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MEMS及微机械加速度计可靠性研究

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摘要

由于MEMS器件的应用日益频繁,MEMS可靠性研究就显得十分重要.本文介绍了引起可靠性问题的方面,以微机械加速度计为例,指出了徽加速度计的可靠性问题,以及对其可靠性测试研究的内容.

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来源
《2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会》|2005年|248-252|共5页
会议地点温州
作者
许建军; 信息产业部电子第五研究所; 孔学东; 李斌; 师谦;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;可靠性及例行试验;
关键词
微系统技术; 集成电路; 可靠性分析;
入库时间 2022-08-17 10:49:36

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