双单光束互换光学头方光斑激光直写系统设计

摘要

本文设计了一种具有双单光束互换光学头激光直写系统来实现不同特性的衍射器件的光刻输出，用双远心投影透镜组获得方形光斑并以逐点模式进行运行，改善了光刻图像质量并提高了系统的运行效率，解决了在同一幅光刻胶干板上同时进行具有微米量级干涉条纹的衍射光变图像和二元位相图形的直写问题。具有双光束干涉调制的衍射图像分辨率达到2540dpi，方光束点尺寸为5 - 20 微米。给出了衍射图像和两台阶二元位相编码图形的制作结果。