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中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会

召开年：2004
召开地：贵阳
出版时间：

主办单位：中国真空学会;中国计量测试学会

会议文集：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会论文摘要集

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1.差压式检漏方法及其应用技术
- 陈乃克
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：随着产业界对产品的密封性能、检测效率及测试成本的要求越来越高,利用差压传感器来检测被测物内压力变化的差压式检漏方法受到越来越多的重视.在此同时也使差压式检漏本身以及它的应用技术得到了长足的发展.本文除简述了差压式气密检漏的工作原理外,还介绍了几种不同的差压检漏方式的应用技术.譬如:密封元器件的检测方法、无基准物检测方法等等.
2.负压采样法
- 曹辉玲
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：通过在包头的两台1吨真空熔炼炉,北京的基因工程大型扫描电子显微镜和真空封接炉,西安的真空淬火炉检漏工程达标任务的完成,并与美国、英国、德国、俄罗斯、印度工程技术人员一起采用常规"负压采样法"进行现场对比试验.实践证明"负压采样法"是大型真空容积检漏最有发展潜力的使用检漏方法,同仁们认为值得向国内外推广.它将解决21世纪工业发展所急需的实用检漏技术的疑难,提高生产力,提高产品的可靠性,降低造价.
3.质谱检漏技术在大型核蒸汽发生器中的应用
- 杨社发;沈华康;吴志远
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：核蒸汽发生器是核动力装置的关键设备,是将在核反应堆堆芯获得的一回路载热剂的热量通过核蒸汽发生器管束将热量交换给二回路的工质--水,并使其产生蒸汽去推动主机作功.因此,为了确保核蒸汽发生器的安全运行、防止放射性物质的泄漏,检测它们的密封性是评定核蒸汽发生器整体制造质量不可缺少的一个重要性能指标.
4.正压检漏在汽车行业中应用
- 龚福歧
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：汽车上业的高速发展,对其产品的密封性能、测试效率、检测可靠性提出来出了越来越高的要求,以空气做为检测介质的直压式、差压式检漏仪在汽车生产制造品质监控中得到大量应用.本文从应用的角度就绝对压力试漏法、差压试漏法的检测原理、检测精度、漏度补偿数据网络发布几方面加以论述.
5.当前元器件检漏的几个问题
- 吴孝俭
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：密封性是电子元器件(以下简称元器件)诸多技术指标中较为重要的一项.现在经常使用的集成电路,在一个芯片上集成了成百上千的电路,导线之间的间距非常小,如果在芯片上沾污了过量的水汽等有害物质,就会使它被腐蚀或导线短路,从而造成电路失效.为了保护电路,要将芯片封在一个密封外壳里面.电路封接时,是在高纯氮气体中进行的,如果外壳非常密封,就能保证芯片始终在高纯氮气体中正常工作,如果外壳密封性能不好,外部的水汽及有害气体就会进入,导致不良后果.所以,在制造厂的生产过程检测中和在使用单位可靠性复检及DPA分析中,密封性均属必检项目.
6.氦质谱探漏的灵敏度实验
- 彭晓华;齐铁柱;杨奇
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：为了最大程度上发挥仪器的最小可检灵敏度,把氦质谱检漏仪(简称氦仪)与机组采用不同的接法,仪器所显示的灵敏度信号是不同的.目前干式检漏仪灵敏度可达10-12Pa·m3/s但对于加速器的探漏有时是在动态进行的.(指离子泵仍在工作的情况下).利用四极质谱计进行残余气体分析,并进行累计氦的方法也可实现超高灵敏度探漏.在工作中漏点的漏检是会发生的,探漏的快慢也建立在对真空系统结构的了解上.真空组在BEPC探漏工作上有着诸多这方面成功的经验.
7.检漏技术在航天工业中应用的概况
- 吴孝俭
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：卫星、飞船、运载火箭是主要的航天产品，有成百上干的密封部位需要检漏。多数航大产品检漏的特点是:漏率要求严格、定量要准确、工艺可靠、洁净无污染。氦质谱检漏、四极质谱检漏被广泛的应用。其它检漏方法，如气泡检漏、卤素检漏、压力变化检漏、渗透检漏等也在不同的场合及不同的产品上进行应用。
8.恒压式气体微流量计的性能实验研究
- 冯焱;张涤新;成永军;李得天;赵定众
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：2004年兰州物理研究所(LIP)研制了新一代恒压式气体微流量计，用于真空规和真空漏孔的校准。流量计由两部分组成，即压力测量系统和供气系统、流量测量系统。由自行研制的测控系统控制，可以在数字PID(美国NIST流量计采用的方式)和压力波动(德国PTB流量计采用的方式)两种恒压控制模式下提供和测量流量，两者一致性好于l ﹪。该装置的建立，可以为国防科研生产提供流量和真空度的校准服务，对推动真空计量学的发展，参与流量的国际比对也具有重要意义。
9.浅谈膨胀法真空标准装置考核
- 宫风顺
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：进行.通过现场考核验证,被考核建标的两套"金属膨胀法真空标准装置",基本反映了国内真空检定/校准标准装置的水平。">受国家计量标准考核委员会委派,作为国家一级计量标准(真空、压力)考评员于2004年3月、5月,对国防科工委真空计量一站(兰州物理所)和上海市计量测试技术研究院所建立的社会公用标准"金属膨胀法真空标准装置"进行了现场考核。考核工作依据JJF1033-2001<计量标准考核规范>进行.通过现场考核验证,被考核建标的两套"金属膨胀法真空标准装置",基本反映了国内真空检定/校准标准装置的水平。
10.氦质谱检漏仪校准真空校准漏孔
- 周起春;陈旭;王立功
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：为了指导渗氦型真空校准漏孔的制造,必须定量研究其物理性能,确定结构等因素对漏率造成的定量影响,这就必须解决大量的校准工作.为此,提出了一个建立相对真空漏率标准的方案:用一台高稳定度、高分辩率并具有优良线性的氦质谱检漏仪,配置由计量技术机构精确校准的高稳定度真空校准漏孔作为参考标准,即可实现对渗氦型真空校准漏孔(或真空通导漏孔)进行高效、准确的比较校准.参考标准漏孔及其实验用漏孔为VCL型真空校准漏孔,实验使用清华大学电子工程系PREIFFERVACUUM氦质谱检漏仪,读数精度为0.01Pa·m3/s(精确到小数点后两位).做了三个典型实验:仪器短期稳定性,同日多次校准重复性,隔日多次校准重复性及互校.实验结果为:仪器具有极好的短期稳定性,等精度多次校准重复性为±1﹪,用七只漏孔与国防科工委成都计量站进行互校,其互校极限偏差均＜±4﹪.对实验结果作了分析,说明这一方法很适合作相对真空漏率标准.以满足大量漏孔的校准.
11.成都仪器厂氦质谱检漏仪发展概况
- 鞠世春
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：成都仪器厂是国内唯一的一家自六十年代开始研制、生产氦质谱检漏仪,至今四十年来从未中断过研制、生产的工厂。该厂经历了仿制、合作研制、自行研制三个阶段。本文进行了详细介绍。
12.真空计量、质谱和检漏的一些进展
- 陈旭;查良镇
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：作者根据已了解的国内外真空计量、质谱和检漏领域的新进展，结合参加两个相关国际会议与对欧美的访问作简要综述。
13.检漏技术在航天工业中的应用
- 闫荣鑫
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：航天器一般都有严格的漏率要求,要求进行可靠、灵敏的检漏。航天器的检漏技术关系到航天器的成功与否,各航天国家都非常重视。本文概述了检漏技术在航天工业中的应用。
14.HL-2A托卡马克装置的真空系统
- 曹曾;崔成和;徐云仙;付卫东
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：中国环流器2号A(HL-2A)偏滤器托卡马克是我国第一个有偏滤器位形的核聚变实验装置,主要结构特点是真空室内具有磁孔栏和轴对称(极向)封闭式偏滤器,可在偏滤器物理和刮离层研究方面做出重要贡献,为我国参加国际热核实验堆(ITER)提供物理和技术基础.现代核聚变实验装置要求真空系统必须实现以下功能:①装置真空室的零部件及总体抽空、检漏;②真空室的烘烤除气(H2O);③辉光放电清洗、面对等离子体部件的锻炼及原位处理;④边缘粒子的抽运与控制;⑤等离子体放电实验运行.根据上述技术要求和装置真空室结构特点,选用8台F-400型35001s-1涡轮分子泵做主抽气泵,设计为前级汇总式三级抽气机组,对环有效抽速为12m3s-1.表1是装置真空室烘烤时总气压和主要残余气体组份.
15.管内材料高温放气性能的测试及应用研究
- 王为;孙公方;钱永生
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：管内材料放气性能的优劣直接影响着整管的性能和寿命.本文简介了测试管内材料高温放气性能的原理、装置和方法.本文所配置的高精度温控仪及测试数据自动采集、贮存和处理系统的精度和智能化水平,目前在国内处于领先地位.文中列举的几项应用实例表明,本项测试结果对产品质量控制、工艺技术改进和材料进厂检验及国产化攻关都具有指导意义.
16.非蒸散型吸气剂性能的质谱实验研究
- 陈光奇;王荣宗
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：非蒸散型吸气剂是在静态条件下维持真空的理想材料,在一定的激活工艺下,常温吸气剂具有较大的抽速,在较长时间内使真空室维持较高的真空度.在目前采用多层绝热的低温容器夹层中,几乎都采用非蒸散型吸气剂.在一些长寿命的军用超小型低温容器中,非蒸散型吸气剂是产品的必须采用材料.利用质谱分析技术对吸气剂激活及工作过程中进行成分分析,为吸气剂研究和使用提供宝贵数据.
17.辉光放电清洗前后表面放气的质谱分析
- 黄天斌;陈旭;金奇计;曾鹏;查良镇
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估.实验结果表明,质谱技术能给予表面吸附气体细致的分析,氦气可以轰击去除以及置换出样品吸附的气体,空气中占绝大部分的氮气和氧气在辉光放电清洗后的出气量下降,部分油蒸汽的出气量也下降,有利于超高真空的获得和维持.
18.真空检漏技术在汽车空调行业中的应用
- 周小弟
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：为确保汽车空调的制冷效果和使用寿命,汽车空调的蒸发器和冷凝器的检漏是不可少的.传统的检漏方法,由于其灵敏度低,使用烦杂,工作强度大等因素,已被高灵敏度、规范化、效率高的真空检漏技术--氦充气回收检漏系统所代替并取得理想的效果.
19.氮质谱检漏技术在大型中央空调中的应用
- 陈一峰
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：指出了氦质谱检漏仪在大型中央空调(溴化锂制冷行业)中的应用的重要性.进一步介绍了氦质谱检漏仪的基本原理,结构,以及对溴化锂制冷机组进行氦质谱检漏时的检漏程序、方法和注意事项.
20.氦质谱检漏方法在卫星检漏领域的应用
- 薛长利;丁勤
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：对于卫星检漏来说，漏孔的截面形状很不规则，位置也有一定的随机性。本文概述了氦质谱检漏方法在卫星检漏领域的应用。重点介绍了单点检漏技术和系统检漏技术。
21.超灵敏度检漏系统及其校准
- 肖立波;陈旭;陈聘;金奇计;查良镇
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：本文结合国内外超灵敏度检漏技术的发展现状,研制了一套超灵敏度检漏系统.实验表明,该装置能稳定提供10-14Pa.m3/s的氦流量,可解决超灵敏度检漏实时校准的难题.
22.检漏技术应用研究中几个值得注意的问题
- 陈庆林
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：近年来,学术浮躁之风在许多科学技术领域泛滥,引起各方面的重视,受到人们的抨击。在检漏技术领域,浮躁之风也不可小视。笔者从1988年开始,为中国无损检测学会会刊<无损检测>审校检漏技术方面文稿.本文综述了送审文稿中反映出的一些不良倾向。
23.石英渗氦型校准漏孔随温度变化性能的研究
- 于红燕;郑可可
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：四极质谱检漏法是灵敏度最高的检漏方法之一,广泛应用于航天、电子、制冷等行业.四极质谱检漏仪是通过一个校准漏孔进行标定的,校准漏孔的漏率值是否准确,则是通过溯源至国家漏率标准来保证.石英薄膜渗氦型校准漏孔是四级质谱检漏仪经常采用的一种漏孔,其最主要的优点是抗污染能力强、性能稳定.目前这种漏孔的使用量很大,计量院每年都能够接收二百余只.这种漏孔对温度较为敏感,漏率值会随着温度变化而改变,国内外漏孔出厂时均给出了温度修正,普遍为3﹪/℃.温度修正系数是漏孔很重要的一个参数,本文就是通过实验来验证对于薄膜渗氦型漏孔,温度系数为3﹪/℃是否可靠.
24.玻璃毛细漏孔漏率的测量
- 王金锁;许红;唐景远
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：本文介绍了对毛细漏孔气流的性质,漏率测量以及Q-P关系的研究.利用石英玻璃拉制的毛细渊孔漏率范围为1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),本文建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s～1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2﹪～5﹪(k=2).
25.定容式流量计测量小孔流导的方法研究
- 郭美如;张涤新
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：在真空计量中需要精确知道小孔流导的大小,一般情况都采用恒压式流量计测量小孔流导,本文提出了用定容法测量小孔流导的方法.
26.中科科仪真空检漏事业的发展和展望
- 周小弟
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：本文主要论述中科科仪在四十余年中研制的氦质谱检漏仪及辅助工艺设备的简单历程和主要检漏仪的性能介绍,谈及了今后的发展趋向和有自主知识产权的先进产品.
27.沈阳市真空机械三厂氦质谱检漏仪发展回顾
- 郎人和
- 《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会》 | 2004年
摘要：本文回顾了沈阳市真空机械三厂研制氦质谱检漏仪的发展历程，二○○三年,目前该厂致力于新一代检漏仪的研制.正压检漏在AH-1型基础上,进一步开发用于天然气工程检漏的仪器.负压检漏方面,已规化出两种全自动的负压检漏仪,一种是高档进口分子泵系统,一种扩散泵系统的低档高性能仪器,两种负压检漏仪都可配备快检吸枪,用于正压吸入式检漏,可直接从大气采样检漏.低档扩散泵检漏仪启动时间控制在10分钟之内,售价在四万元人民币以下.