首页>中文会议>其他>第八届中国微米/纳米技术学术年会

第八届中国微米/纳米技术学术年会

召开年：2006
召开地：南京
出版时间： 2006-09-21

主办单位：;中国微米/纳米技术学会;;中国仪器仪表学会;;中国机械工程学会;;

会议文集：传感技术学报

会议论文

热门论文

全部论文

全选（0）

1.应用生物芯片技术研究人参对衰老小鼠脑组织基因表达谱的影响
- 叶芳;苑伟政;王宇波
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文利用生物芯片技术分析人参对衰老小鼠脑组织基因表达谱的影响,探讨人参作用机理研究方法.方法:20只雌性小鼠用D-半乳糖诱导为亚急性衰老模型小鼠,并随机分为两组:实验组和对照组.实验组小鼠每日给服人参水煎剂,对照组小鼠每日给服等量生理盐水作为空白对照.从小鼠脑组织中抽提mRNA,用Cy3和Cy5两种不同的荧光染料,通过逆转录反应,将实验组和对照组小鼠的脑组织细胞mRNA分别标记成两种探针,等量混合后与小鼠基因表达谱芯片杂交,并对Cy3、Cy5荧光信号做扫描分析.结果:芯片扫描显示,实验组和对照组之间显著差异表达的基因有13条,且均为表达下调基因.结论:人参对衰老小鼠脑组织的基因表达具有显著影响,Nckap1基因及Atp5a1基因可能是人参抗衰老作用的靶基因.
2.Love波传感器及其质量灵敏度测试
- 胡友旺;中国科学院;史建亮;中国科学院;贾宏光;吴一辉
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：为实现流体领域的液相传感,本文设计并制作了基于36°-YX LiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器;通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2.281 g-1cm2.分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响,为进一步提高灵敏度提供了参考.
3.碳纳米管及其修饰物对挥发性有机物气敏性的研究
- 方向生;郭淼;陈文菊;潘敏;陈裕泉;张孝彬
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文通过化学气相沉积(CVD)方法合成单壁碳纳米管(SWCNTs)和多壁碳纳米管(MWCNTs),并经过硝酸酸化预处理.在缩合剂N,N'-二环己基碳化二亚胺(DCC)作用下,多壁碳纳米管经过乙二胺、十二胺和联苯胺的修饰生产新的纳米颗粒.将五种材料的悬浮液喷涂于Al2O3基底的金叉指电极上,构成气敏传感器,以甲醛、苯、甲苯、二甲苯作为测试气体,通过电化学分析仪测试他们在不同气体种类和浓度下的导电率.实验表面传感器在常温下具有较高的灵敏度和重复性,传感器之间有一定的选择性差异,可以构成传感器阵列,应用于具有复杂组分的挥发性有机气体定性和定量检测中.
4.基于MEMS技术微双桥催化LPG传感器研究
- 张洪泉;中国电子科技集团公司第四十九研究所;施云波;郭建英
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文提出了基于MEMS技术,将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构,并成为Al2O3-Pd-Th0-SiO复合催化剂的载体,实现催化元件和补偿元件的单片集成,制作出LPG传感器.单桥结构尺寸为1 mm×1.2 mm,厚度为30-35μm,利用铂薄膜制做加热器,并经反溅刻蚀和激光修调,形成标称阻值(0°C)为10 Ω的热敏感电阻.传感器性能测试结果表明:微双桥催化LPG传感器具有输出信号与气体浓度呈线性特性,可实现体积分数(500～10000)×10-6LPG检测,同时,测试了温度范围为10-50°C和湿度范围为10-90％RH的传感器温湿度特性,结果证明:微双桥催化LPG传感器输出最大偏差为1.2 mV,相当于体积分数600×10-6的LPG浓度.
5.基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计
- 张斌珍;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;谢斌;薛晨阳;张文栋;陈尚
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文提出了一种基于共振隧穿二极管(RTD)的矢量水声传感器,传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件,共振隧穿二极管布置在传感器结构中柱体的四周边缘.两个反方向变化的基于共振隧穿二极管的振荡器的输出信号通过信号处理电路预处理后输入微处理器,计算出声源水平方位角和声压.分析并设计了基于共振隧穿二极管的振荡电路、矢量水声传感器物理结构以及制作工艺,讨论了传感器信号处理方法.
6.基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析
- 安鹏;苑伟政;张承亮
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文对基于惯性传感器的同振球型振速水听器的工作原理进行了说明.采用多端口组件网络方法建立了用于振速水听器的梳齿式硅微机械加速度计的系统级模型.对内置加速度计,外部采用弹性连接的振速水听器在平面声波作用下的响应进行了仿真分析.分析结果表明,振速水听器不失真测量的工作带宽取决于其与水介质的密度比、波尺寸、与弹性连接构成振动系统以及加速度计自身振动系统的特性参数.多端口组件网络方法能够有效地实现振速水听器的建模与仿真.
7.电容式微加工超声传感器(cMUT)的有限元仿真
- 宋光德;官志坚;栗大超
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的基本结构和工作原理.同时使用有限元方法对cMUT的运行情况进行模拟.提出了两个ANSYS模型来阐述cMUT的塌陷电压与谐振频率.一个3D模型用来阐述制造过程中的残余应力对cMUT谐振频率的影响.另外一个3D模型阐述不同的运行环境对cMUT的谐振频率的影响.
8.基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究
- 张文栋;王建;薛晨阳;熊继军;张斌珍;仝召民
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTE)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84 kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成.
9.圆形振动膜硅微电容传声器
- 田静;汪承灏;徐联;乔东海;马军;郝震宏;魏建辉
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
10.硅微仿生矢量水声传感器研制
- 谢斌;薛晨阳;张文栋;熊继军;张斌珍;陈尚
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文根据鱼类侧线听觉仿生学原理,设计出硅微仿生矢量水声传感器结构.该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体.讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声学原理.用有限元软件Ansys分析传感器的应力分布,讨论了传感器的加工工艺,并采用气流静态加载法测试出传感器的矢量指向性图,测试结果表明,仿生水声传感微结构具有"8字型"矢量指向性.
11.纳米Al薄膜表面形貌与导电性的分形表征
- 付永忠;丁建宁;解国新;杨继昌
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：磁控溅射法在Si(111)基底上制备了纳米Al薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜图像进行分形维计算,并用四点探针法测量了薄膜电阻.结果表明,随着溅射时间的延长,薄膜表面质量提高,分形维增大,电阻率也随着分形维的增大而增大;随着退火温度的上升,薄膜表面质量下降,分形维和电阻率也随之降低.因此认为,分形维能够较好的表征薄膜表面形貌,分形维与薄膜电阻率存在对应关系,并指出用分形维可以优化溅射工艺参数.
12.水热法合成纳米粉体LiNbO3及其烧结体介电特征
- 陈振宁;程世婧;刘欣荣
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文采用水热法,以Li2CO3和Nb2O5为反应物,水热反应时间为12小时,反应温度为240°C,合成了铌酸锂纳米粉体.采用XRD、TG-DTA、TEM、SEM对此条件下合成的铌酸锂粉体进行表征.然后对水热合成的纳米粉体进行烧结实验,用XRD,SEM观察了烧结体的组织形貌并通过数字电桥测试了其介电性能.
13.电化学阳极氧化自组织TiO2纳米管阵列的研究
- 田甜;肖秀峰;刘榕芳
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：为了弄清阳极氧化制备TiO2纳米管阵列的影响因素及形成机理,本文研究了HF浓度W(HF)=0.1～1.0％,电压(5V～30V),时间(20min～120min)对阳极氧化TiO2纳米管阵列形貌的影响,用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其结构进行表征,并通过电流时间变化曲线探讨了TiO2纳米管阵列的形成机理.结果表明,氧化电压、电解液浓度、氧化时间是影响TiO2纳米管阵列形貌的主要因素,TiO2为不定形结构.只要延长时间,在低浓度W(HF)=0.1％HF溶液中也能得到TiO2纳米管阵列.阳极氧化的整个过程分为3个阶段,纳米管阵列的形成是场增强氧化、场增强氧化膜溶解和HF化学溶解共同作用并达到动态平衡的结果.
14.水基TiO2纳米浆体的制备及其分散稳定研究
- 林本兰;沈晓冬;崔升
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：纳米TiO2颗粒经表面处理制得稳定分散的水基TiO2浆体.谢乐公式计算出晶粒平均粒径均为58.0nm左右,HRTEM谱图观察晶粒粒径约为50nm左右与谢乐公式计算相一致,且纳米粒子基本呈椭圆形,SDBS包覆于纳米粒子表面,起到空间位阻作用抑制了纳米颗粒的团聚.本实验研究了溶液pH值、分散处理时间和分散剂用量等因素对浆体稳定性的影响,结果由FT-IR分析表明,较佳的工艺条件下制得的浆体溶液中,SDBS对TiO2颗粒的吸附方式由物理吸附趋于化学吸附,并以多层吸附的形式通过静电作用和空间位阻作用有效防止纳米粒子团聚,制得了稳定分散的水基纳米TiO2浆体.
15.Cd2+掺杂SnO2纳米棒的制备与特性研究
- 赵鹤云;昆明理工大学材料与冶金工程学院;李耀华;吴兴惠
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文在微乳液中SnCl和CdCl的混合水溶液与KBH4水溶液的还原反应制备了Cd2+掺杂SnO2纳米棒前驱物.在NaCl+KCl熔盐介质中,660°C焙烧前驱成功制备了Cd2+掺杂SnO2纳米棒一维纳米材料.利用TEM、XRD、XPS和H2-TPR对SnO2纳米棒形貌、成分和材料表面氧吸附特性、H2还原特性进行了表征和分析.SnO2纳米棒直径为10nm～20 nm,长度从几百个纳米到几个微米,Cd2+掺杂后的SnO2纳米棒材料中CdO的含量可达5％.TPR的结果表明,Cd2+掺杂SnO2纳米棒表面吸附大量的氧具有较好的氧化还原特性.以SnO2纳米棒为原料,制备了厚膜气敏元件,考察了其H2敏感特性.
16.纳米Fe3O4表面聚合接枝的XPS分析
- 崔升;沈晓冬;林本兰;徐娜
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文采用在纳米Fe3O4颗粒表面通过引入过氧基因引发甲基丙烯酸甲酯(MMA)聚合的方法,在纳米Fe3O4颗粒表面接枝了PMMA.采用傅立叶红外光谱(IR-FT)检测粉体表面官能团,采用X射线光电子能谱(XPS)检测粉体表面化学键变化,采用高分辨透射电镜(HRTEM)观察改性后粉体的表观形貌.结果表明纳米Fe3O4呈球形,颗粒间团聚不明显,在纳米Fe3O4表面成功地包覆了PMMA,PMMA以化学接枝的方式结合在Fe3O4颗粒表面.
17.掺锑氧化锡纳米粉末的制备和表征
- 杨芬;张学俊
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文以SnCl4·5H2O和SbCl3乙醇溶液为原料,用阴离子交换除氯水解法制备得到了无氯离子的掺锑氢氧化锡胶体沉淀.为了消除粉体团聚,首次采用了乙酸异戊酯有机溶剂作脱水剂,用TG-DTA、IR、XPS、BET、XRD、TEM等方法对粉体的结构、成分、形貌、物相进行表征.结果表明,乙酸异戊酯溶剂是一种非常理想的共沸干燥有机溶剂,其有效防止了粉体的硬团聚的形成;将乙酸异戊酯干燥所得的掺锑氢氧化锡微粉经热处理后得到了四方形金红石结构、团聚少、分散性好、导电性好的掺锑氧化锡纳米粉末.
18.微波法快速合成氧化锌纳米棒
- 孔祥荣;邱晨;刘强;刘琳;郑文君
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：二氧化锌纳米棒由于新奇的物理化学性质成为研究的热点,本文用微波辐照法快速制备了氧化锌纳米棒,对合适的反应条件进行了探讨,对其中的影响因素进行了分析,并对可能的反应机理进行了阐述.另人感兴趣的是,纳米棒有凹陷或者部分中空,有破碎的纳米管状,甚至有类似藕状的纳米管形成的纳米棒束,这为氧化锌纳米棒和纳米管的形成机理解释提供了新的证据.实验结果表明,微波法制备氧化锌纳米棒直径300 nm、长度3～5 μm而且不需要模板、晶种、表面活性剂,方法简单快捷、实验可重复性强,适合大规模的生产,具有重要的应用价值和广阔的应用前景.
19.铜基纳米功能复合材料的微观形貌特征
- 楼白杨;周玉浜;徐斌;杨玉君
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文采用高能球磨法制备了铜/多聚甲醛纳米功能复合材料.通过扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(TEM)、X射线衍射仪和红外光谱仪等分析手段对该复合材料的微观形貌特征和结构进行了分析研究,并探讨了球磨时间对复合材料微观形貌特征的影响.研究结果表明,运用高能球磨法可以制备出铜/多聚甲醛等纳米复合材料.铜的粒径大小可达200～300nm左右,多聚甲醛在铜表面包覆连续均匀.
20.催化剂制备和活化条件对碳纳米管生长影响的研究
- 唐长兴;瞿美臻;于作龙
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文研究了催化剂煅烧温度,煅烧时间和活化温度对碳纳米管生长的影响.当催化剂煅烧温度为800°C,煅烧时间为3 h,活化温度在600-700°C时,碳纳米管管径均匀,产率高.
21.MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究
- 郭琳瑞;陈烽;叶雄英;刘力涛;伍康;周兆英
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V～4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
22.微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作
- 程冠晓;中国科学院研究生院;邢廷文;林妩媚;周金梅;邱传凯;廖志杰;中国科学院研究生院;马建玲
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：在软X射线波段,各种材料的折射率均接近或小于1,常规的折射光学元件将无法使用,但是可以用光子筛等新型衍射光学元件实现软X射线波段的聚焦、成像和色散.光子筛具有体积小、重量轻、易复制和特殊的光学性能等优点,可以构成微型光机电集成系统(MOEMS),有效提高器件效能,降低成本,在军事、工业和民用等方面,应用市场潜力很大.本文综述了光子筛的国内外研究进展,介绍了光子筛的成像原理,根据标量衍射理论探讨了低数值孔径振幅光子筛的基本设计方法和制作工艺,给出了光子筛的计算机仿真结果,并且用激光直写方法在镀铬石英基片上刻蚀了特征尺寸为5 μm的微米孔阵列光子筛,实验测试了光子筛的成像性能.
23.催化裂解简单合成离散的短纳米碳管
- 弓巧娟;李贺军;王翔;李克智
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文研究了一种简单催化裂解生长离散纳米碳管技术.不需要使用基底,于700°C,直接催化裂解Fe(NO3)3·9H2O和无水乙醇的混合溶液,反应30分钟,合成了长度较短的纳米碳管.需要指出的是,该研究与已有的催化裂解无水乙醇生长纳米碳管的区别在于:实验设备简单,工艺参数易于实现,反应温度较低,时间较短,碳源和催化剂间的反应在均相中发生.所得产物的扫描电镜、透射电镜表征显示,合成的纳米碳管呈开口状,相互缠绕程度较小,离散度较大.拉曼光谱检测表明产物为单壁纳米碳管和多壁纳米碳管混合物.文章还对纳米碳管的生长过程进行了探讨.
24.纳米CuAl2O4粉体的合成工艺条件及其表征
- 隋小涛;于乔;姜妍彦;大连理工大学精细化工国家重点实验室;唐乃岭;谷秀梅;宁桂玲
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文通过化学共沉淀法制备了尖晶石型纳米CuAl2O4晶体,用正交试验设计方法研究了原料配比、溶剂用量、煅烧温度、煅烧时间等四种因素对CuAl2O4形成的影响,结果表明,煅烧温度是影响CuAl2O4形成的主要因素,溶剂用量次之.确定了共沉淀法制备CuAl2O4纳米粉体的最佳制备工艺条件为原料配比2∶1,溶剂用量120 mL,煅烧温度900°C,煅烧时间3h.用TG-DTA法确定前驱体热分解过程及煅烧温度.用XRD分析了L9(34)实验中9组样品的晶相,比较了各组样品中CuAl2O4晶相形成的相对数量.用TEM对最佳制备条件下制备的样品的表面形貌进行了表征.
25.PEG辅助纳米TiO2的可控制备及其光催化活性
- 包南;孙剑;谢晴;马志会
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文以不同浓度的聚乙二醇(PEG)为模板剂,采用一步水热法制备了一系列晶型和形貌可控的TiO2纳米粉体,并采用XRD、TEM、SEM、TG-DTA、IR及N2吸附-脱附等手段对样品进行了表征.结果表明,可以通过调节PEG浓度来控制对样品的形貌和晶相,且可形成具有介孔结构的纳米晶体,从而为TiO2纳米晶的可控制备提供了一个简便的方法.最佳模板剂浓度下合成的水热产物具有较高的比表面积(约279.5m2/g),在紫外光照1 h后,对水中X-3B的降解率达到94.4％,比不加PEG时有较明显的增强.
26.微/纳米流体控制用冰阀器件执行过程的数值模拟
- 杨阳;刘静
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：冰阀是一种利用微/纳米流道内流体自身的冻结/融化相变过程来实现关断或开启作用的新型流体元件.由于无运动部件、无泄漏、不会引起流体污染且易于实现电控等优点,该器件在微/纳米流体系统的控制中具有重要的应用前景.本文针对冰阀的工作原理,基于相应的流体力学及传热学数学模型,从数值计算角度对微流道冰阀器件的执行过程进行了模拟,并开展了相应的参数化研究,在此基础上可对冰阀的工作状态及控制过程更好地加以理解和剖析.
27.高热流微冷却器的换热性能研究
- 蒋洁;郝英立
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文对以水为换热介质的微通道冷却器对模拟发热电子芯片进行冷却的换热性能进行了实验研究.通过测量流体的流量、进出口温度、发热片表面热流密度,获得了不同几何结构微通道冷却器在不同加热功率、不同Re数条件下的换热特性和冷却效果.结果表明,微通道冷却器可以有效地对表面热流密度高达5.34×105 W/m2的发热电子芯片进行冷却;微通道冷却器的换热性能随Re数的增大而提高,所提高的幅度随加热功率的增大而增大;微通道的几何结构对换热性能有显著影响,平均Nu数随微通道的宽深比增大而增大.
28.沸腾情形下开放式毛细微槽中的干涸特性实验研究
- 胡学功;唐大伟
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文利用高速摄像仪、CCD以及宽视场体视显微技术对液体在微槽内的润湿、蒸发和沸腾现象进行了可视化观察和描述,对发生沸腾换热现象时的竖直矩形毛细微槽群热沉中的液体沿微槽槽道方向的干涸点高度(润湿高度)进行了测量,并对微槽几何尺寸、工质等因素对润湿高度的影响进行了实验研究.实验结果表明:微槽群的高强度的强化换热特性是由薄液膜蒸发和核态沸腾换热的共同作用造成的;发生沸腾换热现象时,微槽内的液体润湿高度随着输入加热功率的增加能得到有限度地升高;一定热负荷下,微槽较深、较宽以及微槽群密度较大时液体的润湿高度较高;在微槽内发生核态沸腾的情形下,甲醇的润湿高度要远大于乙醇和蒸馏水.
29.CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
- 刘晓清;郝苇苇;高巍巍;周勇亮
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参数,腐蚀液组成,牺牲层等因素对芯片质量的影响.该方法简便易行,不需要光刻的昂贵设备和繁杂步骤.
30.一种新型硅电容式流速流向传感器的设计
- 魏泽文;秦明;黄庆安
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出.
31.基于倒装技术的电容式绝对压力传感器研究
- 周伟;秦明
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：信号处理与气密封装是电容式压力传感器设计的主要难题.本文提出一种新型的绝对压力传感器结构,利用倒装技术在基片上制作电路和柱状凸点,通过回流焊接将凸点和预先加工好的膜片封接在一起,实现气密封装和电路集成,并通过金属凸点完成电极的转移.测试结果表明传感器的性能良好,在灵敏度19fF/kPa的情况下获得了良好的线性.
32.用于血样前处理的BioMEMS微流控芯片
- 陈兴;崔大付;刘长春;李辉
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文基于BioMEMS技术,研制成三种血液样品前处理微流控芯片,分别介绍了血样前处理微流控芯片的原理、结构、制备技术以及样品前处理效果.基于错流过滤原理,设计了用于血细胞分离的错流过滤微结构,采用深刻蚀技术在硅片上刻蚀出直径为20μm,高度为50 μm的圆柱阵列;基于化学法破裂细胞,设计了用于血细胞破裂的夹流式微沟道,采用湿法腐蚀技术在硅片上腐蚀出深度约为80μm的微沟道;基于固相萃取原理,设计了用于DNA提纯的介孔固相载体,采用电化学阳极腐蚀技术在硅微沟道内表面制得表面积为300m2/g的介孔层.分别在芯片上实现了血细胞的分离、血细胞的破裂以及DNA的提纯.
33.聚合物微结构热压成形温度有限元分析
- 徐敏;罗怡;王晓东;李楠;刘冲
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：聚合物微流控芯片的热压成形中,温度、压力和时间是三个主要的工艺参数,其中温度对聚合物的粘弹性影响最大.本文研究了不同温度下,PMMA材料的蠕变特性,基于广义kelvin蠕变模型拟合材料的蠕变曲线,得到材料的蠕变柔量及延迟时间.根据材料的蠕变柔量与松弛模量推导出松弛模量;基于不同温度的蠕变曲线确定时温等效方程的参数,并基于粘弹性材料模型有限元仿真热压成形.仿真结果表明,热压温度在材料玻璃点以上的120°C进行热压,可以获得良好的结构填充,而在玻璃点温度,热压结构填充性差,图形复制精度差.热压实验表验证了该仿真结论.
34.隧穿磁强计驱动电压的理论计算与实验验证
- 汤学华;尤政;胡晓莉
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：隧穿磁强计是一种利用量子力学中隧道效应原理研制的MEMS磁强计.在隧穿磁强计的性能参数中,驱动电压是一个很重要的参数,该值过大,可能会导致硅尖和对应电极相撞,该值过小,可能会导致不能将硅尖拉到规定的位置;本文通过对这种磁强计的质量弹簧系统进行力学分析,推导了弹性系数,根据设计尺寸计算了这种磁强计的梳齿驱动力和驱动电压的理论值,使用半导体测试仪测试了这种磁强计的实际驱动电压.结果表明:计算结果和测试结果较为一致.
35.一种新型压电式双向无阀微泵的研制
- 王蔚;田丽;鲍志勇;刘晓为;王喜莲;杨松涛
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110 V、频率为40 Hz时,微泵的正向最大泵压为120 mm水柱,频率为50-90 Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35 Hz时,微泵的反向最大泵压为70 mm水柱,最大流量56μl/min.
36.自旋阀多层膜巨磁电阻的研制
- 温殿忠;黑龙江大学电子工程黑龙江省高校重点实验室
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文阐述了多层膜巨磁电阻自旋阀的设计原理和采用金属掩膜版磁控溅射的方法研制多层膜巨磁电阻自旋阀的工艺.制造的多层膜巨磁电阻采用[Co/Cu/Co]三重结构.同时分析了制备的Cu、Co纳米膜的形貌以及利用自旋阀GMR传感器测试得到的实验校准数据并绘制出输出-输入曲线.实验结果表明,制造的巨磁电阻提高了低场下的磁灵敏度,可以用来检测不同方位地磁场的大小,用该方法制造巨磁电阻的迟滞为0.01％F.S.文中介绍的多层膜巨磁电阻制造方法具有工艺简单、可与IC工艺相兼容的优点,有推广应用前景.
37.形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究
- 宋明歆;宫纯青;贺训军;殷景华;刘晓为
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文利用有限元分析软件ANSYS对长方形和圆形两种霍尔器件的工作状态进行模拟,分析霍尔片(霍尔器件工件区域)结构尺寸与霍尔器件灵敏度的关系,研究形状对器件灵敏度的影响.结果表明:圆形霍尔片灵敏度比长方形霍尔片的高,当圆形霍尔片的半径与厚度比值为15时,灵敏度最高.
38.基于微/纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究
- 许媛媛;边超;陈绍凤;夏善红
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜和纳米金修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学免疫传感器.研究表明,这种微型电化学免疫传感器易于实现批量生产,便于集成,检测过程只需要少量的样品,大大降低有毒试剂的消耗,减少环境污染,同时具有分析成本低,响应时间快,检测下限低和适用于现场快速检测等优点.
39.硅微陀螺仪的误差分析
- 施芹;裘安萍;苏岩;朱欣华
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文以z轴硅微陀螺仪为研究对象,对加工误差产生的误差信号进行了分析.由于加工误差,使得陀螺仪结构不对称,主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等,产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象.以动力学方程为基础,分析了不等弹性和阻尼不对称产生的误差信号;以静电理论为基础,分析了驱动梳齿和敏感梳齿间距不等时产生的误差信号.分析结果表明,这些误差信号包含了正交耦合误差和与有用信号同相位的误差信号.最后,介绍了一种减小正交误差的方法,并进行了仿真.
40.微结构参数对多孔硅层热绝缘性能的影响
- 胡明;张伟;张绪瑞;杨海波
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文研究了多孔硅层厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒尺寸三个微结构参数对其热绝缘性的影响机制.实验选用p+,p-两种掺杂浓度的硅片基底,采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀时间和腐蚀电流密度获得不同微结构参数的多孔硅层.分别采用显微拉曼光谱法及测量显微镜聚焦法测量了样品的热导率和厚度.研究发现,多孔硅层厚度影响热量传输路径,而孔隙率和微晶粒尺寸通过降低热导率从而使多孔硅的绝热性增强.
41.微型直接甲醇燃料电池极板结构的研究
- 张宇峰;刘晓为;王喜莲;王蔚;索春光
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：极板结构直接影响微型直接甲醇燃料电池的极化特性,本研究采用微机械加工技术制作了几种不同极板流场结构的直接甲醇燃料电池.通过对不同极板结构的微型直接甲醇燃料电池的性能比较,发现栅型阳极流场结构的电池输出特性明显优于螺旋蛇型和点型流场结构.另外对采用不同极板材料制作的直接甲醇燃料电池也进行比较,发现不锈钢微型直接甲醇燃料电池的性能明显优于硅基结构的燃料电池.
42.MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计
- 董培涛;国防科技大学机电工程与自动化学院;李昕欣;陈聪;夏保佳;王跃林;封松林;李圣怡
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文针对一种基于MEMS技术制造的H2/air自呼吸式微型质子交换膜燃料电池,建立了二维等温的阴极数学模型,计算了电池的平均电流密度及功率密度.由于阴极采用空气自呼吸式,阴极流场板结构的空占比就成为影响电池性能的重要因素.通过优化,确定空占比为0.7左右时,燃料电池的性能最佳.制作器件的测试结果表明采用该优化设计的燃料电池的峰值功率密度高达135 mW/cm2.
43.微型直接甲醇燃料电池三维性能数值仿真
- 张博;张宇峰;刘晓为;乔育花;张鹏
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文采用CFD软件对微型甲醇燃料电池(Micro Direct Methnol Fuel Cells,μDMFC)进行模型的建立和性能仿真,并比较了不同的流场结构设计对电池性能的影响.结果表明,蛇形流场结构比较点型和平行流场结构具有更好的电池性能,且由于甲醇的渗透,甲醇浓度增加时,会引起电流密度的有所下降.
44.复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计
- 毛海央;熊继军;张文栋;郭涛;徐栋
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.
45.电容式微加速度传感器信号处理电路的设计
- 刘海涛;温志渝;温中泉
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式,具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好的消除外部环境噪声的干扰,同时提高了传感器的整体性能.
46.力平衡框架结构加速度计的设计
- 陈伟平;赵振刚;刘晓为;韩天
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构,并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真.这种框架结构可以有效地增大结构静态电容,以便在闭环工作时能产生更大的静电力.它的整体尺寸为2 800μm×3000μm×60 μm,结构惯性质量为0.14 mgn,静态电容为3.618pF,抗过载能力超过5000 gn.通过系统仿真,该加速度计的电压灵敏度为90 mv/gn,量程为±50 gn,系统带宽是10 kHz.
47.微乳液法制备纳米WO3粉体
- 刁显珍;侯长军
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文采用CTAB/正丁醇/正辛烷/水微乳体系制备了纳米WO3粉体,并用X射线衍射仪、透射电子显微镜对WO3粉体进行了表征,研究含水量、煅烧温度对WO3粉体的物相结构、粒径大小和形貌的影响.研究表明:随着含水量增加,WO3颗粒的粒径逐渐增大;随着煅烧温度的升高,出现了单斜晶系和三斜晶系的WO3颗粒,WO3颗粒不但粒径逐渐增大,形貌发生变化,而且团聚更加严重.
48.TPMS硅基压阻式压力传感器的研制
- 张艳红;刘兵武;刘理天;张兆华;谭智敏;林惠旺
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：轮胎压力监测系统(TPMS)对压力传感器越来越大的市场需求使得这类传感器再次成为一个研究热点.商业领域对新一代压力传感器的要求是小尺寸、高性能、低价格,本文针对在30 μm厚度的硅杯方形薄膜上采用新型折线形状和位置的压敏电阻,设计并制作了一系列压阻式压力传感器.分析和讨论了膜的面积、电阻形状和位置等参数对压力传感器的灵敏度和线性度的影响.测试得到1000 kPa量程下边长为370μm的压力传感器灵敏度和线性度分别为15.5 mV/V·FS、0.012％/FS;边长为470μm的传感器的灵敏度和线性度分别为32.2 mV/V·FS、0.078％/FS,满足TPMS应用标准.这种器件体积小、成品率高,灵敏度和线性度均得到提高,也可用于医学、航空等其他领域.
49.含微纳结构硅胶整体柱的预处理芯片分析系统的研究
- 徐溢;重庆大学光电学院微系统研究中心;张剑;重庆大学光电学院微系统研究中心;张钟锋;温志渝
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文针对微流控芯片分析系统预处理及其集成化的难题,采用sol-gel技术,并经改性处理,制备得到具有微纳结构的C18酯型反相硅胶整体柱,将其作为芯片上预处理结构单元,与微流控检测芯片相结合,组建了具有预处理功能的芯片.以盐酸多巴酚丁胺-KMnO4-Luminol化学发光体系为样品对象进行测试,结果显示该改性硅胶整体柱具有良好的预处理性能,在微流控芯片分析系统和化学传感器中具有良好的潜在应用前景.
50.微流道交流电水力泵的数值模拟及优化
- 张善亮;Nithin Narayananb;徐波
- 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》 | 2006年
摘要：本文描述了微通道内交流电水力泵(EHD)的工作原理,并用IntelliSuite(R)的Microfluidic模块对电水力泵进行数值模拟.并分析了影响电水力泵速度场分布的因素,包括流体电导率、驱动交流电频率和相位、电极维度以及电极间隙和数量等.通过数值模拟不同参数下的电水力泵,比较驱动压力大小,最后给出优化的设计结果,为给电水力泵设计参数的选择提供依据.本文对流道长度为5mm,宽0.4mm,厚度0.4mm的电水力泵做了优化设计的数值模拟,最后得到驱动电极宽度为0.01mm,电极间距为0.02mm.