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镍-锡微凸块结构及其制造方法

摘要

用于在集成电路封装衬底上提供与表面水平微凸块的有效连接的技术和机制。在实施例中,以各种方式对不同的金属进行电镀以形成微凸块,所述微凸块穿过衬底的表面水平电介质延伸到包括铜的种子层。微凸块包括镍和锡,其中镍有助于减轻种子层铜的吸收。在另一个实施例中,微凸块具有锡的质量分数或镍的质量分数,其在沿着微凸块的高度的各个区域中是不同的。

著录项

  • 公开/公告号CN109564897A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN201780049772.6

  • 申请日2017-08-14

  • 分类号

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人邬少俊

  • 地址 美国加利福尼亚

  • 入库时间 2024-02-19 09:00:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/00 申请日:20170814

    实质审查的生效

  • 2019-04-02

    公开

    公开

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