机译:MEMS在无牺牲层面工艺中使用SU-8换能器的低成本制造
Univ British Columbia Dept Elect &
Comp Engn Vancouver BC Canada;
Univ British Columbia Dept Elect &
Comp Engn Vancouver BC Canada;
gray-scale lithography; polymer MEMS; maskless lithography; electrostatic actuation; rapid microfabrication; SU-8; sacrificial-layer free;
机译:MEMS在无牺牲层面工艺中使用SU-8换能器的低成本制造
机译:使用非晶硅作为牺牲材料的具有两个金属电极的SU-8 MEMS工艺的开发
机译:用于柔性基板上的MEMS换能器的无牺牲层制造技术
机译:低温加工的SU-8光刻胶在MEMS器件制造中的分层分析
机译:永磁材料的制造和集成到MEMS换能器中。
机译:SU-8平面MEMS结构的简单而坚固的制造工艺
机译:正光刻胶作为牺牲层,用于使用SU-8聚合物制造MEMS微组件
机译:UV焙烧/固化光刻胶用作mEms制造中的牺牲层