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机译:使用纳米压印和采用不同掩膜材料的ICP蚀刻在蓝宝石衬底上对光提取纳米结构进行图案化
LED light extraction; sapphire nanopattern; SiO2 mask; nanoimprint; ICP etching;
机译:使用纳米压印和采用不同掩膜材料的ICP蚀刻在蓝宝石衬底上对光提取纳米结构进行图案化
机译:通过使用二氧化硅掩模制备的图案化的蓝宝石衬底的变速和自清洁
机译:垂直氮化镓基LED,其表面具有自然纹理化的表面,该表面由带有自组装银纳米点作为蚀刻掩模的图案化蓝宝石衬底形成
机译:通过湿法和ICP刻蚀方法提高蓝宝石衬底图案的光提取效率
机译:借助纳米压印光刻技术对微/纳米结构进行图案化和处理。
机译:通过无掩模化学刻蚀制备的涂有银纳米颗粒的蓝宝石图案衬底上的GaN基发光二极管的性能
机译:改善通过湿法和ICP蚀刻在蓝宝石衬底上生长的GaN基LED的性能