五电极微机械加速度计数字闭环控制电路及其接口电路以及五电极微机械加速度计系统

摘要

本发明提供一种五电极微机械加速度计数字闭环控制电路，其包括依次连接的电容读出前端电路、控制器、Σ-Δ调制器以及反馈电压产生电路，其中，所述控制器包括一积分器，该积分器用于使低频域的输入为零的所述电压信号输出不为零。此外，本发明还提供了一种包含该数字闭环控制电路的五电极微机械加速度计接口电路以及五电极微机械加速度计系统。