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激光直写

激光直写的相关文献在1997年到2022年内共计614篇,主要集中在无线电电子学、电信技术、物理学、自动化技术、计算机技术 等领域,其中期刊论文93篇、会议论文13篇、专利文献220571篇;相关期刊48种,包括长春理工大学学报(自然科学版)、光学精密工程、光学仪器等; 相关会议12种,包括2007年中俄衍射光学技术高端研讨会、2006年光学测量技术研讨会、2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会等;激光直写的相关文献由1081位作者贡献,包括匡翠方、陈林森、刘旭等。

激光直写—发文量

期刊论文>

论文:93 占比:0.04%

会议论文>

论文:13 占比:0.01%

专利文献>

论文:220571 占比:99.95%

总计:220677篇

激光直写—发文趋势图

激光直写

-研究学者

  • 匡翠方
  • 陈林森
  • 刘旭
  • 刘前
  • 浦东林
  • 吴景舟
  • 何巍
  • 孙洪波
  • 曹春
  • 朱鹏飞
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利文献

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作者

    • 周伟平; 白石; 谢祖武; 刘明伟; 胡安明
    • 摘要: 激光直写技术作为一种新兴的低成本、高效、高精度的加工技术,可以适用于几乎任意自由度的二维或者三维微纳结构快速成型制备。这对光电子以及半导体微纳结构与器件的制备具有重大的意义。金属微纳结构在电子学和光子学中有着广泛的应用。本文综述了激光直写制备金属微纳结构相关研究进展。主要包括激光直写制备金、银、铜以及复合材料微纳结构与器件。随后重点综述了激光直写表面增强拉曼光谱微流道芯片相关的研究进展。随着环保要求的不断提高,功能性碳材料将会在更多领域得到广泛的应用。与传统的热碳化方法相比,激光直写工艺可以在材料的表面上实现精细的图案化微纳结构的制备。本文进一步综述了激光碳化直写碳功能材料相关研究进展。主要包括激光直写原位还原氧化石墨烯、激光碳化木材、叶子等木质材料。通过对本课题组的研究以及目前相关的研究成果进行综述,本文可为激光直写制备金属与碳材料微纳结构与器件研究及应用提供参考。
    • 张嘉琪; 高阳; 李淳; 鞠宽; 谈建平; 丁琰妍; 轩福贞
    • 摘要: 激光直写是一种高效、可规模化制备柔性电子器件的技术。本文采用激光直写技术在具有良好介电性能的聚酰亚胺薄膜上制备了一种可用于应变传感和湿度传感的柔性环形天线传感器。利用激光碳化聚酰亚胺获得的材料表面呈现多孔及堆叠片层碳结构,当施加于天线上的应变和环境湿度改变时,天线的谐振频率会发生规律变化,进而实现应变和湿度感知。制备的环形天线传感器的应变响应灵敏度为−8.943 kHz/με,湿度响应灵敏度为−6.45 MHz/RH%。采用激光直写技术制备的天线传感器可以广泛应用于结构健康监测等领域。
    • 曾龙; 郑贵森; 邓大祥; 孙健; 刘永恒
    • 摘要: 微通道散热器作为一种高效散热器件,广泛应用于微电子、光电、汽车、航天国防、能源等领域。针对传统光滑微通道传热面积小、换热性能偏低、沸腾迟滞等问题,本文提出一种多孔壁面微通道结构,并采用激光直写方法实现微通道多孔壁面的高效、稳定生成。该多孔壁面微通道显著增大了换热面积、促进流体的扰动、提供大量稳定沸腾核心,从而强化单相与两相沸腾传热。通过搭建微通道换热性能测试系统,测试对比了多孔壁面微通道与光滑微通道的单相对流、两相沸腾传热性能。发现多孔壁面微通道的Nu数相对于光滑微通道提升了21%~31%。在两相沸腾换热过程中,其粗糙多孔结构促进了沸腾气泡成核,其核态沸腾起始温度相比于光滑微通道降低了35%。同时粗糙多孔结构可以保证沸腾过程中的液体持续供给,从而大幅提升了沸腾换热能力,避免了干涸现象的提前发生,其两相沸腾换热系数相对于未处理的光滑微通道最大提升了83%。此外,还开展了不同流量下多孔壁面微通道的沸腾传热性能测试,发现在质量流率为G=500kg/(m^(2)·s)下的沸腾换热系数相对于G=200kg/(m^(2)·s)情况下最大提升了30%。
    • 薛祥航; 林歆彤; 雷宇芬; 邱桢丽; 陈毅挺; 刘明华
    • 摘要: 设计了一种基于激光直写技术制备的二氧化钛/石墨烯(TiO_(2)/Graphene)为光阳极和铂电极为阴极的葡萄糖自供电光电化学传感器。探究了钛源添加量、纳米激光作用仪输出功率与溶液pH对传感器性能的影响。实验结果表明,所设计的传感器对葡萄糖浓度在50~500μmol·L^(-1)之间呈现出良好的线性关系,检出限为6.8μmol·L^(-1),最大输出功率为2.01μW·cm^(-2)。
    • Antanas BUTKUS; Edvinas SKLIUTAS; Darius GAILEVIČIUS; Mangirdas MALINAUSKAS
    • 摘要: 本文研究了有机-无机混合预聚物SZ2080^(TM)在不借助任何光引发剂的情况下,使用~100 fs振荡器在517 nm波长和76 MHz重复频率下的飞秒激光直写(一种精密3D打印技术,也称为双光子聚合光刻技术)。实验证明了该技术的可行性,并成功地生产出了三维柴堆形纳米结构、微支架、自由形式的微型物体“Benchy”和微立方体。本文创新点为:非放大激光系统仅提供40~500 p J的单个脉冲就能够在横截面数百纳米内诱导局域交联反应。证明了放大激光器的高脉冲能量和低重复率不是构造非光敏化聚合物的必需条件。本文对于理解激光驱动的纳米三维增材制造具有重要意义,拓宽了不使用光引发剂条件下的应用领域,如微光学、纳米光子学和生物医学。
    • 申超; 翁沛希; 王子杰; 武文杰; 谢小柱
    • 摘要: 目前柔性电子行业正处于一个重要的转型期,各种外形新颖和功能丰富的柔性电子产品不断涌现,从有限的柔性到具有形状适应性及延展性的柔性电子设备.这极大地刺激了人们对柔性电子设备的需求,在更大幅面基板上以更低的成本开发出特征尺寸更小,以及性能更好的柔性电路制造技术备受关注.在各种技术中,激光直写技术已经被证明是一种高效灵活且能够大面积生产柔性电子电路的制造方法.激光直写作为一种非光刻、非真空、在线式加工技术已经受到了越来越多的关注.其可以应用于包括热敏柔性衬底在内的各种衬底的电路电极的制造中,在生产柔性电子设备、柔性储能设备、传感器以及可穿戴电子设备等领域有着巨大的应用前景.本文对激光直写柔性电路(Laser Direct Writing of Flexible Circuit, LDWFC)技术在柔性电路制造中的最新发展进行了总结,重点介绍了激光直写技术在柔性电路制造中所适用的导电油墨材料种类和特点.从激光烧结技术、激光还原技术、激光诱导改性技术、激光辅助电路制造技术4个方面详细介绍了LDWFC加工技术.此外,本文还介绍了LDWFC在柔性储能器件、柔性传感器以及柔性显示器中的应用,并对LDWFC技术在柔性电路制造中的发展进行了展望.
    • 白聪聪; 张峻豪; 高畅; 赵扬; 曲良体
    • 摘要: 微型电子设备的快速发展对多功能化、小型化的储能器件提出了新的要求.其中,微型超级电容器(MSCs)因循环寿命长、充/放电速度快等优点受到了广泛关注.石墨烯作为优异的电子导体,具有高的比表面积和良好的延展性,在微型超级电容器中表现出广阔的应用前景.在多种构建石墨烯基微型超级电容器的方法中,激光直写技术价格低廉、灵活快捷、无需牺牲模板和复杂的后续处理,是一种高效、可快速集成化的加工手段.鉴于此,本文综述了激光直写石墨烯基微型超级电容器的研究进展,包括激光构建微型储能器件的优势、典型的激光直写石墨烯基微型超级电容器及其电极材料、微型器件的构型组装(对称和非对称结构).同时,对激光直写的石墨烯基微型超级电容器未来的发展趋势和面临的挑战进行了展望.
    • 程鹏飞; 冯婷; 刘紫薇; 吴德垚; 杨静
    • 摘要: 电催化析氢反应(HER)是一种有前途和可持续的制氢途径.到目前为止,所报道的高性能催化剂如铂和其他贵金属基催化剂大多只能在酸性或碱性条件下展现出优异的HER催化活性,而且这些贵金属储量稀少,催化剂制备成本高昂.此外,考虑到电解设备和环境保护的要求,在中性介质中寻找高效的HER电催化剂是潜在的发展方向,但也需要克服中性电解质中欧姆损失较大、电子密度较低等问题.因此,开发低成本、应用广泛的电催化剂是今后实现制氢产业化的必然选择.根据已有研究,具有不同结构的双金属硫化物杂化物由于两种金属硫化物成分所提供的可靠且充分的氧化还原活性位点,显示出其具有吸引力的活性.此外,由于丰富的活性位点和重新配置的电子结构,复合材料两组分之间的界面产生协同效应会进一步增强催化剂的HER催化活性.之前的工作已经在同样材料体系中获得了较好的催化性能,但是在宽pH条件下的HER催化性能却不如人意.因此,NiS2与MoS2界面结构的优化是进一步提高其在宽酸碱度电解质中活性的关键.本文使用毫秒激光直写法在镍泡沫上合成了三维(3D)自支撑的NiS2/MoS2异质结构,并将其直接用作电解水析氢反应电极,后者在碱性和中性电解质中都表现出了优异的HER活性.毫秒激光直写法具有瞬时高温和快速冷却的特点,常用于纳米材料的制备.毫秒激光作用于溶液中的泡沫镍时,由于瞬间高温使其气化,与溶液中的离子、分子等组成了等离子体,随后借助液体环境的急速冷却限制效应,这团高温混合物在靶材表面原位生长出NiS2/MoS2纳米复合催化剂.通过物相表征,发现NiS2/MoS2异质结构是由高度分散的小尺寸NiS2纳米粒子和MoS2纳米片组成,这些纳米片具有较大的比表面积以及大量NiS2与MoS2之间的界面.借助宏观XPS表征,我们可以确认在NiS2/MoS2异质结构的界面处存在强烈的电子相互作用,说明复合材料两相之间存在异质界面.而异质界面可以作为HER反应过程中的催化位点,有利于水分子的裂解吸附,从而提升复合材料的催化性能.我们对NiS2/MoS2复合催化剂在碱性(1 mol L–1 KOH)和中性(1 mol L–1 KBS)条件下分别进行了HER性能测试.结果表明,在10 mA cm-2的电流密度下,催化剂在碱性和中性电解质中的过电势分别为98和159 mV,Tafel斜率分别为88和130 mV dec-1,并且催化剂具有高效的电荷转移和大的电化学活性表面积,性能优于同体系的其他催化剂.
    • 张山; 王雷; 吕英俊
    • 摘要: 为了进一步提高直角坐标激光的直写效率,提出了一种扫描工作台各速度段进行激光直写二元图案的方法.该方法用扫描工作台的位置反馈脉冲同步触发激光束曝光光刻胶,实现像素点的理想位置曝光;而且依据扫描工作台的运动特性和匀速直写时各像素点获得的曝光量情况,对处于扫描工作台加、减速度段的像素点的曝光强度进行调制,保证需要曝光的像素点对应的每一个位移分辨力距离上所获的曝光量与扫描工作台匀速运动时相同,从而保证扫描工作台速度连续变化的情况下激光直写能获得预期的曝光效果.仿真实验表明:以5 mm×5 mm曝光图案为例,该方法所需的直写时间是传统只在匀速段直写的77.77%;同时配备的声光调制器由16位降为12位时,扫描工作台整个加速段直写产生的曝光量相对误差由0.4%上升为10%.%In order to further improve the efficiency of laser direct writing (LDW) in Cartesian coordinates,the exposure process was proposed to proceed in the accelerating and decelerating sections of the scanning stage,while the exposure effect was guaranteed by the following two ways.The pixel exposure data stored in a line buffer were clocked out by the position feedback pulses during the line scan,driving the acousto-optic modulator to obtain the corresponding beam intensity at the exact desired position.According to the kinetic characteristic of scanning stage,the necessary exposure data under uniform motion and minimum exposure intensity,and exposure data of each pixel in the accelerating and decelerating sections of the scanning stage,are modulated to make the distance of each displacement resolution in it exposed as much dose as that in uniform sections.Numerical simulations indicate that,considering an exposure pattern within a 5 mm × 5 mm area as an example,the total exposure time with the proposed method is 77.77% of that with exposure only during the scanning stage moving at a constant speed.Meanwhile,the relative error of the exposure dose is increased from 0.4% to 10% when the bit of the acousto-optic modulator is decreased from 16 to 12.
    • 乔志星; 贾锁堂; 秦成兵; 贺文君; 弓亚妮; 张晓荣; 张国峰; 陈瑞云; 高岩; 肖连团
    • 摘要: The strong, broad and tunable fluorescence emission of graphene oxide (GO) has shown the exciting optical ap-plications in many areas, such as fluorescence imaging in living cell, high sensitive detection of heavy metal ions, and the fabrication of optoelectronic devices. However, the intrinsic heterogeneous fluorescence intensity resulting from the variability in the power density of excitation laser and the non-uniform thickness of GO film, hinders its further appli-cations in the micropatterning, information storage and display technology, which requires homogeneous fluorescence emission. In contrast to the fluorescence intensity, the fluorescence lifetime of GO is determined by the intrinsic nature of chromophores, rather than the film thickness or excitation power density. Here we report that the fluorescence life-time is homogeneous for GO film, which eliminates the anisotropic optical properties of GO film. By reducing the GO film through the irradiation from a 405 nm continuous-wave laser at a certain power density on a home-built scanning confocal microscope, we find that the lifetime can be precisely modulated by controlling the duration of laser irradia-tion. It is determined that the lifetime gradually decreases with the increase of duration. As reported in the previous researches, the GO fluorescence originates from the graphene-like confined sp2 clusters and sp3 domains consisting of oxygen-containing functional groups, where the lifetime of sp3 domain is about 1.4 ns, and that of sp2 domain is 0.14 ns. During the photoreduction, the long-lived sp3 domains will decrease or convert into short-lived sp2 domains, resulting in the decrease of lifetime. Hence, by controlling the reduction degree or the ratio of the two domains, the lifetime of GO film can be determined. More importantly, the lifetime distributions of the reduction areas are very narrow, leading to a relatively homogenous background. The precise manipulation of lifetime can be used to fabricate micropatterns with high contrast. Combining with laser direct writing with features of maskless, facile processing ability and high spatial resolution, many versatile micropatterns, such as quick response code, barcode, graphic, alphabet, and numbers can be readily created based on the modulation of fluorescence lifetime. By using three optimized durations of laser irradiation, three distributions with narrow widths are obtained. Based on this processing, the micropatterns with three colors are determined, which indicates that the multimode optical recording can be created on the GO film based on the modulation of fluorescence lifetime. Furthermore, the multilayer micropatterns are also created. The robust and versatile micropatterns with film-thickness and excitation-power-independent features show their promising applications in electronics, photonics, display technology and information storage.%氧化石墨烯因其宽带可调谐的荧光发射特性已被广泛应用于荧光成像、金属离子高灵敏检测和光电器件的制备.相比于荧光强度,氧化石墨烯荧光寿命不受材料厚度和激发功率的影响,具有更为稳定和均一的特性.本文研究了在激光还原过程中氧化石墨烯荧光寿命逐渐减小的变化行为,发现了长寿命sp3杂化结构向短寿命sp2杂化结构的转变.通过精确控制还原时间,结合激光直写技术,在单层氧化石墨烯薄膜上实现了二维码、条形码、图形和数字等微纳图形的制备,还在多层氧化石墨烯薄膜结构上获得了多寿命多层微纳图形.这种微纳图形的制备具有灵活无掩膜、高对比和多模式的特点,可用于高密度光学存储、信息显示和光电器件制备等诸多领域.
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