摘要:为了构建石英振梁加速度计结构模型,以敏感结构为研究对象,首先,将敏感结构等效为柔性杆和刚性杆组合而成的组合梁结构,利用刚度矩阵、载荷转移矩阵和变形协调关系构建了敏感结构静态数学模型,导出了敏感轴方向输入加速度和振梁轴向力关系;其次,以质量连续分布弯曲梁振动微分方程为基础,推导双端振梁谐振梁在轴向力作用下梁固有频率和轴向力之间的关系;然后,将振梁结构和检测质量等效为质量矩阵一弹簧矩阵系统,利用共模和差模理论求解振梁共模质量和差模质量,共模刚度和差模刚度,导出振梁加速度计在敏感轴方向上输入加速度时,振梁特征频率和相应振型,从中提取谐振频率和标度因数;最后,对振梁加速度计静态和动态模型进行计算和仿真验证,在敏感轴方向输入1g加速度条件下振梁轴向力理论解和仿真解,误差不超过50ppm,振梁所受轴向力的变化随检测质量厚度增大而增大,达到某个值时逐渐趋缓.在理想尺寸条件下,振梁模态频率和对应振型完全解耦,而在振梁存在加工误差务件下,振梁存在振型耦合从而引起频率自锁.