一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法

摘要

本发明公开了一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，给出了对已压氦或预充氦密封元器件压氦进行多次压氦法或预充氦压氦法氦质谱细检漏的程序，特别是给出了程序中的压氦时长、最长候检时长和测量漏率判据。本发明的有益效果为：与仍采用单次压氦法进行再次细检漏相比，本发明更为简捷精确，且可避免接近粗漏的大漏的漏检和细漏的错判；与先细漏检测、压氦再细漏检测的两次检测相比，不仅减少一次细漏检测，减少了测试偏差，而且可以利用压氦前被检件内部有所衰减的预充氦氦气压力或压氦压入的氦气压力，使检测更为灵敏；与多因素比较前一次细漏检测和压氦后二次细漏检测的候检时长和测量漏率的方法相比，更为简便可行。