Heliumpartialdrucksensor statt Massen-spektrometer im Helium-Leckdetektor

摘要

Die Dichtheitsprufung mit Helium als Prufgas ist in der industriellen Fertigung zur Qualitatssicherung etabliert. Insbesondere bei Applikationen mit hohen Anforderungen zu Genauigkeit und Nachweisgrenze steht kein alternatives Verfahren zur Verfugung. In den Prufanlagen erfolgt der Nachweis des Heliums bisher mit massenspektroskopischen Methoden. Hierzu sind Hochvakuumbedingungen notwendig. Die Sicherstellung dieser Bedingung in der Industrieumgebung ist zeitaufwendig und kostenintensiv. Der neuartige Wise Technoloy Sensor weist Helium unabhangig vom Umgebungsdruck bis hin zum atmospharischen Druck nach. Die Anforderungen an das Pumpsystem in den Prufanlagen sind also drastisch geringer, bzw. das Pumpsystem kann komplett entfallen. Im Sensor wird zum Heliumnachweis mit einer sehr dunnen, beheizten Quarzmembran das Helium von anderen Luftbestandteilen getrennt. In einem gekapselten, evakuierten Volumen hinter der separierenden Membran wird mit hoher Prazision der Totaldruck gemessen. Die gute Selektivitat der Quarzmembran fur Helium ermoglicht die Gleichsetzung des gemessenen Totaldrucks mit dem Heliumpartialdruck. Im Artikel wird das Prinzip und die Eigenschaft des neuartigen Sensors beschrieben. Die Starken dieses Nachweises werden anhand von Applikationsbeispielen aufgezeigt.