薄膜结构

摘要： 利用固定界面的模态综合法建立了平面薄膜结构耦合动力学模型,精确得到了薄膜结构发生耦合振动的临界条件,分析了其耦合动力学特性。结果表明,与薄膜结构耦合基频有关的参数主要有薄膜预应力、框架弹性模量、截面惯性矩、长宽比、边长、框架横截面积、框架密度、薄膜密度和薄膜厚度。当薄膜预应力小于临界值时,薄膜结构的振动由薄膜来主导,当薄膜预应力大于临界值时,薄膜与框架发生耦合振动,此时薄膜结构的振动特性由薄膜与框架共同影响,并且随着薄膜预应力的增大,薄膜与框架发生耦合振动的阶数也随之增多并会出现振型顺序后移的现象。对薄膜结构的动力学特性进行了无量纲分析,推导了薄膜结构的小尺寸模型和大尺寸实物之间的相似准则。

摘要： 为了满足MEMS火工品的低能化发火和高能量利用率要求,基于MEMS技术设计并制备了8种不同桥区中心角度的“V”型薄膜换能元,对不同换能元样品进行了结构参数表征和性能测试,并完成了8种换能元安全电流测试和电容放电条件下的发火性能测试。研究表明:在“V”型结构桥区桥膜厚度一定的情况下,通过减小桥区面积、缩短桥区中心宽度以及选择合适的桥区中心角度可实现MEMS火工品的低能化发火;当“V”型桥区中心角度在50°到90°之间时,本研究薄膜换能元最小全发火电压可降低至2.2V/100μF。

摘要： 执行深空探测任务的薄膜太阳帆在入轨展开过程中,其薄膜结构在宏观力学响应上表现出显著的拉压不对称特性。系统的动力学行为呈现出强烈的非线性特征,使其动力学建模与仿真计算面对巨大挑战。基于绝对节点坐标方法(Absolute Nodal Coordinate Formulation,ANCF),整合张力场和不同模量弹性理论,推导了单元精确的切线刚度矩阵,提出了一种考虑不同模量的ANCF薄膜单元计算方法。在此基础上,采用第一类拉格朗日方程对薄膜太阳帆进行动力学建模,并通过可控数值耗散的广义-α算法求解动力学方程,分析了太阳帆不同结构设计参数对其展开动力学特性的影响。仿真结果验证了该方法在处理空间薄膜问题时的算法稳定性和高效性,对大型帆膜结构的系统设计有理论指导意义。

摘要： 大尺度薄膜结构平面天线由于轻质、超柔特点,其动力学性能参数较为复杂.为掌握其在轨结构动力学特性,基于温度-结构预应力导入方法建立了大型空间可展薄膜结构的动力学模型,分析了可展薄膜结构的动力学特性.通过建立的动力学模型,采用特征系统实现算法(ERA)对薄膜结构平面天线的模态参数在轨辨识进行研究.辨识结果与仿真分析结果对比表明,ERA方法可以有效辨识薄膜结构平面天线的低阶固有模态,为其工程化实施奠定了理论研究基础.

摘要： 低频声波在传播过程中具有波长较长、难衰减的特点,且易与人体器官发生共振,对人体健康造成严重影响。为了解决传统吸声材料难以对低频声波加以控制的问题,本文通过正在发展的声学超材料总结了解决噪声污染问题的方式。本文归纳了吸声超材料的研究现状,介绍了几种典型吸声超材料结构通过结构设计实现低频降噪的具体方法与实际效果,包括薄膜薄板式吸声超材料、类亥姆霍兹式吸声超材料以及复合式吸声超材料。最后在此框架下,结合目前吸声超材料设计和实用化过程中存在的不足,对吸声超材料领域存在的问题和未来的研究方向进行总结。为吸声结构设计和相关性能的研究以及实际应用提供了一定参考。

摘要： 柔性张拉薄膜可展开天线是将柔性电子、柔性薄膜材料、柔性结构和柔性展开技术融合创新的一种具有广泛应用前景的大型可展开空间天线,具有轻质、高展收比、高增益和波束灵活的特点,可有效满足遥感、通信、深空探测卫星的特殊需求。阐述了柔性张拉薄膜可展开天线的特点与研究现状;对空间薄膜天线研制的基础理论及综合测试方法进行了总结;结合具体工程问题,论述了大型可展开空间薄膜天线研制所需要解决的关键技术难题,并进一步分析了薄膜天线的技术发展趋势。

摘要： 目的选取影响氧化铟锡(ITO)薄膜生长关键的3种参数,即薄膜生长的氧气流量、薄膜厚度和热处理退火,系统研究其对ITO薄膜光学和电学性能的影响规律。方法采用直流溅射法,在氩气和氧气混合气氛中溅射陶瓷靶材制备ITO薄膜样品。利用真空热处理技术对所制备的ITO薄膜进行真空退火处理。通过表面轮廓仪测试厚度、X-射线衍射仪(XRD)表征结构、X-射线光电子能谱仪(XPS)分析元素含量、分光光度计测试透过率和四探针测试薄膜方块电阻,分别评价薄膜厚度、光学性能和电学性能,并对比研究热处理对薄膜结构和光电性能的影响规律。结果电阻率随氧气流量的增加呈现出先缓慢后急剧升高的规律,在氩气和氧气流量比为150∶8时,可得到400 nm厚、电阻率为8.0×10^(-4)Ω·cm的ITO薄膜。厚度增加可降低薄膜电阻率,氧气流量的增加可明显改善薄膜透光性。通过真空热处理可提高室温沉积ITO薄膜的结晶性能,较大程度地降低电阻率。在真空热处理条件下增大薄膜厚度可降低薄膜电阻率,氧气流量增加不利于ITO薄膜电阻率的降低。在氩气和氧气流量为150∶6条件下制备的ITO薄膜,经500°C真空热处理后电阻率可达到最低值(2.7×10^(-4)Ω·cm)。结论通过调控氧气流量和厚度来优化ITO薄膜的结构和氧空位含量,低温下利用磁控溅射法可制备光电性能优异的ITO薄膜;真空热处理可提高薄膜结晶性能,通过氧气流量、厚度和热处理温度3种参数调控可获得最低电阻率的晶态ITO薄膜(2.7×10^(-4)Ω·cm),满足科技和工程领域的需求。

摘要： 传统磁控溅射装置制备的纳米颗粒薄膜粒径不均一并且实现粒径大小调控比较困难.本研究采用电场辅助沉积技术,在沉积平台施加5～30 kV的电场,以Si(100)为衬底制备了一系列纳米颗粒粒径均一的高致密度FeNi纳米颗粒薄膜材料.通过XRD、SEM以及VSM测量,研究了不同沉积电场下FeNi纳米颗粒薄膜的结构、形貌和磁性能.利用单端口短路微带线法对0.5～5.5 GHz范围内的微波磁谱进行表征.实验结果表明:沉积电场越大,纳米颗粒粒径均一且薄膜的致密度越高,越有利于薄膜综合磁性能的改善和饱和磁化强度增大.薄膜材料微波磁谱表明,电场辅助沉积技术制备的软磁薄膜材料能够在GHz频段得到广泛应用.

摘要： 对于觅音计划的光学系统而言,太阳光是其杂散光的首要来源,是影响成像质量的重要因素.通过将仿生技术和折纸理论相结合,完成光学系统的遮光罩设计.依据花朵开放过程,获取遮光罩的拓扑构型,完成遮光罩折展设计,并根据光学系统任务需求,优化遮光罩拓扑构型.采用底面为正六边形的拓扑构型时,遮光罩的折展比为8,且折叠后的包络空间和卫星星体所占用的空间相重合,能够更好地利用空间.选用两层薄膜作为遮光结构,一方面提高了遮光性能,另一方面遮光罩本身具有一定的隔热功能,更好地保护了光学系统.最后通过ABAQUS仿真模拟薄膜的展开过程,并进行应力水平分析.结果表明,遮光罩薄膜展开过程顺利,展开后最大应力为40.63 MPa,满足聚酰亚胺薄膜材料的使用要求.

摘要： 由于如今的笔记本电脑和平板电脑等设备的功能越来越强,移动办公的频率也随之变高,因此选择一款既轻薄又支持多设备无线连接的键盘就变得十分重要。传统的机械键盘在轻薄上不占优势,而适合移动办公的超薄键盘又基本是薄膜结构。轻便和手感就像鱼和熊掌一样,不可兼得,所以笔者一直盼着能入手一款兼顾轻便、手感、双模,以及对MacOS系统有更好优化的机械键盘。满足如此条件的机械键盘少之又少,Keychron K3机械键盘(以下简称K3)则是为数不多的其中一员。

摘要： 纳米二氧化硅薄膜具有独特的热学和光学性能,在微电子、光电子和光集成器件中具有广泛的应用.纳米二氧化硅薄膜在应用中受到光子辐射,因此光子辐射对纳米二氧化硅薄膜的影响备受关注.本文采用溶胶一凝胶技术制备了纳米二氧化硅薄膜,用能量为3.53 eV的光子辐射薄膜,研究了光子辐射对薄膜化学计量比,硅氧键以及微观和宏观结构的影响.研究结果表明,光子辐射对薄膜结构的影响与光子束的能量密度和薄膜中的杂质含量密切相关.当光子束的能量密度达到21.3 J/cm2时,薄膜中的硅氧键的键长和键角发生变化,氧硅的化学计量比降低;当光子束的能量密度达到32.8 J/cm2时,硅氧键发生断裂,薄膜的微观结构发生破坏,出现损伤坑.薄膜中的杂质能够强化光子辐射对薄膜结构的影响.

摘要： 作为一种新型的隔声结构,亚波长尺寸薄膜结构由于其负等效质量的存在,在低频可以具有很良好的隔声性能.本文对亚波长尺寸薄膜结构的低频隔声理论进行探讨,提出一种亚波长尺寸薄膜结构隔声分析的新思路,并建立相应的理论模型,同时对理论模型中的参数进行的讨论.最后利用有限元软件对理论模型进行模拟验证.本文所提出的关于亚波长尺寸薄膜结构的理论模型可以为新型隔声结构的研发提供有效的理论支持.

摘要： 向量式有限元基于牛顿运动定律,通过点值描述和向量力学分析来获得结构体系的行为变化.在简要介绍向量式有限元三角形薄膜单元基本理论的基础上,针对薄膜结构断裂失效问题,提出断裂判断和断裂实现的处理方法.采用简单的Mises应力这一状态参量达到失效应力值时作为薄膜结构断裂失效的判断准则;通过质点分裂以分离各相连单元对应节点并对分裂后质点进行初始条件更新的方式来实现薄膜结构的断裂过程.在此基础上编制了薄膜结构的断裂计算分析程序,算例分析表明所编制程序可以很好地完成薄膜结构的大变形大转动、破裂和破碎的断裂行为全过程模拟,验证了理论推导和所编制程序的可靠性和计算稳定性.

摘要： 提出一种可在薄膜和桁架表面爬行的足式机器人,以完成对空间太阳能电站由薄膜-桁架模块在轨组装.机器人系统由操作工具搭载平台、压电驱动式多关节腿、微结构修饰附着足等组成.在此基础上,基于仿生理论,对自然界具有高攀爬能力的生物足端微结构进行了分析与仿真,并结合桁架的杆类结构和薄膜的柔性结构的特点,开展了机器人微结构修饰足特性的附着特性研究.利用离散元-多体动力学耦合仿真平台,对机器人在桁架结构和薄膜结构上的爬行过程进行了仿真研究,为爬行机器人的运动控制提供了依据.通过上述研究,验证了利用爬行机器人系统实现薄膜-桁架模块在轨操作与组装的方案可行性,为空间太阳能电站在轨装配任务提供了技术储备.

摘要： 薄膜结构质量轻、易折叠,在航空领域的应用具有深远的意义.薄膜结构展开空间实验花费昂贵,由于重力、大气压力影响,地面试验难以模拟真实的空间工作环境.因此,采用成熟的有限元软件进行数值模拟非常关键.本文首先采用SAMCEF软件对薄膜结构两种典型展开方式进行动力学仿真.通过观察薄膜结构展开的动力学响应过程分析薄膜结构的状态、应力分布情况;然后探究泊松比和展开速率对薄膜结构展开稳定性的影响.

摘要： 薄膜结构膜面内力分布的改变会导致膜面形状发生相应的改变,因而此类结构在荷载作用下往往发生较大的位移,即结构的平衡方程和几何关系都是非线性的,应当按照几何非线性分析方法来进行求解.另一方面,膜材本身还具有各向异性和拉伸非线性的力学特点,使得对于膜材本构关系的表征和变形行为的描述也较一般结构更为复杂.传统数值分析方法大多基于连续介质力学理论,同时考虑几何与材料非线性的分析过程会非常繁琐,需要大量迭代运算,效率也不高.有限质点法是一种新颖的数值计算方法,将理想柔性薄膜离散为一组具有三维平动自由度的质点的集合,而质点间的相互约束通过一系列仅有面内变形的平面薄膜元来实现,在处理几何非线性问题时由于引入了虚拟运动的概念,可以扣除总位移中的刚体位移分量,将大位移大转动问题转化为小位移小转动问题;而材料因素在有限质点法中只会影响到质点内力的计算,并不会改变质点运动控制方程建立和求解的基本流程,也无需进行迭代运算,因此引入膜材的各项异性和非线性不会在本质增加问题求解的难度.对于膜面上的任意一个质点,认为其在每个途径单元内的运动都遵循牛顿第二定律,都有着独立的运动轨迹.本文将该方法拓展用于薄膜结构双非线性大变形行为分析.

摘要： 抑制管道内风机的低频噪声仍然是一个技术性的难题.传统被动降噪方法如声衬结构需要较大的体积才能有效降噪,而主控制方法需要复杂的硬件系统且可靠性不高.本研究提出一种直接控制偶极子声源的新型被动式消声设备.此设备为一空腔背支薄膜/板结构,可以有效地控制低频噪声,板/膜结构在消声器中应用,不仅可以在减少压降,同时可以通过调节板/膜结构的参数得到一个弹性的降噪频率区间.本项目的研究成果,可以为控制管道风机的噪声提供理论依据和方法指导,提高相关产品质量以及市场竞争力,最终带来一个更加舒适的生活环境.

摘要： 氟塑料膜具有特别耐气候老化、极耐水解、耐化学腐蚀、高阻隔性等优点，光伏背板用PVDF薄膜未来是开发出性能更好的产品。

摘要： 氟塑料膜具有特别耐气候老化、极耐水解、耐化学腐蚀、高阻隔性等优点，光伏背板用PVDF薄膜未来是开发出性能更好的产品。

摘要： 氟塑料膜具有特别耐气候老化、极耐水解、耐化学腐蚀、高阻隔性等优点，光伏背板用PVDF薄膜未来是开发出性能更好的产品。

摘要： 本发明涉及薄膜结构体，其具备在母相2中分散有形成为柱状或大致柱状的分离相1而成的相分离纳米结构的薄膜3。薄膜3具有在热平衡状态下进行相分离的p型半导体材料和n型半导体材料。母相2由p型半导体材料和n型半导体材料中的任一方的半导体材料形成，并且分离相1由另一方的半导体材料形成。例如，母相2由NiO(p型半导体材料)形成，分离相1由ZnO(n型半导体材料)形成。薄膜3是以分离相1和上述母相具有三维接合面的形态形成于SrTiO

摘要： 各个实施例涉及微机电系统(MEMS)，并且特别涉及包括用于在例如显示器件中使用的像素的薄膜结构。在各个实施例中，薄膜结构包括在腔之上的单晶硅薄膜，该腔形成在硅衬底上面。薄膜结构可以包括光干涉结构，其取决于薄膜与衬底之间的可变距离而透射或者反射光的不同波长。还公开了相关的器件、系统和方法。

摘要： 本申请实施例提供的薄膜结构及薄膜结构制作方法，涉及显示技术领域。采用不同金属氧化层作为有源层的第一金属氧化物薄膜晶体管与第二金属氧化物薄膜晶体管具有不同的次临界斜率值，可以用于电流驱动发光元件的像素驱动电路中以满足不同功能薄膜晶体管对次临界斜率值的要求。采用同种类型的薄膜晶体管制作薄膜结构相对于采用不同种类型的薄膜晶体管制作薄膜结构，可以简化制作工艺流程，降低制作成本。另外，上述薄膜结构相对于非晶硅薄膜晶体管组成的薄膜结构的功耗更低，且相对于低温多晶硅薄膜晶体管组成的薄膜结构具有更优的均一性。

摘要： 提供一种铁电薄膜结构以及包括该铁电薄膜结构的电子器件，该铁电薄膜结构包括半导体基板、在半导体基板上的第一铁电层和在半导体基板上的第二铁电层。第二铁电层与第一铁电层间隔开并具有与第一铁电层不同的介电常数。第一铁电层和第二铁电层可以在其中包含的掺杂剂的量方面彼此不同，并可以在应用于晶体管时表现出不同的阈值电压。

摘要： 提供了一种多层薄膜结构和使用多层薄膜结构的相移器件。多层薄膜结构包括交替堆叠的至少一个结晶防止层和至少一个电介质层。至少一个结晶防止层包括非晶材料，并且至少一个结晶防止层的厚度小于至少一个电介质层的厚度。

摘要： 本发明实施例公开了一种晶圆背面薄膜结构的沉积方法，包括：采用第一沉积工艺形成覆盖晶圆背面第一区域的第一薄膜结构；采用第二沉积工艺形成覆盖晶圆背面边缘位置处的第二区域的第二薄膜结构；其中，所述第一区域与所述第二区域叠加后覆盖晶圆背面的全部区域。此外，本发明实施例还公开了一种通过本发明实施例所提供的方法制备形成的晶圆背面薄膜结构。

摘要： 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种多层薄膜结构的形成方法及多层薄膜结构。所述多层薄膜结构的形成方法包括如下步骤：形成第一膜层；形成过渡层于所述第一膜层表面，所述过渡层包括沿垂直于所述第一膜层的方向交替堆叠、且通过化学键结合的第一过渡膜和第二过渡膜；形成第二膜层于所述过渡层表面；所述第一过渡膜、所述第二过渡膜的材料分别与所述第一膜层、所述第二膜层相同，且所述第一过渡膜与所述第二过渡膜之间无界面，以减小所述第一膜层与所述第二膜层之间的界面应力。本发明有效降低了第一膜层与第二膜层间的界面应力，改善了半导体器件的良率。

摘要： 本发明实施例提供了一种薄膜结构、薄膜结构的形成方法及移动终端。该薄膜结构包括：注塑件，包括倒扣形状部分和反包部分，所述反包部分与所述倒扣形状部分的边缘连接，且向所述注塑件的中心区域延伸；UV纹路层，位于所述注塑件的外表面，其中，所述UV纹路层与所述注塑件的外表面之间由粘接层连接；UV面漆层，位于所述UV纹路层上方。本发明通过在具有反包造型的注塑件的表面上形成UV纹路层和UV面漆层，使得本发明的薄膜结构兼具UV纹路和反包造型。且该薄膜结构一体成型，不会使各个层结构之间存在间隙，提升了薄膜结构的抗摔性。并且，薄膜结构能够具有丰富的颜色和纹路光影，从而给用户带来极大的感知价值。

摘要： 本发明涉及薄膜结构体，其具备在母相2中分散有形成为柱状或大致柱状的分离相1而成的相分离纳米结构的薄膜3。薄膜3具有在热平衡状态下进行相分离的p型半导体材料和n型半导体材料。母相2由p型半导体材料和n型半导体材料中的任一方的半导体材料形成，并且分离相1由另一方的半导体材料形成。例如，母相2由NiO(p型半导体材料)形成，分离相1由ZnO(n型半导体材料)形成。薄膜3是以分离相1和上述母相具有三维接合面的形态形成于SrTiO

摘要： 本实用新型提供一种应用于显示技术领域的功能性薄膜结构及具有此功能性薄膜结构的显示装置，功能性薄膜结构包含一承载膜、一第一整合式薄膜以及一第二整合式薄膜，第一整合式薄膜与第二整合式薄膜附着于承载膜的相对两侧。其中第一整合式薄膜与第二整合式薄膜包含多个功性涂层，这些功能性涂层中相互堆叠的二功能性涂层之间呈物理性接触，除了能减少功能性薄膜结构的整体厚度外，在与显示面板组成显示装置后，仍能保持各种功能性涂层的基本功能，并且适于显示装置的弯折操作，以实现显示装置柔性操作或折叠操作的实用性。