一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构

摘要

本实用新型涉及芯片制备技术领域，且公开了一种蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，包括反应室本体，所述反应室本体的上表面开设有搭接槽，所述搭接槽的内部与反应室本体的内部连通，所述搭接槽的内部滑动连接有盖板，所述盖板的内部固定插接有电浆管，所述反应室本体内侧壁的底部开设有固定槽。该蓝宝石芯片ICP底盘压环结构，通过压环对固定块进行抵压，使第一限位杆和第二限位杆方便在第二弹簧的作用下对固定块和压环进行固定，达到固定压环的作用，利用滑块方便将第一限位杆和第二限位杆移出第一限位槽和第二限位槽，起到方便将压环进行更换的作用，减少更换压环的时间，达到提高生产效率的效果。