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真空系统电控多位阀外泄漏解决方案

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本文通过分析"VICI Valco"电控多位阀阀体结构及工作原理,并对阀体结构进行密封改造,解决了电控四位、六位阀本身存在的外泄漏,并经过试验和检测,最终满足系统的泄漏率要求.

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来源
《2012年无损检测技术交流会》|2012年|184-186|共3页
会议地点海口
作者
李建刚; 罗正华; 崔元萍;
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作者单位

国防科技工业无损检测人员资格鉴定与认证委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空检漏与仪器;
关键词
真空系统; 电控多位阀; 氦质谱检漏; 密封改造;
入库时间 2022-08-17 11:05:17

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