退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
张锦; 冯伯儒; 郭永康;
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209;
四川大学物理系,四川,成都,610064;
干涉光刻; 无掩模; 双光束双曝光; 四光束单曝光;
机译:三光束干涉光刻:将劳埃德干涉仪升级为单曝光六角形图案
机译:纳米图案蓝宝石衬底工艺上多曝光和多光束激光干涉光刻的通量比较
机译:双光束干扰曝光的严格电磁场模拟,用于探索双图案和双曝光场景
机译:单曝光和双曝光光学微光刻的掩模设计:逆成像方法
机译:通过宽光束扫描曝光和自参考对准实现干涉光刻的无限记录长度
机译:具有双光束和单光束单脉冲激光干涉光刻的微米和亚微结构薄聚合物薄膜
机译:用于双曝光全息干涉测量的方法和设备
机译:二光束干涉曝光装置,二光束干涉曝光方法,半导体发光元件的制造方法以及半导体发光元件
机译:2个光束干涉曝光装置,2个光束干涉曝光方法,制造方法以及半导体发光元件的半导体发光元件
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。