气体分别被引入所述进气装置的叠置的腔室(1，2)，并且从那通过连接至所述工艺过程腔室(7)的气体流出孔(3，4)进入所述工艺过程腔室(7)。为了进一步发展开头所述的、用于形成单层涂层的方法或装置，本发明建议，由于两个腔室中的每个各分为至少两个基本上全等地叠置的隔间(1a，1b；2a，2b)，所述两种过程气体在周向相互分隔地进入所述工艺过程腔室，因此，环形地布置在形成所述工艺过程腔室(7)的底部的衬底支架(9)上的衬底(10)由于所述衬底支架(9)围绕其轴线(9)的转动依次暴露在不同的过程气体中。

摘要： 本发明揭示了一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法，一次性全表面气相沉积支架包括共轴的第一支架和第二支架，所述第一支架上形成有至少一个第一支撑平面，所述第二支架上形成有与每个第一支撑平面匹配且共轴的第二支撑平面；第一状态下，每个所述第一支撑平面高于与其对应的所述第二支撑平面；第二状态下，每个所述第一支撑平面低于与其对应的所述第二支撑平面。本发明设计精巧，采用两套支架结构，并使一支架中的每个支撑平面可高于或低于另一支架中的对应支撑平面，可以自动切换与工件接触的支架，进而改变工件被遮蔽的位置，实现一次性沉积，自动化程度高，操作简单，不需要停止沉积过程，减少了时间成本，大大提高了沉积效率。

摘要： 本发明涉及用于通过化学气相沉积法制造铱薄膜或者铱化合物薄膜的化学气相沉积用原料，该化学气相沉积用原料由在铱上配位有环丙烯基或其衍生物以及羰基配体的铱配合物构成。本发明中应用的铱配合物即使在应用氢等还原性气体的情况下也可以制造铱薄膜。(式中，环丙烯基配体的取代基R1～R3各自独立地为氢、或者碳数1以上4以下的直链状或支链状的烷基)。

摘要： 本发明提供一种化学气相沉积用原料，其用于通过化学气相沉积法制造铂薄膜或铂化合物薄膜，该化学气相沉积用原料包含由下式所示的、环辛二烯及烷基阴离子与2价铂配位的有机铂化合物。在此，R

摘要： 本发明涉及用于通过化学气相沉积法制造铱薄膜或者铱化合物薄膜的化学气相沉积用原料，该化学气相沉积用原料由在铱上配位有环丙烯基或其衍生物以及羰基配体的铱配合物构成。本发明中应用的铱配合物即使在应用氢等还原性气体的情况下也可以制造铱薄膜。(式中，环丙烯基配体的取代基R1～R3各自独立地为氢、或者碳数1以上4以下的直链状或支链状的烷基。)

摘要： 本发明提供一种化学气相沉积用原料，其用于通过化学气相沉积法制造铂薄膜或铂化合物薄膜，该化学气相沉积用原料包含由下式所示的、环辛二烯及烷基阴离子与2价铂配位的有机铂化合物。在此，R