首页> 中文会议>中国计量测试学会真空计量专业委员会第十五届年会暨中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十九届年会 >氦质谱背压检漏技术应用中若干问题的探讨

氦质谱背压检漏技术应用中若干问题的探讨

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

针对氦质谱背压检漏技术在应用过程中存在的问题进行了分析与探讨,分别从方法的适用性、等效漏率的计算、压氦压力与残余氦气处理、检漏结果的判别等方面,指出了目前应用中存在的误解、误用问题,并通过分析,明晰了问题的因果关系,并提出了改进措施及建议.

著录项

来源
《中国计量测试学会真空计量专业委员会第十五届年会暨中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十九届年会》|2017年|187-190|共4页
会议地点江苏无锡
作者
薛长利; 王颖; 丁勤; 沈群; 蒋炎华;
展开▼
作者单位

中国计量测试学会;

中国真空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB774.3;
关键词
密封器件; 氦质谱检漏; 背压法;
入库时间 2022-08-17 11:15:19

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序 [J] . 薛大同 . 真空科学与技术学报 . 2005,第z1期
2. 多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究 [J] . 王庚林 ,李宁博 ,李飞 . 中国电子科学研究院学报 . 2014,第001期
3. 压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案的设计 [J] . 王庚林 ,李飞 ,李宁博 . 中国电子科学研究院学报 . 2013,第006期
4. 关于真空容器检漏方法的探讨--以氦质谱检漏技术代替传统检漏方法 [J] . 苏丽萍 ,周伟明 . 化工装备技术 . 2004,第002期
5. 氦逆扩散质谱检漏法和卤素检漏法在大型低温容器真空检漏中的应用 [J] . 呈同文 ,熊建球 . 四川真空 . 1995,第002期
6. 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序 [C] . 薛大同 . 中国真空学会第六届全国会员代表大会 . 2004
7. 充压法氦质谱检漏的器件漏率双值求解和粗、细检漏的可靠衔接 [A] . 刘衍捷 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号