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MEMS及微机械加速度计可靠性研究

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摘要

由于MEMS器件的应用日益频繁,其可靠性研究就显得十分重要.介绍了引起可靠性问题的原因.以微机械加速度计为例,指出了该加速度计的可靠性问题,以及对其可靠性测试研究的内容.

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来源
《电子产品可靠性与环境试验》|2006年第5期|64-67|共4页
作者
许建军; 孔学东; 李斌; 师谦;
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作者单位

华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,广东,广州,510640;

信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;

信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;

华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所,广东,广州,510640;

信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;

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正文语种 chi
中图分类其他器件;机械系统;
关键词
微电子机械系统; 可靠性; 微机械加速度计;

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