microstructure boron-doped silicon multilayer solid model curvature;
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:建模大体积微机械硅加速度计的机械性能
机译:高扩散硼掺杂硅层中的扩散诱导位错,用于体微加工
机译:基于光强度调制的厚多晶硅表面微机械加速度计。
机译:由磷和硼掺杂的富硅氧化物和氮氧化物生长的硅纳米晶体中没有自由载流子
机译:体微机械加速度计中掺硼硅微结构曲率的模拟
机译:硅体微机械加工,对称,退化振动显微镜,加速度计和传感器及其使用方法