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真空科学与技术学报

真空科学与技术学报

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《真空科学与技术学报》是中国真空学会主办，中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物。月刊，国内外公开发行。《真空科学与技术学报》创刊于1981年，是全国中文核心期刊。《真空科学与技术学报》长期被CA和SA等国际著名检索系统收录，已全文上网。 在国内，本学报被北京大学图书馆、北京高校图书馆期刊工作研究会共同确定为中文核心期刊；中国科学院文献情报中心、中国社会科学院文献信息中心、中国学术期刊（光盘版），电子杂志社和北京大学图书馆共同确定为《中国科学引文数据库》和《中国学术期刊综合评价数据库》来源期刊，《中国学术期刊（光盘版）》全文收录。 《真空科学与技术学报》报道的主要内容：真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料及处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。
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  • 创刊时间：
  • 国内刊号/CN：11-5177/TB
    国际刊号/ISSN：1672-7126
  • 发行周期：月刊
    邮发代号：
  • 主管单位：中国真空学会
    主办单位：中国科学技术协会
真空科学与技术学报-联系信息
  • 主编：刘明
  • 电话：010-62704910;62704824
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真空科学与技术学报 >2024年第11期
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共4384条结果
  • 摘要：研究了以高浓度Na_(5)P_(3)O_(10)作为电解液对钛合金实施微弧氧化,并对其表面结构和各成分组成情况进行了分析,之后测试了氧化层的表面硬度及其耐磨特性。研究结果表明:提高Na_(5)P_(3)O_(10)浓度后,发生了电导率明显增大现象,反应时间显著缩短。加入50 g/L的Na_(5)P_(3)O_(10)涂层的表面形成了尺寸差异较大的微孔,这些微孔的尺寸都在1μm以内,表面较平滑。所有微弧氧化涂层内都存在B、Ti、O。各膜层中主要存在B_(2)TiO_(5),同时形成了B_(2)O_(3)与金红石TiO_(2)衍射峰。逐渐提高Na_(5)P_(3)O_(10)含量后,加入50 g/L的Na_(5)P_(3)O_(10)涂层试样获得了更高硬度,但硬度变化速率发生了降低。加入50 g/L的Na_(5)P_(3)O_(10)涂层具备很高极限载荷,迅速达到了稳定的摩擦状态,因此摩擦系数快速减小到稳定的程度。基体的表面受到了较大破坏,产生了许多磨屑颗粒与犁沟;涂层表现为粘着磨损的特征,可以显著降低粘着磨损的程度。
  • 摘要：室温下,利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了铌掺杂氧化锌(NZO)薄膜,研究了溅射压强(2～12 Pa)对薄膜结构、残余应力、表面形貌及其光电性能的影响。X射线衍射测量结果表明,所有样品都具有c轴择优取向的六角纤锌矿多晶结构,薄膜应力随压强的增大而减小。扫描电镜表明,随着溅射压强的增大,薄膜表面逐步趋向平整光滑、均匀致密。当溅射压强为10 Pa时,制备的ZnO∶Nb薄膜的最低电阻率可达3.52×10-4Ω.cm,残余应力为-0.37 GPa。压强由2 Pa增大到12 Pa时,光学带隙由3.29 eV增大到3.43 eV。紫外-可见透射光谱表明,所有薄膜在可见光范围内平均透过率均超过87%。
  • 摘要：以脉冲激光沉积法沉积制备了立方相负热膨胀ZrW1.5Mo0.5O8薄膜并利用X射线衍射仪（XRD）和场发射扫描电镜对其结构组分、表面形貌和厚度进行表征。采用变温XRD分析了ZrW1.5Mo0.5O8靶材和薄膜的负热膨胀特性。实验结果表明：在1080℃烧结6h制备得的立方相ZrW1.5Mo0.5O8陶瓷靶材,靶材具有较高的纯度和良好的负热膨胀性能,Mo离子掺入后,其α到β相转变温度降低,在30-600℃温度区间内,ZrW1.5Mo0.5O8陶瓷靶材的负热膨胀系数为-7.13×10^-6K^-1。利用该靶材在500℃时脉冲激光沉积的ZrW1.5Mo0.5O8薄膜为非晶态,薄膜表面平滑致密,厚度约为835nm;非晶膜在1180℃热处理7min后淬火得到立方相ZrW1.5Mo0.5O8薄膜;结晶后的ZrW1.5Mo0.5O8薄膜为多晶膜。在室温到600℃区间内,立方相ZrW1.5Mo0.5O8薄膜的热膨胀系数为-7.7×10^-6K^-1,α-ZrW1.5Mo0.5O8到β-ZrW1.5Mo0.5O8的相转变温度降至100℃以下。
  • 摘要：试验研究了聚四氟乙烯密封圈压缩量、检漏时间等因素对密封性能的影响;利用数值模拟方法研究了氦气在聚四氟乙烯密封圈中的渗透过程及密封圈尺寸对该过程的影响;分析探讨了含氦渗透率较高材料容器的检漏问题。研究结果表明,试验中容器检漏测得的漏率主要是聚四氟乙烯密封圈对氦气的渗透产生的,充氦到检漏之间的时间过长使得氦渗透漏率较大,导致容器的漏率不能满足设计指标;缩短充氦到读取检漏值的时间,在氦气还未渗透通过密封圈前就检漏可获得界面、漏孔泄漏导致的漏率,增大密封圈渗透方向的厚度可显著增加该时间。
  • 摘要：近几年,在无损探伤领域,中子照相技术发展非常迅猛,对中子发生器提出了体积小、寿命长、通量高、准直比高的技术要求。为此设计了一台用于快中子照相的定向高通量小型中子发生器,采用矩形结构潘宁离子源。引出的具有一定长度和流强的带状氘离子或氘氚混合离子束,在离子源与靶构成的同轴高压电场加速下,轰击对应的长形定向自成靶,发生氘氘或者氘氚反应,在靶轴线方向产生高通量、高准直比的快中子束,中子产额5×1011n/s。模拟结果表明,成像屏上的中子注量提高了两个数量级,不均匀度小于5×10-3,满足中子照相对高准直比和高通量的要求,因此成像质量高,照相时间短,工作效率高。解决了现有中子发生器体积大、有效中子通量低和靶寿命短的问题,可用于构建移动式快中子照相系统。
  • 摘要：采用阳极氧化铝作为介质层,设计制作了共面介质阻挡放电等离子体平板光源,研究了高温烘焙、电源频率和气体压强等对光源着火电压和发光效率的影响。结果表明,高温烘焙电极装置和高脉冲电源频率可以使共面介质阻挡放电光源放电更稳定,放电着火电压更低;当电极宽度为0.5 mm、间距为4.5 mm、介质层厚度约为20μm、气体压强为20 Torr时,共面介质阻挡放电等离子体光源的放电稳定,亮度为7200 cd/m^(2),白光发光效率为4.92 lm/W。
  • 摘要：利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同的基体温度下制备了类金刚石(DLC)薄膜,采用Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)、纳米压痕测试仪、椭偏仪对所制备DLC薄膜的微观结构、机械性能、光学性能进行了分析。Raman光谱和XPS结果表明,当基体温度由50℃增加到100℃时,DLC薄膜中的sp3杂化键的含量随基体温度的升高而增加,当基体温度超过100℃时,DLC薄膜中的sp3杂化键的含量随基体温度的升高而减少。纳米压痕测试表明,DLC薄膜的纳米硬度随基体温度的增加先增加而后减小,基体温度为100℃时制备的薄膜的纳米硬度最大。椭偏仪测试表明,类金刚石薄膜的折射率同样随基体温度的增加先增加而后减小,基体温度为100℃时制备的薄膜的折射率最大。以上结果说明基体温度对DLC薄膜中的sp3杂化键的含量有很大的影响,DLC薄膜的纳米硬度、折射率随薄膜中的sp3杂化键的含量的变化而变化。
  • 摘要：通过固相反应烧结在高温下制备出高致密度的纯相CuAlO2陶瓷靶材。采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备了CuAlO2薄膜，为进一提高CuAlO2薄膜性能，对样品进行了退火处理。通过x射线衍射、扫描电镜、紫外．可见光分光光度计和霍尔效应检测仪对样品进行表征，研究了退火条件对薄膜结构、形貌、光学性能和电学性能的影响，并获得了最佳退火工艺参数：退火气氛为一个大气压下的氩气气氛，退火温度1000℃，退火时间30min。在最佳退火条件下，经过退火处理后的CuAl02薄膜在可见光下的光学透过率达70％-80％，带隙宽度3．5eV，电阻率16．67Ω·cm。
  • 摘要：提出了一种制作微通道型固定流导元件的方法,即基于硅硅直接键合将刻蚀深度约为1pim的沟槽结构密封成微通道,利用钢熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件,使用氮质谱检漏仪对其漏率测试。测量结果表明,固定流导元件的流导测量值与理论计算值接近,相对误差不超过22.2%。氮气作为测量气体时,固定流导元件能够从高真空到30000Pa压强下实现分子流状态,即流导恒定。
  • 摘要：为降低等离子体显示器(PDP)的寻址功耗,在分析PDP寻址功耗和图像信息在各子场分布特征的基础上,根据人眼视觉在不同背景亮度下对图像信息感知能力不同的特点,提出了子场数据自适应优化低功耗寻址方法。该方法在图像质量变化不影响视觉感知的情况下,根据图像寻址功耗的预设目标和实际值,自适应选择寻址功耗的优化级别,通过减少低权重子场数据变化率来降低PDP寻址功耗。该方法仅需对寻址数据的算法进行优化,无需改动硬件和驱动波形,在50英寸WXGA单扫PDP模组上对IEC标准动态视频的寻址功耗进行测试,结果表明,该方法可使IEC标准动态视频的寻址功耗平均降低8.17%,最大降低25.8W。
  • 摘要：数值模拟了不同波数时,等离子体粘度的角向扰动磁场的演化规律,并与理想磁流体时的角向扰动磁场进行了比较,得到的主要结论是:等离子体压强较小时,大波数对应的角向扰动磁场为正值,小波数的角向扰动磁场为负值;等离子体压强较大时,大波数对应的角向扰动磁场也有负值出现。另外,当等离子体压强一定时,随着等离子体粘度的增加,角向扰动磁场的波动幅度越大。
  • 摘要：利用磁控溅射法在单晶硅上制备了不同层厚比的WS_x/a-C纳米多层膜(调制周期约50 nm)。用扫描电镜、X射线衍射、能谱、X射线光电子谱和Raman光谱对薄膜的形貌、成分和组织结构等进行了表征。采用纳米压痕仪、划痕仪和球盘式摩擦仪测试了薄膜的硬度、结合力和在大气环境下(相对湿度约70%)的摩擦学性能。结果表明:随着层厚比L_(a-C)/L_(WS_x)的增加,多层膜的n_s/n_w比由1.38增大至1.62,并伴随着WS_2尺寸的减小以及薄膜致密度和平整度的提高,a-C层和WS_x层的结构无明显变化;多层膜的磨损率仅为纯WS_x膜的1/3~1/4,摩擦因数由0.26降至0.2,硬度和磨损率均出现峰值,而结合力呈相反变化趋势。层厚比L_(a-C)/L_(WS_x)为1:39的多层膜的摩擦因数为0.26,磨损率为9.8×10^(-14)m^3/Nm,耐磨性最佳。
  • 摘要：氮氧化铪薄膜透射率高,带隙宽,机械性能好,是一种较好的窗口保护薄膜。采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜,通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比,研究氮氧化铪中N、O化学计量比不同对薄膜力学和光学性能的影响规律。随着沉积速率从0.8减小到0.05 nm/s,氮含量增高,薄膜的硬度从7.29增大到10.67 GPa,氮氧化铪薄膜的折射率从1.95降低到1.80,而消光系数从1×10-3增大到8×10-3,禁带宽度从5.62减小到5.5eV。
  • 摘要：针对干式涡旋真空泵的振动平衡问题,对其工作原理、机械动力学模型、渐开线型线的理论偏心等方面进行了分析。提出相应动平衡设计方法并对核心部件进行三维建模:其中包括动涡旋盘的质心调整,扇叶上下两个扇区厚度差异设计。通过Fluent对涡旋盘进行空气动力学的仿真,设计专用夹具及配重块并进行实验验证,以确定整套的平衡工艺方法。研究结果表明:整机动平衡精度可达0.2 g以下,振动数值由10降到1 mm/s左右,平均用时15 min,减振效果显著,生产效率得到极大提高。
  • 摘要：为了获取气体速率对油水分离动态特性的影响规律,考虑了油水汽气四相流、水滴蒸发相变等因素,建立了滤油机的油水分离流场的数学物理模型以及水滴运动蒸发的相变方程;分析了不同气体速率对油水分离过程中的油水气四相体积分数分布以及轴向脱水率的影响规律,表明了不同气体速率情况下油水汽气四相流的动态特性,且气体速率会显著影响油水分离的脱水效率,对深入研究滤油机的油水分离机理奠定前期基础。
  • 摘要：采用磁控溅射方法,在聚酰亚胺薄膜上室温制备了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)柔性薄膜晶体管(TFT)。其中,栅绝缘层选择了不同厚度比例的氧化硅(SiO_x)与氧化坦(TaO_x)薄膜的搭配,对比研究了不同栅绝缘层结构的薄膜特性以及所对应的柔性TFT器件的操作特性和偏压稳定性。实验结果表明,TaO_x的成膜速率明显高于SiO_x;随着TaO_x所占比例的增加,栅绝缘层表面粗糙度降低,介电常数显著提高。以300nm厚TaO_x搭配300nm厚SiO_x为例,栅绝缘层相对介电常数可以达到10,对应的a-IGZOTFT表现出了更高的的开态电流和更低的阈值电压,但是器件漏电流略有增加,正偏压稳定性也会有所下降。
  • 摘要：从拉氏方程出发,推导了大回旋电子枪(CUSP)的理论,得到了用于Ka波段螺纹波导回旋行波管大回旋电子枪的基本参数。通过CST-Particle Stuido 3D粒子模拟软件,分析了不同参数对大回旋电子枪横纵速度比、速度离散的影响,理论计算与粒子模拟结果相互吻合。研究发现,影响大回旋电子注质量的主要因素是阴极所处的位置,所以文中重点分析了阴极装配误差对电子注质量带来的影响。通过将理论与仿真设计相结合,最终得到一种工作电压70 k V,电流5 A,速度比1.0的大回旋电子枪,满足Ka波段螺纹波导回旋行波管对高质量电子枪的要求。
  • 摘要：TiO2用于治理环境污染是当前的热点问题之一。本文采用溶胶一凝胶法制备了稀土元素Sm掺杂的T峨光催化薄膜，并对薄膜进行了x射线衍射和扫描电子显微镜表征，将制得的TiO2薄膜用于降解农药废水而对其光催化活性进行评估。研究结果表明，当稀土元素Sm掺杂量为0．3％、镀膜层数为3层，烧结温度为500～550℃，煅烧时间为2h时薄膜具有较好的降解率。薄膜降解乐果废水表明，在太阳光照条件下薄膜具有很高的光催化活性。
  • 摘要：基于中国标准服务网(CSSN)和中国知网标准数据总库,采用文献计量方法、文献调研方法、聚类分析等方法,对真空泵领域标准的数量分布、类别分布、产业链分布和产品布局进行研究。发现:真空泵产品逐渐进入成熟期;极限压强、返流率、体积流速、结构扭矩、密封性是真空泵重要性能参数;美国现行标准的制定时间最早,且重视安全标准、降低成本标准的制定;我国行业标准数量较多,且以检验和试验标准为主。
  • 摘要：在自制的高密度聚乙烯(HDPE)膜上真空蒸镀氧化银(Ag_2O)得到Ag_2O/HDPE复合膜,考察该膜的抗菌性,并对奶酪进行包装,考察Ag_2O/HDPE膜对奶酪的保鲜性。结果发现,Ag_2O/HDPE膜对大肠杆菌和金黄色葡萄球菌均有强抗菌性。相比于HDPE膜,真空蒸镀Ag_2O/HDPE膜能有效抑制奶酪中微生物的生长、延缓奶酪贮藏期内感官品质的下降,包装7 d的奶酪的pH值更接近标准样,Ag_2O/HDPE膜对奶酪具有一定的保鲜性。此外热重分析结果表明,不同包装材料对奶酪的热分解速率有一定影响,在320℃附近,真空蒸镀Ag_2O/HDPE膜所包装奶酪的热失重比纯HDPE膜所包装奶酪的热失重小。
  • 摘要：针对集成电路注入设备对等离子体大面积、高密度和良好均匀性的要求,利用CFD-ACE仿真软件对1500 mm×1500 mm大面积感应耦合等离子体腔室做了多物理场综合仿真。利用正交实验法对等离子体腔室结构和工艺参数进行仿真优化,得到了能够产生高密度均匀的等离子体优化参数。对参数优化后的等离子体腔室做了仿真分析,结果表明腔室中气体流速会受到电极卡盘上方线圈的扰动。另外仿真发现腔室中电极卡盘上方等离子体密度具有整体分布均匀,但是边缘部分出现等离子体密度陡变的特点。分析原因为工艺气体的扰动以及电极卡盘边缘上表面和侧面对等离子体双重复合两方面的影响。
  • 摘要：十多年前开始在真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空,效果满意。这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中。将低温泵并入真空系统中,达到清洁的超高真空环境。本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用;重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节。对同类真空炉的研发和低温泵的应用都有参考价值。通过严格把关各研发环节,按照超高真空规范进行清洗,除气和烘烤,最后真空炉的极限压力达到了2×10^(-7)Pa,将常规的真空炉极限压力延伸了近一个数量级。
  • 摘要：Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基直热式阴极具有热发射电流密度大、工作温度低的特点,是一种用于大功率连续波磁控管的直热式阴极。本文主要研究了金属Re、W的掺杂对Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基直热式阴极次级电子发射系数的影响。通过测试表明Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基直热式阴极的次级电子发射系数(δm)为2.64,活性物质分别掺杂20%(质量比)和30%的Re粉和W粉后,阴极的最大次级电子发射系数(δm)都得到了提升,而且掺杂W粉的效果要优于掺杂Re粉。
  • 摘要：为获得猕猴桃果粉真空冷冻干燥的最佳工艺,以猕猴桃果浆为原料,以Vc含量、色差ΔE以及干燥速率为评价指标,以物料厚度、绝对压强、隔板温度为因素进行三因素Box-Behnken响应面试验,建立二次多项式回归模型,分析影响各指标的主次因素及因素间的交互作用,用遗传算法优化得出猕猴桃果粉真空冷冻干燥的最佳工艺参数,并加以验证。结果表明,猕猴桃果粉真空冷冻干燥的最优工艺参数为:物料厚度为8 mm,绝对压强为20 Pa、隔板温度40℃,在该参数条件下,猕猴桃果粉的Vc含量为51.75 mg/10 g、ΔE为3.82、干燥速率为1.89%/h。建立的各指标回归模型显著(P0.05),模型可用于分析和预测真空冷冻干燥工艺参数对猕猴桃果粉各考察指标的影响。研究为真空冷冻干燥技术应用于猕猴桃果粉的干燥加工提供技术依据。
  • 摘要：采用磁控溅射工艺,以Fe3O4磁性导体作为基底材料在其表面制得Nd Co Cr合金薄膜,分析了加入不同比例Co的情况下制得的Nd-Co非晶薄膜垂直磁各向异性(PMA)性能及其磁畴特征,同时对退火态薄膜组织相成分和磁性进行研究。结果表明:本实验制得了具有非晶形态的薄膜结构,当薄膜内的Co含量增加后,形成了强度更高的Fe3O4衍射峰。当Co含量逐渐增大后,Ms发生了不断增强。初始薄膜Keff表现为随Co含量增大而提高。Co含量为4%试样MFM图像上形成了明暗相间条纹。通过MFM方法测试得到的Δ■r曲线表现为与Ku曲线形状具有明显相似性,都在Co含量为6%位置处达到最大值。各退火态试样中都形成了Nd4Co3、Nd2Co17、Nd Co Cr2。当薄膜内析出NdCoCr5与Nd2Co7纳米晶后,获得了更大矫顽力,当Co含量大于4%时,退火态薄膜形成了较低的矫顽力。
  • 摘要：利用单极性脉冲磁控溅射方法,采用300,600,800 V的脉冲偏压,分别在A286铁基高温合金基底上沉积了MoS_2涂层,并对其进行了组织和性能研究,结果表明:所制备的涂层表面存在成核势垒,呈岛状生长模式,磁控溅射过程中,高能粒子的轰击改变了涂层表面晶格畸变程度及涂层与基体界面之间的热应力,使得涂层结合强度随偏压的增加先减小再增大,800 V偏压下涂层缺陷最少,内应力最低,结合强度最好。300和800 V脉冲偏压下,涂层沿平行于MoS_2层片的非极性(002)解理面择优取向,摩擦系数随摩擦阻力的减小降低,600 V偏压下,涂层沿(100)极性面择优取向,摩擦阻力最大,磨痕边缘有不同程度的犁沟痕迹,磨损机理主要为磨粒磨损。
  • 摘要：分别用磁控溅射法和共蒸法沉积了Mo和CIGS薄膜。考察了气压和CIGS高温沉积环境对Mo薄膜的影响,研究了Mo基底对CIGS结构和形貌的影响,给出了不同Mo基底上制备的电池效率。结果显示,Mo薄膜具有较强的(110)晶面择优取向,低气压沉积的薄膜结构致密,而高气压沉积的薄膜疏松多孔隙。经CIGS高温工艺后,Mo薄膜晶粒融合,形貌特征消失,其中0.1 Pa沉积的Mo薄膜晶粒融合后表面致密无孔隙,方阻下降,而高气压薄膜孔隙变大,方阻上升。高气压沉积的Mo薄膜中Se扩散现象明显,而低气压薄膜结构致密,有利于遏制Se的扩散。Mo薄膜对CIGS的生长有显著的影响,致密平整的Mo薄膜有利于CIGS晶粒长大形成柱状晶结构,并具有(112)晶面择优取向,而疏松的Mo膜上沉积的CIGS呈等轴晶结构,具有(220/204)晶面择优取向。电池结果显示,0.1 Pa沉积的Mo膜上制备的电池效率达到13.42%,气压增大时,填充因子显著降低,转换效率随之下降。
  • 摘要：微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,阴极性能好坏将直接影响微波器件的寿命及输出性能,这对浸渍阴极钨海绵基体制备工艺提出了很高要求。本文首先分析研究了传统净化工艺制备的阴极钨海绵基体,发现化学去铜过程中会有一些杂质沉淀在阴极钨海绵基体上;另外,传统净化方法去铜时间很长,一般在几十至几百小时;同时化学去铜也会造成环境污染。为了克服传统净化工艺的缺点,利用金属材料饱和蒸汽压的物理特性,将阴极钨铜合金基体直接放入真空室内的加热坩埚中,通过高(中)频加热线圈对坩埚进行局部加热,从而使含有铜的阴极钨铜合金基体被加热,使其中的铜迅速蒸发而沉积到冷凝器上并形成铜钟乳。实验结果表明直接进行真空高温去铜工艺技术具有去铜彻底、基体表面没有残留污渍、时间短、对高温炉无污染、对环境无污染等优点。对实验结果进行了理论分析计算,计算结果与实验结果相符合。
  • 摘要：采用三维电磁分析软件CST对盒栅式电子倍增器结构进行建模,利用控制变量的分析方法修改模型参数,模拟计算了不同打拿极栅网结构参数和出射电子能量条件下电子倍增器内部的电场分布、电子运动轨迹以及倍增器增益。研究分析了打拿极栅网结构参数和出射电子能量对电子倍增器特性的影响。数值模拟结果表明,倍增器打拿极栅网密度过密或者过疏均会降低电子倍增器的增益,在打拿极栅网间距为0.9 mm时电子倍增器增益最高;较小的二次电子出射能量有利于改善倍增器内电子轨迹的发散并提高倍增器增益。
  • 摘要：本文对自主开发研制的一种可用于纳米聚焦离子束系统的液态金属Ga离子源进行了不同温度下发射特性实验,测定了在三种引出电压下不同温度该离子源的I-T特性曲线,同时测定了在三种发射电流下离子源引出极电压和实验温度的关系曲线,并对这些曲线进行了分析。实验结果表明:随着温度升高,液态金属表面张力减小,导致发射阈值电压降低;在同一引出电压下,温度越高,发射电流越大。本文的实验结果可以为合理有效地设计液态金属离子源提供启示。

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