超高真空

摘要： 由于量子受限效应,二维材料表现出很多三维材料所不具备的优异电学、光学、热学以及力学性能,为研究人员所关注.材料的优异物性离不开高质量材料的制备,超高真空环境可以减少杂质分子的污染与影响,提高二维材料的质量与性能.本文介绍基于超高真空环境的新型二维原子晶体材料的原位制备方法,包括利用分子束外延构筑新型二维材料、利用石墨烯插层构筑新型二维原子晶体材料异质结构以及利用扫描探针原位操纵构筑二维材料异质结构三大类.文章回顾利用这三类方法构筑的二维材料及其物理化学性质,比较三种方法各自的优势与局限性,对未来二维材料制备提供一定的指引.

摘要： 合肥先进光源(HALF)是一台正在规划中的衍射极限同步辐射光源,其紧凑的物理设计和小孔径磁铁导致传统离散分布的真空泵系统很难达到衍射极限储存环所需的超高真空环境。镀有NEG(Non-Evaporable Getter)薄膜的小孔径真空盒不仅节约空间,还具有分布式吸气的能力,能满足衍射极限装置对超高真空的需求。NEG膜层需要在一定温度下激活才能具有吸气作用,因此在满足其他部件安全的前提下,它的激活方法与工艺十分重要。本文通过建立在线激活NEG薄膜的温度分析模型,模拟在加热温度为180°C和200°C情况下的NEG镀膜真空盒及磁铁的温度分布;采用聚酰亚胺加热膜缠绕管道的加热方式对管道的在线激活工艺进行初步研究,完成银铜(OFS)真空管在线激活时的温度测量,测得磁铁最高温度保持在40°C左右,验证了NEG镀膜真空管在线激活时四极磁铁的安全性。此研究为合肥先进光源NEG镀膜真空盒在线激活提供了解决方案和工作基础。

摘要： 热阴极电离真空计的压力测量范围可覆盖超高真空、高真空和中低真空,该真空计广泛应用于各类真空装备。依据电离真空计工作原理,对电离真空计的本底干扰离子流I_(r)^(+)进行了理论分析,讨论了气体分子热脱附、软X射线效应、ESD效应等多个因素对I_(r)^(+)的影响,优化了规管尺寸和制备工艺,研制了真空规管,将本底干扰降低到2×10^(-9)Pa以下,并研制了配套的电控单元,使微弱离子流测量下限达到0.1 pA量级。该宽量程电离真空计产品的实测范围达到1.26×10^(-9)~6.02×10^(-1)Pa,灵敏度波动小于±11%。

摘要： 本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试.结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10-8Pa的指标要求.SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了各自的名义抽速,对惰性气体(氩气)的饱和抽速最大值也超过了名义抽速的60％.通过四极质谱计测得的残气谱图得出溅射离子泵的洁净度达到了上海光源光束线的洁净要求.经过测试的溅射离子泵安装到光束线上均能正常工作,动态真空满足设计指标.

摘要： 通过在加工现场和安装现场搭建的真空辅助系统、四极质谱计及氦检漏仪组成的检漏系统,运用残余气体分析和氦质谱检漏方法在冷态下对HL-2M真空室扇形段及真空室整体进行了真空检漏试验.对漏点进行修复后,测试了真空室的极限真空度和总漏气率等.真空室经过72h的抽气后,真空度达到3.7×10?5Pa,超过了1.0×10?4Pa的预期预抽真空度.用静态定容法测得的真空室漏放气率为2.3×10?7Pa?m3?s?1,小于设定的真空漏率技术指标5×10?7Pa?m3?s?1.试验结果表明HL-2M装置真空室满足超高真空条件,符合设计要求.

摘要： HL-2M装置真空抽气系统包括4套涡轮分子泵机组和4套低温泵机组.辅助系统主要由设备逻辑控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统3部分组成.真空室经过100°C烘烤后真空度达到2.3×10?6Pa,超过了设计预期真空度,满足超高真空技术要求.

摘要： 超高真空计广泛应用于超高真空环境下的精确压力测量,也是目前唯一实际可用的超高真空测量仪器.本文基于Bayard-Alpert原理研制了一种超高真空计,开展了电子运动轨迹的模拟仿真计算和实验研究,分析了发射电流对规管灵敏度值的影响.结果 表明,测量范围为10-9～10-2Pa量级时,灵敏度平均值为0.145 Pa-1,波动为±1 5％,10-8～10-2Pa范围内,灵敏度平均值为0.148 Pa-1,波动为±6％,实验测试结果与理论计算结果具有良好一致性.超高真空计的控制系统中的名义灵敏度设置为0.15 Pa-1,对其测量结果开展精确校准,校准范围为2.190×10-9～1.128×10-2Pa,校准结果的修正因子为1.02,扩展不确定为15％(k=2).

摘要： 中国散裂中子源(CSNS)加速器真空控制系统负责真空数据采集、设备监控和闸板阀控制与联锁,是设备运行和故障诊断以及超高真空保持的重要保障.本文介绍了加速器真空需求,基于实验物理及工业控制系统EPICS软件框架的真空控制系统设计与实现,使用横河可编程逻辑控制器PLC控制与联锁设备,摩莎MOXA工控机监测真空状态,EPICS PV数据直接进入声音报警系统和历史数据库系统,为工作人员及时发现和处理问题、进行后续数据分析和机器研究等提供了便捷途径和可靠保障.目前,该系统已完成现场安装和调试,并已正式投入运行.运行结果表明,该系统具有稳定性好、可靠性高、人机交互友好的特点,很好地满足了加速器真空控制系统运行的需要.

摘要： 本文介绍了一种新型超高真空辅助设备-低温水泵.采用低温水泵与分子泵、离子泵相结合的方式,应用于大功率微波器件超高真空排气系统中,可提高系统对水蒸气的抽气能力,使管子获得所需要的清洁超高真空.其抽气机理及特性在文中有所论述.

摘要： 激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域唯一真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表.它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点.而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节.在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程中,都涉及到超高真空的获取技术.本文将对激光陀螺生产过程中超高真空的获取技术进行探讨.

摘要： 本文全面系统介绍了国外引进微光管超高真空设备的系统结构、组成,设备功能及关键技术指标,得出了超高真空获得技术改进取得的结果,并对设备在国内的应用前景作了全面分析.

摘要： 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10～10)Pa,合成标准不确定度为1.5％～3.5％。

摘要： 采用弹性指状屏蔽兼顾平滑方圆过渡RF屏蔽结构设计,有效的降低了波纹管部件的真空阻抗.测试结果表明全新结构的带有RF屏蔽波纹管真空室与普通结构波纹管(无RF屏蔽)真空室相比,其真空阻抗Z降低了三分之二,达到了改进设计要求.

摘要： 采用弹性指状屏蔽兼顾平滑方圆过渡RF屏蔽结构设计,有效的降低了波纹管部件的真空阻抗.测试结果表明全新结构的带有RF屏蔽波纹管真空室与普通结构波纹管(无RF屏蔽)真空室相比,其真空阻抗Z降低了三分之二,达到了改进设计要求.

摘要： 采用弹性指状屏蔽兼顾平滑方圆过渡RF屏蔽结构设计,有效的降低了波纹管部件的真空阻抗.测试结果表明全新结构的带有RF屏蔽波纹管真空室与普通结构波纹管(无RF屏蔽)真空室相比,其真空阻抗Z降低了三分之二,达到了改进设计要求.

摘要： 采用弹性指状屏蔽兼顾平滑方圆过渡RF屏蔽结构设计,有效的降低了波纹管部件的真空阻抗.测试结果表明全新结构的带有RF屏蔽波纹管真空室与普通结构波纹管(无RF屏蔽)真空室相比,其真空阻抗Z降低了三分之二,达到了改进设计要求.

摘要： 本发明涉及一种用于真空环境下的气体纯化装置及超高真空设备，气体纯化装置包括气体存储罐，气体存储罐通过第一连通管道与超高真空设备的真空腔体连通，第一连通管道上设置有第一阀门，气体存储罐上设置有进气口；气体存储罐通过第二连通管道连通有换热管，换热管外部设置有换热结构，第二连通管道上设置有第二阀门，换热管的出气口通过第三连通管道与气体存储罐连通，第三连通管道上设置有真空泵站，第三连通管道上于真空泵站的上、下游分别设置有第三阀门和第四阀门。能够将实验气体中凝固点低于被纯化气体的凝固点的杂质气体脱除，保证了后续多相催化反应的效果。

摘要： 将整条磁浮管道每两百公里建一道密闭闸门，在整条磁浮管道内每一百米焊一根水管与管外水管相通。铺一段八十米长的管状优质气囊两端各拉长十米用磁条将管状气囊的端部卡在预设的卡槽内，管状气囊紧贴在4毫米深一米宽的槽内，整个管状气囊平磁浮管底部平面，管状气囊的中央设与水管卡环联接的卡扣，经重力将卡扣压下抓紧卡环，用优质高压密闭圈将其无缝联接。弄好一切准备工作，经十个抽注水站向两百公里长的磁浮管的管状气囊同时注水，注水量大约是450万立方米，压力达0.15兆帕后，排出第一磁浮管里的空气，再将水用多级水泵注入相邻第二磁浮管道的管状气囊里，水压达0.15兆帕时，将第二磁浮管里的空气排出，这样反复五次就能将这两条两百公里的磁浮管道制成超高真空，管内的气压是常压的几百亿分之一，设每次余气是百分之一，经计算可得，整个磁浮管的管状气囊用后不必拆出，留在磁浮管道内，若有漏气，两端闸门一关，可随时启用排气。

摘要： 本发明公开了一种超高真空系统及其可控温真空方法，包括底板，所述底板的顶部设置有真空腔，所述真空腔的顶部和底部均固定连接有圆板，所述底板的顶部且与位于真空腔的前后侧设置有夹紧加固机构；所述夹紧加固机构中包括开设在底板顶部的滑槽，所述滑槽内壁的前后侧之间转动连接有双向丝杆，本发明涉及超高真空系统技术领域。该超高真空系统及其可控温真空方法，通过夹紧加固机构的设置，实现了对真空腔的快速夹紧固定，避免了抽真空时真空腔震动过大出现移动的情况，提升了抽真空的效率，另外通过两个弧形夹板的设置，实现了隔热保护的作用，避免了工作人员不小心接触加热时的真空腔造成烫伤，增强可安全性。

摘要： 本发明涉及高超真空凝聚态物理表征技术领域，具体涉及一种观测超高真空内被观测物的长镜筒真空显微成像镜头，包括：准直光源、分光片、前镜组、后镜组以及CCD相机，准直光源用于发出准直光线或近准直光线照亮被观测物，前镜组设置在真空腔中，到样品的工作距离长，用于将被观测物进行光学放大；后镜组设置在真空腔外部，前镜组和后镜组之间距离长达350至800毫米，中间通过光学窗口隔绝真空，后镜组用于接收前镜组传递的反射光线并光学放大后成像到CCD相机的耙面；CCD相机连接计算机的显示器，用于将CCD相机耙面的成像进行数码放大。真空位移台用于实现长镜筒真空显微成像镜头对样品的扫描，适合用于真空探测，机械剥离的真空观察。

摘要： 本发明公开一种互联用转接真空装置，包括第一真空单元和第一吸附单元，其中，第一真空单元具有第一真空腔、第一转接口、第二转接口和抽气口，第一吸附单元包括容置腔和吸附壁，第一转接口能够与其中一组超高真空设备相连，第二转接口与另外一组超高真空设备相连，抽真空设备通过抽气口对第一真空腔进行抽真空后，向第一吸附单元的容置腔内输入冷却介质，使第一吸附单元降温，使得吸附壁能够吸附第一真空腔内壁脱附的水分子，从而进一步提高第一真空腔的真空度，使得样品能够在两组超高真空设备之间顺利转移，同时有效避免样品被污染。本发明还提供一种超高真空设备，包含上述的互联用转接真空装置，提高超高真空设备的适应性。

摘要： 一种超高真空吸气剂泵，包括吸气剂片、电加热器和结构连接件；电加热器设有封闭的壳体；吸气剂片直接连接在电加热器的壳体外壁上，或者，吸气剂片通过导热结构连接在电加热器的壳体外壁上；连接结构包括真空法兰；真空法兰的中间位置开有通孔，电加热器的尾端自真空法兰的一侧面穿过该通孔，并且，电加热器的壳体外壁与该通孔内壁焊接密封；在真空法兰的另一侧面设有电连接器。一种超高真空大抽速吸气剂泵，包括金属外壳和至少2个上述的超高真空吸气剂泵；各个超真空吸气剂泵并列连接；金属外壳的一端开口，该开口端焊接有真空法兰；金属外壳上的真空法兰与超高真空吸气剂泵上的真空法兰紧密连接；金属外壳的侧壁上开有连接口，该连接口的向外延长段上设有法兰接口。

摘要： 本实用新型公开了一种用可代替真空伏辊的超高真空箱，属于真空箱领域，包括真空箱，真空箱的右侧固定连接有套筒，真空箱的内部左侧固定连接有限位框，套筒的内部右侧固定连接有限位环，通过在左端盖与右端盖上分别设置多个凹槽，通过螺纹分别转动连接螺纹杆，螺纹杆的两端分别固定连接螺纹块与挡块，从而方便使得真空箱与左端盖密封卡接，套筒与右端盖密封卡接，而且螺纹杆与螺纹块不会脱离左端盖与右端盖，从而避免丢失，方便装卸，同时通过在真空箱、套筒与透视窗的外侧分别设置加强层、防爆层与外防护层，分别加大了对真空箱、套筒与透视窗的防护，减小了真空箱、套筒与透视窗的爆裂损坏和受到外界恶劣环境的影响而损坏。

摘要： 本实用新型公开了一种超高真空原子力显微镜用真空系统，旨在解决现有超高真空用原子力显微镜所使用的真空系统主要采用大型腔体的设计，结构复杂，安装麻烦，成本较高，且不易与其他系统进行对接扩展的问题，包括真空腔体，所述真空腔体的底壁上安装有用于对样品进行纳米区域物理性质探测的AFM集成模块，AFM集成模块包括有对样品探测的AFM扫描探针，且真空腔体的顶部安装有用于观测AFM扫描探针工作准确位置的显微镜观测模块；所述真空腔体上设有法兰快开门、超高真空获得模块和超高真空测量模块。本实用新型尤其适用于超高真空原子力显微镜的真空系统构建，具有较高的社会使用价值和应用前景。

摘要： 本实用新型属于磁约束核聚变技术，具体为一种大型托卡马克真空室非圆通道超高真空密封法兰结构，包括的凹法兰、凸法兰和接管；凹法兰和凸法兰相对端面内侧加工配合的两级90°密封台阶，两者之间放置铜丝圈，使得凹法兰和凸法兰沿轴向保留间隙；通过双头螺纹销或双头螺柱将凹法兰和凸法兰连接。通过90°密封台阶压缩无氧铜丝的结构方式，可以满足不同形状的非圆通道窗口法兰的超高真空密封需求，减少了非圆窗口的密封面的加工和维护难度。

摘要： 本申请公开了一种高真空或超高真空进动式调节装置，包括：包括调节阀组件和可伸缩管，所述可伸缩管的一端与所述调节阀组件连通设置。本申请可伸缩管的一端与调节阀组件连通，可伸缩管的另一端可与其他组件(如连接于氢原子钟的泡口颈部)连接，以实现可伸缩调节作用。