氦质谱检漏

摘要： 针对坩埚在进行检漏时,大多为水检法、皂泡法等人工检漏的方法,为解决效率低,时间久等问题,提出一种基于PLC坩埚氦质谱检漏装置平台。通过对检漏平台进行总体方案设计,确定工作流程,重点解决坩埚内部真空、上位机和氦质谱仪通讯、上位机和PLC通讯等问题。对系统硬件方面,进行了电气控制原理设计与选型、PLC型号选择、真空管道的设计、接线图设计;对控制系统软件方面,通过STEP 7-Microwin SMART,对作为主控器的PLC进行了控制程序的编写,再通过Visual Studio 2015进行人机交互界面的设计,以及通过与SQL2012数据库连接,将测得的数据放入数据库,最后通过上位机编译实现人机交互,实验平台开机运行调试。最终实验结果显示,整个平台实现了对坩埚的密封、检漏、检漏数据的存储,其中检漏同一坩埚10次检漏率值标准偏差S≤2.84,满足工业生产要求。

摘要： 通过在加工现场和安装现场搭建的真空辅助系统、四极质谱计及氦检漏仪组成的检漏系统,运用残余气体分析和氦质谱检漏方法在冷态下对HL-2M真空室扇形段及真空室整体进行了真空检漏试验.对漏点进行修复后,测试了真空室的极限真空度和总漏气率等.真空室经过72h的抽气后,真空度达到3.7×10?5Pa,超过了1.0×10?4Pa的预期预抽真空度.用静态定容法测得的真空室漏放气率为2.3×10?7Pa?m3?s?1,小于设定的真空漏率技术指标5×10?7Pa?m3?s?1.试验结果表明HL-2M装置真空室满足超高真空条件,符合设计要求.

摘要： GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险.此外固定方法中的最小加压压力310 kPa对于大尺寸陶瓷封装而言,有可能导致盖板凹陷、密封损伤等问题.本文分析了现有标准中固定方法和灵活方法的等效标准漏率差异以及大尺寸腔体的加压问题,提出了降压检漏建议.

摘要： 对贮氢压力系统,基于氦质谱仪的氢检测模式,提出了采用系统自带氢气作为示踪气体的氢质谱检漏方法.为验证该方法的有效性,开展了低漏率通道型漏孔研制,通过金属毛细管挤压、固定的方式制作了常压下氦漏率在10-6～10-8 Pa·m3/s量级范围的通道型漏孔,采用氦质谱检漏技术监测了部分漏孔漏率随时间变化情况,监测结果表明,该方法可以制备漏率稳定的漏孔.基于研制漏孔,利用质谱仪的氢、氦检测模式获得了对应氢、氦示踪介质的漏率.通过对氢、氦漏率值的对比分析发现:当漏孔氦漏率在10-7 Pa·m3/s量级及以上时,氢模式下的氢漏率稳定,约为氦检漏模式下氦漏率的2～5倍;但随着漏孔漏率进一步减小,采用现有质谱仪的氢检测模式将无法获得有效漏率值.

摘要： 针对现有氦质谱检漏系统的技术缺陷,提出了一种基于物联网技术的氦质谱检漏系统的设计与实现方案.该系统综合了嵌入式与ZigBee、WiFi等物联网技术,由主控模块、采集模块、执行模块等组成;主控模块可实时整合氦质谱检漏仪与采集模块的数据信息,控制执行模块自动完成检漏流程,并利用灰度算法预测检漏信号的稳定时机,提高了检漏效率,测试结果验证了该方案的有效性.

摘要： 航天器的密封性能测试分为部组件级测试和系统级测试.系统级密封性能测试大多采取氦质谱非真空累积检漏法,由于收集室内氦气浓度分布不均匀,检漏仪读数不稳定,漏率初值或终值的读取可能不准确,进而造成测量误差.提出一种基于最小二乘法拟合的氦质谱非真空累积检漏方法,在非真空累积过程中,多次读取收集室内漏率值,并利用最小二乘法对漏率变化率进行拟合,进而求出被检件漏率.大量试验结果表明,与传统的氦质谱非真空累积检漏法相比,该方法可有效避免单次数据测量造成的测量误差,具有更高的数据可信度.%Spacecraft leak testing is divided into component testing and system testing. System leak test mostly take the method of non-vacuum accumulation leak testing by helium mass spectroscopy. Due to the uneven distribution of heli-um in the accumulation chamber and the unstable readings of helium mass spectrometer leak detector,the initial and final leakage rate values may not be read accurately which may result in the measurement error. In this paper,a non-vacuum ac-cumulation leak testing by helium mass spectroscopy based on least square method is introduced. In the process of helium gas accumulation,read the helium gas density in the accumulation chamber at regular intervals and calculate the helium gas density charge rate using least square method. Then,the leakage rate of the object under test is given. A large number of test results show that,compared with the traditional methods,this method can effectively avoid the measurement error caused by single testing and the results have a higher credibility.

摘要： 研究一种锂电池盖板氦质谱检漏方法,并总结这种氦罩法注意的问题及解决措施.

摘要： 介绍了飞机油箱密封试验的传统检测方法以及国内目前较为先进的氦质谱检漏方法,并对氦质谱检漏技术进行了详细分类,总结了其检测特点,同时根据在某型机上的实践应用,查找不足,为后续广泛推广提供思路.

摘要： 机翼整体油箱密封性能要求较高,常规检测方法存在精度低、定量困难、成本高、效率低等问题.本文利用氦质谱检漏原理和方法,对某型机翼整体油箱的检漏工艺方案、检测参数和相关要求进行了研究,取得了良好的效果.本文的研究成果可推广应用到飞机其他密封部件的检漏工作中,对提高飞机密封部件密封质量,提前发现漏源,减少返工,具有明显的效益.同时也对数字化检测技术在飞机密封性能检测中的应用进行了有益探索.

摘要： 本文论述了采用氦质谱检漏仅用于飞机整体油箱检漏的优越性及需要创造的条件.分析了采用传统密封试验存在的问题，研究了采用氦质谱检漏仪检漏的特点。

摘要： 随着航空技术的不断发展，泄漏问题已经已经成为航空产品设计制造中必须考虑的关键因素，越来越受到关注。从电子元器件、惯性器件到航空陀螺仪表都对泄漏提出了越来越高的要求。而在目前检漏技术中氦质谱检漏技术应用最为广泛。本文主要论述了在特殊技术条件下利用氦质谱检漏的原理对大容积产品的仪表进行检漏的方法。

摘要： 介绍了真空氦质谱检漏技术,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法,简述了氦质谱检漏的工艺过程.总结了真空氦质谱检漏过程中应注意事项.

摘要： 气密性封装元器件的检漏方法主要分为细检漏和粗检漏,其中细检漏常用的为氦质谱检漏,在实际检测过程中,测量值与实际漏率存在偏差,影响检测结果的主要因素为表面吸附,样品只有排除表面吸附的漏率干扰,检测结果才能准确反映出产品的质量水平.本文从元器件材料和表面状态两方面深入分析了其对表面氦吸附的影响,提出了去除氦吸附的方法,并进行了试验验证,为后期提高氦质谱检漏准确度提供了依据.

摘要： 针对氦质谱背压检漏技术在应用过程中存在的问题进行了分析与探讨,分别从方法的适用性、等效漏率的计算、压氦压力与残余氦气处理、检漏结果的判别等方面,指出了目前应用中存在的误解、误用问题,并通过分析,明晰了问题的因果关系,并提出了改进措施及建议.

摘要： 针对氦质谱背压检漏技术在应用过程中存在的问题进行了分析与探讨,分别从方法的适用性、等效漏率的计算、压氦压力与残余氦气处理、检漏结果的判别等方面,指出了目前应用中存在的误解、误用问题,并通过分析,明晰了问题的因果关系,并提出了改进措施及建议.

摘要： 针对氦质谱背压检漏技术在应用过程中存在的问题进行了分析与探讨,分别从方法的适用性、等效漏率的计算、压氦压力与残余氦气处理、检漏结果的判别等方面,指出了目前应用中存在的误解、误用问题,并通过分析,明晰了问题的因果关系,并提出了改进措施及建议.

摘要： 本文通过分析"VICI Valco"电控多位阀阀体结构及工作原理,并对阀体结构进行密封改造,解决了电控四位、六位阀本身存在的外泄漏,并经过试验和检测,最终满足系统的泄漏率要求.

摘要： 本发明公开了一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，给出了对已压氦或预充氦密封元器件压氦进行多次压氦法或预充氦压氦法氦质谱细检漏的程序，特别是给出了程序中的压氦时长、最长候检时长和测量漏率判据。本发明的有益效果为：与仍采用单次压氦法进行再次细检漏相比，本发明更为简捷精确，且可避免接近粗漏的大漏的漏检和细漏的错判；与先细漏检测、压氦再细漏检测的两次检测相比，不仅减少一次细漏检测，减少了测试偏差，而且可以利用压氦前被检件内部有所衰减的预充氦氦气压力或压氦压入的氦气压力，使检测更为灵敏；与多因素比较前一次细漏检测和压氦后二次细漏检测的候检时长和测量漏率的方法相比，更为简便可行。

摘要： 本发明公开了一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，给出了对已压氦或预充氦密封元器件压氦进行多次压氦法或预充氦压氦法氦质谱细检漏的程序，特别是给出了程序中的压氦时长、最长候检时长和测量漏率判据。本发明的有益效果为：与仍采用单次压氦法进行再次细检漏相比，本发明更为简捷精确，且可避免接近粗漏的大漏的漏检和细漏的错判；与先细漏检测、压氦再细漏检测的两次检测相比，不仅减少一次细漏检测，减少了测试偏差，而且可以利用压氦前被检件内部有所衰减的预充氦氦气压力或压氦压入的氦气压力，使检测更为灵敏；与多因素比较前一次细漏检测和压氦后二次细漏检测的候检时长和测量漏率的方法相比，更为简便可行。

摘要： 本发明公开了一种基于喷氦法的氦质谱检漏仪及辅助真空系统，涉及检测设备技术领域，检漏仪包括第一主机和第二主机以及支撑组件，还包括：定位组件，所述支撑组件包括支撑底座，用于对第一主机进行支撑，所述定位组件包括定位板，所述定位板表面相对设置夹持板，两侧所述夹持板分别与推动部件连接，所述推动部件用于推动两侧夹持板同时朝向内侧移动以对第一主机进行定位固定，以及减震组件，两侧所述夹持板在推动部件的推动作用力下对第一主机进行夹紧固定，便于人工进行操作，通过布置在支撑底座与定位板间的减震组件对该装置进行缓冲，有效提高了该装置的缓冲效果，防止行走在颠簸的路面或移动过程中由于振动过大造成设备损坏。

摘要： 本发明公开了一种方便固定前后氦检一体机上的氦质谱检漏仪用托架，涉及氦质谱检漏仪支撑设备技术领域。该方便固定前后氦检一体机上的氦质谱检漏仪用托架，包括支撑机构，所述支撑机构内腔插接有载料组件，所述载料组件用于配合支撑机构以实现既能对氦质谱检漏仪进行灵活的托起，又能经载料组件移动氦质谱检漏仪的位置；所述载料组件一端底部表面两侧、且位于支撑机构外侧壁对称设置有滑动支撑组件，所述滑动支撑组件用于在移动载料组件移动时起到平稳支撑作用，本发明既能灵活的对氦质谱检漏仪进行支撑和夹持限位，又能方便用户灵活的抽拉出氦质谱检漏仪，进而能够方便对氦质谱检漏仪进行检修和维护。

摘要： 本实用新型公开了一种用于氦质谱检漏及综合测试的氦质谱检漏台，包括检漏台主体，所述检漏台主体的底部四角均设有支撑脚，所述支撑脚包括第一支撑脚和第二支撑脚，且第一支撑脚的底部与第二支撑脚的顶部相接触，所述第二支撑脚的顶部开设有凹槽，所述凹槽的一侧内壁上开设有嵌入槽，所述嵌入槽远离嵌入槽槽口的一侧内壁上固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有连接轴，所述连接轴远离驱动电机的一端延伸至凹槽内并焊接有转轴。本实用新型结构简单，通过驱动电机可以带动凸柱进行纵向移动，从而可以自由的改变检漏台主体的高度，便于进行工作，滑动板和弹簧可以对齿轮和齿条进行保护，使用方便。

摘要： 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪的新型质谱室结构，包括腔体、隔板、连接管，所述隔板设置在所述腔体内部，将所述腔体分割为电离腔和质谱腔，所述连接管设置在所述腔体外部，其轴向线与所述腔体长度方向具有一定夹角，所述连接管的一端与所述电离腔连通，另一端与分子泵连通。本实用新型采用全新的组装结构，将质谱室与分子泵的对接接口做一定角度的偏转；减短了质谱室与连接管的总体长度尺寸，即减短了质谱室的机械力臂，同时不对质谱工艺产生负面影响；通过减短机械力臂的原理有效减少了分子泵带来的震动，有效保护了分子泵，延长了分子泵的使用寿命；并且由于震动的减小，同时提高了检测数据的精确性。

摘要： 一种氦质谱检漏仪质谱室腔体，包括质谱室、质谱室盖板以及设在质谱室和质谱室盖板中间的密封圈，所述质谱室一侧设有分子泵抽气口，质谱室底部设有离子偏转室，所述质谱室盖板上表面设有接收级安装孔、离子源安装孔和螺栓孔，所述质谱室还包括腔体，所述腔体由铝材加工而成，腔体是由高精度铣床加工，尺寸误差小于0.02mm，腔体内部经过抛光工艺处理。本实用新型使用铝材结构，腔体内部经过抛光工艺处理，提高了检漏仪的灵敏度，减小了不同质谱室之间误差，提高了检漏仪的性能指标，大大提高检漏效率。

摘要： 本实用新型公开了一种圆柱电池氦质谱检漏仪用氦检机构，包括台座、检测筒和密封筒，所述台座的中部安装有呈竖直分布的检测筒，所述检测筒的下端安装有排气管，所述检测筒的下端和排气管之间安装有双通排气座，所述台座的后端固定连接有机架，所述机架的前端安装有竖轨，所述竖轨的前端滑动安装有滑架，所述滑架的下端固定连接有密封筒，所述滑架和密封筒之间活动连接有双通注气块，所述滑架和双通注气块之间设置有补偿机构。本实用新型中，可在圆柱电池单次氦检过程中，对圆柱电池极柱以及注液口焊接处进行同步的检漏处理，降低了操作人员人工参与的工作量，从而提升了圆柱电池氦检操作的便捷性和效率。

摘要： 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪的清氦系统，属于氦质谱检漏仪清理装置领域，解决传统氦质谱检漏仪无法清理残留氦气的问题。该清氦系统包括氦质谱检漏仪本体，氦质谱检漏仪本体上分别设有进气总管和出气管，还包括控制模块和抽风机，所述的抽风机通过连接管与氦质谱检漏仪本体连通，所述的进气总管上分别设有与其连通的第一进气管、第二进气管，所述的第一进气管上设有第一电磁阀，所述的第二进气管上设有第二电磁阀，所述的出气管上设有第三电磁阀，所述的出气管内设有氦气浓度检测传感器，所述的氦气浓度检测传感器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀均与控制模块电性连接。本实用新型的氦质谱检漏仪清氦系统，能够有效清除氦质谱检漏仪内的氦气。

摘要： 本实用新型提出了一种氦质谱检漏装置排污尾氦回收系统，包括排污尾氦进气系统、储气囊、压缩机、除油吸附筒和钢瓶集装格，排污尾氦进气系统包括高压罐、油气分离器和三通接头，油气分离器包括装有水的罐体，罐体顶部设置出气口和进水管，底部设置排污管；氦质谱检漏设施的压缩机每级压缩后以及真空泵出口设置的油污排污口通过进污管连通至所述罐体的内部的水位线以下；三通接头的三端分别连接高压罐、进气管和油气分离器的出气口；进气管连接至储气囊；储气囊接有排气管，排气管上依次设置第五阀门、流量计、压缩机和除油吸附筒，除油吸附筒连接至钢瓶集装格。本实用新型将油污排污口和高压罐中纯度不合格的排污的氦气回收，提纯高纯氦技术最终制取高纯氦气。