Machining ; Miniaturization ; Adhesion ; Microstructure ; Teflon ; Engines ; Service Life ; Temperature Dependence ; Surface Coating ; Friction ; Experimental Data ; Meetings ; Tables(data);
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机译:研究通过低温等离子体化学沉积形成的非化学计量氮化硅薄膜的光学性质和表面结构,以用于MEMS结构。
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机译:用于mEms的薄聚四氟乙烯薄膜:薄膜特性和可靠性研究
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