软X射线

摘要： 极光是行星大气的发光现象,普遍存在于太阳系行星,也被认为存在于太阳系外行星.极光辐射反映的是行星空间环境的高能粒子动力学过程.在太阳系内,木星具有最强的极光辐射,提供给我们重要的遥感手段来理解木星空间高能粒子环境.此外,木星的软X射线是太阳系最特殊一类极光现象,其产生机制显著区别于主要由电子沉降激发的木星的紫外极光.

摘要： 软X射线自由电子激光(FEL)光栅单色器的设计是个多目标优化任务,涉及到能量分辨能力、脉冲展宽、光斑投影大小、物距、像距、光栅线密度、光栅变线距等众多参数,优化起来十分复杂。本文提出了光栅单色器的统一优化方法模型,该模型把多目标优化任务转化为单目标(光栅焦点常数C;)优化任务。基于该模型,本文对比了三种软X射线FEL光栅单色器设计方案,并直观地对单色器能量分辨能力、脉冲展宽和光斑在光栅上投影大小进行评估。此外对这三种光栅单色器的设计方案进行了详细的计算,并绘制出了"C;-波长-优化参数"三元图。通过"C;-波长-优化参数"三元图,能够清晰地得到光栅单色器的能量分辨能力、脉冲展宽和光斑投影大小随着C;变化而变化的趋势。本项工作为光栅单色器的设计和优化提供指导作用。

摘要： 外种子型自由电子激光具有全相干、频谱稳定、极高亮度的优点,可以实现在超小空间和超快时间尺度下对物质结构的研究。具有特殊横向相位模式的光特别是具有螺旋相位的带轨道角动量的涡旋光已经在众多科学领域有了应用,基于自由电子激光原理产生的辐射横向模式基本上为简单的高斯模式,为产生具有横向螺旋相位的相干涡旋X射线,对基于回声谐波放大型(EEHG)自由电子激光产生涡旋光方案进行了深入研究,并且根据上海软X射线自由电子激光装置(SXFEL)的参数,进行了相关方案设计和模拟研究。三维模拟结果表明,外种子型EEHG自由电子激光可以产生峰值功率可达到GW量级的相干涡旋软X射线。

摘要： 分别以AZ50XT和聚乙烯醇为脱膜剂,在本底真空度为5.0×10^(-4) Pa的磁控溅射镀膜机中沉积Al膜,制备出厚度为80 nm的自支撑Al滤光片,并对滤光片进行表面缺陷分析。通过扫描电镜和CMOS相机观察得到,制备的Al滤光片表面均匀性较好,有少量针孔。对滤光片的光学性能进行了表征。用紫外可见分光光度计测得滤光片在可见光及红外光波段的透过率低于0.02%,基本满足使用要求。用软X射线透过率测试系统测得滤光片在1.6~10 keV能段的透过率高于90%,透过率曲线与理论结果基本一致,满足应用要求。用同步辐射装置测得两种滤光片在50~250 eV能段的最高透过率分别为53%和35%,受Al膜表面氧化和脱膜剂残留的影响,实际测得的透过率比理论计算值偏低。

摘要： 在高温天体等离子体环境中,低能高电荷态离子与中性原子和分子之间的电荷交换是天体物理环境中软X射线发射的重要机制之一.电荷交换软X射线发射相关的天体物理建模需要大量的主量子数n和角量子数l分辨的态选择俘获截面数据,目前这类数据主要来自于经典或者半经典的原子碰撞理论模型.本文利用反应显微成像谱仪,系统测量了炮弹能量为1.6—20.0 keV/u Ne8+与He的单电子俘获n分辨的态选择俘获截面.将测得的相对态选择截面与多通道Landau-Zener方法以及分子库仑过垒模型计算的结果进行比较,发现理论模型计算结果与实验测量结果在弱反应通道上存在显著差异.进一步结合天体物理中常用的l分布模型,计算了1.6和2.4 keV/u Ne8+与He之间电荷交换中的软X射线发射谱,通过与近期实验测量的X射线谱比较,发现计算的软X射线谱强度明显偏离已有的测量值.这些研究表明,多通道Landau-Zener方法、分子库仑过垒模型以及l分布模型在定量描述电荷交换态选择截面时存在一定的不足,如果将这些理论模型应用于天体物理的X射线背景研究中,可能导致对天体等离子体参数的描述不够准确.

摘要： 种子质量是西葫芦稳产和高产的重要基础,建立适宜的种子综合处理技术是提高西葫芦种子质量的有效途径.本研究应用软X-射线成像技术分析了西葫芦种子结构,应用比重选和引发处理对种子萌发特性的影响进行了研究.结果 表明:软X-射线成像法能够从种子形态上区分正常种子、畸形种子和死种子,正确识别率分别为98.2％、27.3％和65.9％,全部种子的正确识别率为86.0％;比重选可以将西葫芦种子发芽率由83％提高到90％,引发处理能提高种子萌发速度和整齐度,发芽势由75％提高到90％,以处理7天为最佳条件;比重选后再进行7d引发处理的种子不仅出苗率显著提高,与种苗生长相关的多个生理指标也得到改善.综上,软X-射线成像法可用于区分西葫芦种子类别,比重选和种子引发处理技术能够提高西葫芦种子质量,该技术可在种子企业中进行产业化推广应用.

摘要： 阿秒脉冲光源诞生于21世纪初,是同时具有阿秒时间和纳米空间分辨率的全相干光源,在近20年的时间里,推动了阿秒科学研究不断取得显著的进展和突破。阿秒脉冲为物理、化学、生物、材料、信息等领域的发展提供了全新研究手段和重要创新机遇。本文介绍了阿秒脉冲的重要发展历程,主要综述并总结了高次谐波、阿秒脉冲产生以及阿秒脉冲测量的关键技术和现状,最后对阿秒脉冲研究的发展进行了展望。

摘要： 长期以来,惯性约束聚变(ICF)研究软X射线诊断科学仪器设备的元器件标定工作主要依赖同步辐射光源X射线辐射计量站进行.该类装置通常与用于开展ICF研究的大型激光装置分处两地,难以满足ICF研究软X射线元器件实时实地的标定应用需求.另外,由于同步辐射和ICF激光等离子体产生的X射线辐射特性存在较大差异,同步辐射计量站的标定结果事实上也不能完全反映元器件在ICF实验应用中的计量响应特性.本文首先介绍一种基于单光学元件的软X射线紧凑型无谐波光源单色化技术,以此为基础提出研制基于ICF激光等离子体X射线源的同源、同几何位形、双束比较校准的多能量通道光源单色化系统,用于ICF应用软X射线元器件的在线标定.新系统一方面可望满足ICF软X射线元器件实时实地的标定应用需求;另一方面,其提供的标定光束的技术特征将最大可能地接近ICF激光等离子体X射线辐射本身.配备相应的X射线二极管(XRD)和标准探测器之后,该系统将形成一套具有在线自校准功能的新型多通道δ能量响应软X射线能谱仪.

摘要： 采用微孔均匀沉积冲击器(MOUDI)颗粒采样仪从ZS195单缸发动机尾气中采样,并用软X射线显微成像和软X射线三维重建技术从不同角度观察颗粒的形貌,用Amira获得不同工况、不同粒径级下颗粒的三维形貌和形态学参数,通过比较不同负荷工况和不同粒径级下颗粒的形态学参数,如分形维数、单位体积的表面积等,分析了不同工况和粒径级下这些形态学参数的差别.

摘要： 介绍了一种用于软X射线辐射能量测量的电阻式薄膜量热计.利用电流的欧姆热效应对薄膜量热计的灵敏度进行了标定.在有基底薄膜的标定过程中,采用一维热扩散模型考虑了金属薄膜向基底的传导热损失.利用电阻式薄膜量热计对聚龙一号装置钨丝阵Z箍缩产生的软X射线进行了测量,并与平响应XRD探测器的测量结果进行了比较.实验结果表明,电阻式薄膜量热计测量的软X射线辐射能量和辐射功率与平响应XRD探测器结果合理地一致.

摘要： 介绍了一种用于软X射线辐射能量测量的电阻式薄膜量热计.利用电流的欧姆热效应对薄膜量热计的灵敏度进行了标定.在有基底薄膜的标定过程中,采用一维热扩散模型考虑了金属薄膜向基底的传导热损失.利用电阻式薄膜量热计对聚龙一号装置钨丝阵Z箍缩产生的软X射线进行了测量,并与平响应XRD探测器的测量结果进行了比较.实验结果表明,电阻式薄膜量热计测量的软X射线辐射能量和辐射功率与平响应XRD探测器结果合理地一致.

摘要： 介绍了一种用于软X射线辐射能量测量的电阻式薄膜量热计.利用电流的欧姆热效应对薄膜量热计的灵敏度进行了标定.在有基底薄膜的标定过程中,采用一维热扩散模型考虑了金属薄膜向基底的传导热损失.利用电阻式薄膜量热计对聚龙一号装置钨丝阵Z箍缩产生的软X射线进行了测量,并与平响应XRD探测器的测量结果进行了比较.实验结果表明,电阻式薄膜量热计测量的软X射线辐射能量和辐射功率与平响应XRD探测器结果合理地一致.

摘要： 介绍了一种用于软X射线辐射能量测量的电阻式薄膜量热计.利用电流的欧姆热效应对薄膜量热计的灵敏度进行了标定.在有基底薄膜的标定过程中,采用一维热扩散模型考虑了金属薄膜向基底的传导热损失.利用电阻式薄膜量热计对聚龙一号装置钨丝阵Z箍缩产生的软X射线进行了测量,并与平响应XRD探测器的测量结果进行了比较.实验结果表明,电阻式薄膜量热计测量的软X射线辐射能量和辐射功率与平响应XRD探测器结果合理地一致.

摘要： 本文应用软X射线反射率计分别针对不同的反射镜样品,在不同的工作波段及掠射角的情况下进行软X射线波段掠入射光学表面散射的实验研究.经过数据处理后,从实验的角度分别分析了掠射角、波长和粗糙度几个因素对软X射线掠入射表面散射的影响,研究表明:随着表面粗糙度的增加、掠射角的增加及波长的减小,掠入射光学散射现象越来越严重,掠入射光学系统的光学性能降低.

摘要： 本文应用软X射线反射率计分别针对不同的反射镜样品,在不同的工作波段及掠射角的情况下进行软X射线波段掠入射光学表面散射的实验研究.经过数据处理后,从实验的角度分别分析了掠射角、波长和粗糙度几个因素对软X射线掠入射表面散射的影响,研究表明:随着表面粗糙度的增加、掠射角的增加及波长的减小,掠入射光学散射现象越来越严重,掠入射光学系统的光学性能降低.

摘要： 本文应用软X射线反射率计分别针对不同的反射镜样品,在不同的工作波段及掠射角的情况下进行软X射线波段掠入射光学表面散射的实验研究.经过数据处理后,从实验的角度分别分析了掠射角、波长和粗糙度几个因素对软X射线掠入射表面散射的影响,研究表明:随着表面粗糙度的增加、掠射角的增加及波长的减小,掠入射光学散射现象越来越严重,掠入射光学系统的光学性能降低.

摘要： 本文应用软X射线反射率计分别针对不同的反射镜样品,在不同的工作波段及掠射角的情况下进行软X射线波段掠入射光学表面散射的实验研究.经过数据处理后,从实验的角度分别分析了掠射角、波长和粗糙度几个因素对软X射线掠入射表面散射的影响,研究表明:随着表面粗糙度的增加、掠射角的增加及波长的减小,掠入射光学散射现象越来越严重,掠入射光学系统的光学性能降低.

摘要： 本文根据掠入射表面散射理论,提出了掠入射光学表面逆散射模型,利用这个逆散射模型对由软X射线反射率计测得的数据进行分析,得到通过散射测量所获得的样品表面特征值,所得结果与WYKO测量结果基本吻合,表明掠入射软X射线光学散射法能够较精确地计算出光滑表面粗糙度和表面自相关函数,很直观地反应出光学表面形貌特征.

摘要： 本文根据掠入射表面散射理论,提出了掠入射光学表面逆散射模型,利用这个逆散射模型对由软X射线反射率计测得的数据进行分析,得到通过散射测量所获得的样品表面特征值,所得结果与WYKO测量结果基本吻合,表明掠入射软X射线光学散射法能够较精确地计算出光滑表面粗糙度和表面自相关函数,很直观地反应出光学表面形貌特征.

摘要： 一种软X-射线屏蔽板(1)包括：具有用于提供电离空气(11)的供应口(5)的第一外板(2)；具有与所述供应口相通的电离空气流入口(6)的夹层板(3)；及具有与电离空气通道(6)相通的排出口(8)的第二外板(4)。板(2，3，4)叠放在另一板上且形成一体。一个或多个电离空气通道9被用于连通供应口(5)，电离空气通道(6)，及排出口(8)。

摘要： 软X－射线屏蔽板(1)包括：具有用于提供电离空气(11)的供应口(5)的第一外板(2)；具有与所述供应口相通的电离空气流入口(6)的夹层板(3)；及具有与电离空气通道(6)相通的排出口(8)的第二外板(4)。板(2，3，4)叠放在另一板上且形成一体。一个或多个电离空气通道9被用于连通供应口(5)，电离空气通道(6)，及排出口(8)。

摘要： 通过使用符合软X射线的波长提高聚光效率的椭圆反射镜，来提高软X射线的能量密度，无需照射图形化了的软X射线(图形化光)和加工用的激光两者，仅用软X射线以数nm的精度加工和/或改性无机材料等被加工物。把从光源部7发射的软X射线14，用椭圆反射镜15聚光为高能量密度后以规定的图形照射到被加工物19，仅加工以规定的图形用软X射线14照射了被加工物19的部分。

摘要： 本发明是利用软X射线辐射空气生成正负离子来中和存在于液晶、半导体晶片等表面静电的防静电装置及其软X射线管的制作方法。本发明的防静电装置包括直接离子化气体分子的防静电的头部，包围上述头部保护操作者不受放射线辐射的保护部，用来产生控制软X射线管的离子生成的灯丝电流和靶电压的电源控制部，发生高能量软X射线的软X射线管。所述软X射线管的主要制造步骤为：首先生成陶瓷管金属喷涂膜；再在铍窗口板上涂阳极物质；在铍窗口上电镀钨；使用专用真空炉进行高真空铜焊等。本发明可以用于中和可燃性粉末所带的静电，缓和在液晶、等离子、半导体制造工程里发生的静电，降低静电引起的灰尘附着与晶格损坏和静电点燃引起的火灾和事故率。

摘要： 本发明提供了一种用于X射线与软X射线能段的滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明中含有Sc层的滤片透射率在K吸收边0.276nm(E＝4500eV)和L吸收边2.48nm(E＝500eV)前后有非常明显的对比。由于B的吸收边在190eV，本发明提供的滤片在0.276nm～0.31nm(4000～4500eV)和2.48nm～6.53nm(190～500eV)范围内可以有效地对高次谐波进行抑制。本发明提供的滤片的制备方法，本发明先刻蚀硅片再镀膜，得到的滤片的品质高，无砂眼现象。实施例的数据表明，本发明制得的Sc/B4C滤片或自支撑Sc/B4C滤片(含有聚酰亚胺膜)，均观察不到砂眼。

摘要： 本发明涉及一种软X射线管及其制造方法及具有该射线管的光离子静电消除器，所述软X射线管由端窗输出式阳极组件、真空密封组件、阴极组件组成；所述阴极组件包括阴极托、平板芯柱、分别固定在平板芯柱上的灯丝和阴极托以及与阴极托焊接连接的阴极罩；所述阳极组件包括一面具有纳米级金属薄膜靶层的铍片和阳极焊接件，所述铍片焊接在阳极焊接件上；所述真空密封组件为所述封接在一起的玻璃壳和可伐构件；所述阳极焊接件与所述可伐构件焊接在一起，所述阴极组件位于真空密封组件内部。所述软X射线管结构简单，使用寿命长，产生软X射线的效率高，具有大的射线辐射角度及好的空间各向的对称性，用于各种行业的静电消除。

摘要： 本发明的课题在于提供一种经时稳定性优异、且解析性也优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法、感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、具备该膜的空白掩模、光掩模及图案形成方法、以及电子器件的制造方法及电子器件。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法是关于含有树脂、酸产生剂、有机酸及溶剂的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法，其特征在于包含选自下述工序(i)、工序(ii)及工序(iii)的任意工序，且所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中的有机酸的含有率是以该组合物中的所有固体成分为基准而言大于5质量％。(i)在实质上不含树脂及酸产生剂的溶液中溶解有机酸的工序，(ii)在含有酸产生剂、且实质上不含树脂的溶液中溶解有机酸的工序，及(iii)在含有树脂、且实质上不含酸产生剂的溶液中溶解有机酸的工序。

摘要： 本发明公开了一种软X射线分光光度计，所述分光光度计包括入射组件、多个连接管道、单色器、聚焦镜箱、差分腔体和样品腔；入射组件包括HHG光源，入射组件通过连接管道与单色器连接，单色器通过连接管道与聚焦镜箱连接，聚焦镜箱通过连接管道与差分腔体连接，差分腔体通过连接管道与样品腔连接。本发明采用HHG光源具有优良的相干性、极短的脉冲宽度、宽波段的覆盖范围等性能，单色器和聚焦镜箱也是采用与光束线上相同或相似的结构，可以在一定程度上代替大型高亮度X射线源和对应的光束线，降低了光度计的制造、运行以及维护的成本，更具成本效益。

摘要： 本发明属于同步辐射软X射线透镜技术领域，具体为一种同步辐射高分辨软X射线透镜及其制备方法。本发明的同步辐射高分辨软X射线透镜，其结构从下到上依次为：硅基底，氮化硅隔膜，由模板材料与非金属介质材料组成的X射线透镜；X射线透镜采用电子束光刻与ALD工艺制备得到，包括：在氮化硅隔膜上旋涂光刻胶，利用电子束光刻技术在光刻胶上曝光并显影形成模板结构，利用ALD工艺生长非金属介质材料，最后利用套刻与热蒸发工艺制备光束阻挡器，得到该透镜。本发明方法工艺稳定可靠、制备周期缩短、与现有的光刻工艺兼容；制备的软X射线透镜聚焦效率高、分辨率高，适合于对生物细胞、有机材料和介质材料等的X射线高衬度三维成像。

摘要： 本实用新型涉及一种软X射线管及具有该软X射线管的光离子静电消除器，所述软X射线管由端窗输出式阳极组件、真空密封组件、阴极组件组成；所述阴极组件包括阴极托、平板芯柱、分别固定在平板芯柱上的灯丝和阴极托以及与阴极托焊接连接的阴极罩；所述阳极组件包括一面具有纳米级金属薄膜靶层的铍片和阳极焊接件，所述铍片焊接在阳极焊接件上；所述真空密封组件为所述封接在一起的玻璃壳和可伐构件；所述阳极焊接件与所述可伐构件焊接在一起，所述阴极组件位于真空密封组件内部。所述软X射线管结构简单，使用寿命长，产生软X射线的效率高，具有大的射线辐射角度及好的空间各向的对称性，用于各种行业的静电消除。