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多层膜

多层膜的相关文献在1987年到2023年内共计2718篇,主要集中在物理学、一般工业技术、无线电电子学、电信技术 等领域,其中期刊论文728篇、会议论文96篇、专利文献391378篇;相关期刊289种,包括材料导报、功能材料、光学精密工程等; 相关会议70种,包括第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)、2007年中国国际工业博览会科技论坛暨上海市激光学会2007年学术年会、2007中德双边高级专家X射线光学研讨会等;多层膜的相关文献由4871位作者贡献,包括王占山、张众、韩秀峰等。

多层膜—发文量

期刊论文>

论文:728 占比:0.19%

会议论文>

论文:96 占比:0.02%

专利文献>

论文:391378 占比:99.79%

总计:392202篇

多层膜—发文趋势图

多层膜

-研究学者

  • 王占山
  • 张众
  • 韩秀峰
  • 朱京涛
  • 陈玲燕
  • 黄秋实
  • 金春水
  • 王风丽
  • 王洪昌
  • 曹健林
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  • 会议论文
  • 专利文献

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作者

    • 梁柯林; 李爱国; 董晓浩; 徐中民; 吕丽军
    • 摘要: 上海光源建立的同步辐射硬X射线纳米探针线站配置了一台多层膜单色器以满足纳米尺度的研究需求。为了了解高热负载作用下多层膜单色器中膜的温度情况,需要对其进行有限元热分析。由于使用目前的方法存在诸多不便,提出一种基于ANSYS Workbench的多层膜热分析方法。首先在Workbench DM中建立多层膜模型,使用多套Shell132单元模拟多层膜结构;其次给每层子膜赋予厚度和材料属性,通过单元类型控制,面控制和尺寸控制密化热载区域并使多层膜和基底之间网格节点对应;最后引入表面效应单元SURF152施加非均匀热流密度,再用约束方程连接表面效应单元,多层膜和基底上表面的温度通过求解,就能得到任一膜层的温度分布数据。还进行了方法验证,证明其可靠性,然后使用该方法完成了纳米探针线站非均匀热载作用下200个周期Ru/C多层膜的热分析。结果表明这种基于ANSYS Workbench的纳米探针多层膜热分析方法具有操作简便、交互性好、处理效率高的优点。
    • 万中伊欣; 刘东青; 余金山
    • 摘要: 辐射制冷是一种备受关注的新型降温方式,该方式利用大气透明窗口(ATW)向外太空辐射传热,实现被动降温。一般日间辐射制冷材料应在8~13μm波段内具有高发射率,在太阳光谱波段吸收率低于5%。辐射制冷研究可以绿色低耗的方式为建筑节能、服饰降温、冷藏冷凝、电池降温等提供方案,有着广阔的应用前景。如何使辐射材料较好地匹配理想辐射光谱是目前最主要的问题。近年来研究者多从辐射材料结构入手,在提高8~13μm窗口波段发射率的同时,通过构建具备光子带隙或发生Mie散射的结构等方式,减少太阳辐射吸收,并取得了显著成果。通过高聚物掺杂纳米粒子、不同折射率材料堆叠等结构设计,使辐射制冷材料的红外选择性得到了显著提升。一些高聚物在8~13μm波段内具有高发射率,同时可有效隔绝体系外的热量输入。将高聚物与发射光谱互补的掺杂纳米粒子相结合,可覆盖整个目标波段,提高其制冷性能。层堆叠模式参考了光子晶体阻断特定波长电磁波传播的特性,设计了不同折射率层交替排列,在不影响高发射层向外辐射红外能量的同时降低了材料对太阳光的吸收。本文主要综述了近年日间辐射制冷材料的研究进展,按其结构形态,将前沿辐射制冷材料分为薄膜类、涂层类、织物类和块材类,并阐述了辐射制冷器在建筑、电池降温等方面的实际应用。
    • 温佳源; 宋贵宏; 赵鑫; 贺春林
    • 摘要: 先在铜基体上电镀Ni层,接着溅射沉积Ni-Cr和Ni-Cr-Al-Si合金薄膜。对比了Ni层、Ni/Ni-Cr复合膜层和Ni/Ni-Cr/Ni-Cr-Al-Si复合膜层的相结构、微观形貌和耐蚀性。结果表明,Ni电镀层表面光滑,Ni/Ni-Cr复合膜层和Ni/Ni-Cr/Ni-Cr-Al-Si复合膜层表面都由致密、连续的团簇颗粒组成。铜基体与Ni电镀层之间、Ni电镀层与溅射沉积薄膜之间都紧密结合。3种试样在海水中的腐蚀机制相同,Ni/Ni-Cr/Ni-Cr-Al-Si复合膜层的耐蚀性最佳。
    • 顾赞扬; 黄亦捷; 褚清云; 员新雨; 李晓舟; 王林
    • 摘要: 为了解决染料污水处理问题,本文通过LbL技术,利用聚丙烯胺盐酸盐与葡聚糖交联得到的微凝胶和聚4-苯乙烯磺酸钠的静电自组装,将多层膜沉积在了模拟排污管(聚乙烯软管)内壁,并利用多层膜的高效负载能力对流经软管的模拟染料污水(甲基橙水溶液)进行净化,测定了最佳净化流速。采用极少量一定pH值的水溶液对染料分子进行完全脱附后,多层膜能够循环利用,这大大降低了使用成本,其在环境治理领域具有重要的意义。
    • 伊圣振; 黄秋实; 齐润泽; 张众; 王占山
    • 摘要: 发展精密X射线诊断技术对于惯性约束聚变(ICF)物理过程的研究具有重要意义。本文对同济大学精密光学工程技术研究所在高性能多层膜掠入射X射线光学方面的最新进展进行了较全面的介绍。针对ICF高时空分辨、能谱分辨和高集光效率诊断需求,从多通道掠入射X射线成像技术、多层膜掠入射X射线成像技术及应用效果几个方面,对目前研究进展进行了系统介绍。在多通道掠入射X射线成像方面主要介绍高分辨多通道KB成像系统及其高精度在线装调技术。在实现空间分辨优于5μm、十六通道成像的基础上,采用“物-诊断物镜-像”的高复位精度集成指示技术,有效保障了多通道KB系统的装置应用效果。在多层膜掠入射X射线成像方面,本文主要介绍多层膜分光器件的能谱调控和制备技术以及系统的精密瞄准技术。目前,多套基于多层膜阵列器件的多能谱X射线诊断设备已在激光装置上得到广泛应用,空间分辨率在3~5μm,诊断能点达到4个,技术指标显著优于国外同类器件,为国内ICF诊断提供了有力支撑。
    • 李阳; 徐均琪; 苏俊宏; 袁松松; 刘祺; 刘政
    • 摘要: 目的由于光学薄膜自身的残余应力,致使镀膜前后基底面型变化较大。针对这一问题,本文制备单层膜和激光高反膜,明确单层膜应力机制,以此研究不同膜系高反膜的应力情况及其面型变化,通过增加压应力补偿层减小面型变化,为制备微变型激光高反镜提供方法。方法从理论上分析单层膜残余应力机制,采用等效参考温度的方法代替光学薄膜本征应力的效果,通过仿真方法得到薄膜的本征应力。使用有限元分析和试验方法研究激光高反膜的残余应力情况。以单层膜试验为依据,使用等效参考温度、生死单元和载荷步技术,仿真分析多层膜–基系统的残余应力分布及其面型变化。采用电子束热蒸发技术制备不同的高反膜,通过Zygo激光干涉仪测试其镀膜前后的面型,分析基底初始面型、膜料和膜系对高反镜面型的影响。结果仿真发现,多层膜–基系统残余应力呈现层状分布,从基底到膜层由拉应力变为压应力,再由压应力变为拉应力。在残余应力作用下,整个多层膜–基系统呈凹形,位移呈环状分布。对于TiO_(2)/SiO_(2)组合,通过分析对比不同膜系下对应每一层膜层的残余应力及其对整体面型的影响,发现膜系G│(HL)^(10)H2L│A比G│(HL)^(10)H│A面型的变化更小。试验发现,通过增加压应力补偿层使得高反膜的残余应力减小,高反镜(熔石英基底,ϕ30 mm×2 mm)的面型基本没有变化(ΔPV=0.004λ),这与仿真结果一致。结论熔石英基底上TiO_(2)、HfO_(2)、H4和SiO_(2)的本征应力在残余应力中起主导作用,TiO_(2)、HfO_(2)和H4一般表现为拉应力,SiO_(2)表现为压应力。不同膜料组合的高反膜体系均表现为压应力。膜系G│(HL)^(10)H2L│A比G│(HL)^(10)H│A残余应力和面型变化更小,其残余应力为-39.70 MPa,比不加补偿层减小了22.26 MPa,面型基本没有变化。当加2L应力补偿层时,在满足光谱特性的基础上可以平衡多层膜整体残余应力。
    • 张哲; 伊圣振; 黄秋实; 陈晟昊; 李文斌; 张众; 王占山
    • 摘要: 极紫外正入射光学系统广泛应用于生物结构显微成像、等离子体诊断、太阳物理观测和极紫外光刻等领域中,对其开展深入研究具有重要意义。本文对同济大学精密光学工程研究所在极紫外正入射光学系统方面的最新进展进行介绍,列举了应用于超热电子诊断、微纳成像、极紫外辐照损伤及Z箍缩等离子体诊断等不同场景中的多套正入射光学系统。这些系统分别在相应的应用中实现了优异的性能表现:毫米级视场内微米级的空间分辨;几十微米级视场内亚微米的超高空间分辨;大数值孔径下的超高能量密度极紫外辐照及多能点多通道的时空间诊断。研究所在极紫外正入射光学系统研究中取得的进展为我国等离子体诊断设备的自主可控及高端制造装备的技术储备提供了有力支持。
    • 刘馨泽; 匡尚奇; 刁金玉; 林景全
    • 摘要: 为了确保基于Schwarzschild结构的极紫外光刻掩模缺陷检测系统的成像质量,本文应用等效工作面法对其进行了优化设计。将传统光学设计方法得到的Schwarzschild放大系统的优化设计反射面视为由多层膜和裸镜面形共同构成,应用多层膜的等效工作面法反演出最佳裸镜面形。设计结果表明,考虑多层膜的Schwarzschild非球面系统全视场调制传递函数达到衍射极限水平,系统两裸镜的最大面形梯度分别为5.9 μm和10.2 μm,适合检测和加工。本文为添加多层膜的光学成像系统能够达到衍射极限水平提供了一种具有较强实用性的设计方法,避免了多层膜严重降低系统成像质量的问题。
    • 黎思睿; 李佳; 刘科; 黄奕嘉; 李玲; 周晓林
    • 摘要: 为了实现在不同背景温度条件下的红外隐身,需要研究具有可调发射率的红外隐身材料.此外,多波段兼容隐身技术在现代军事和科技中具有重要的研究价值.本文设计了一种利用单一多层膜结构实现多光谱可调谐的超材料吸收器.利用Ge2Sb2Te5 (GST)相变材料的晶态和非晶态不同属性,该结构实现了在大气窗口8~13 μm波长范围内最大吸收率吸收从94.93%到9.19%的可控变化.而且通过控制中间态,结构对电磁波的吸收率可以实现连续变化.同时,该结构具有基于干涉效应的可调结构色,通过改变顶层薄膜的厚度,器件的颜色可以发生变化.因而同时实现了在红外及可见光两个波段对电磁波的独立调控功能.该超材料吸收器具有红外-可见光兼容隐身的潜在应用.
    • 王军; 张雷; 桂博恒; 朱颖; 屈绍波
    • 摘要: 人工结构红外选择辐射体,是指通过技术手段调控光谱发射率分布特征和幅值大小以改变自身辐射特性的结构/功能材料。由于其辐射特性可设计的特点,可用于能源、环境和军事等领域,具有丰富的应用前景和重要的应用价值。首先,围绕近年来人工结构红外选择辐射体的研究现状,对其设计方法进行总结分类。其次,介绍了基于亚波长单元结构的超材料、光子晶体和多层膜的红外选择辐射体设计原理及其研究现状,并分别指出了3种方法的适用范围及局限性。最后,结合评价体系、工程应用和发展趋势梳理出红外选择辐射体研究领域所面临的技术难点,为下一步发展提供建议并进行展望。
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