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微纳电子技术

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《微纳电子技术》是中文核心期刊，是国家新闻出版局批准公开发行、中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。 《微纳电子技术》的前身是《半导体情报》，创刊于1964年。2002年为了顺应国内外纳米科技发展的趋势，《半导体情报》完成了其历史使命，更名为《微纳电子技术》，是中国最早公开出版发行的涉足纳米科学与技术领域的杂志，对国内纳米科学与技术、MEMS技术领域具有一定的影响。其内容包括：纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料、纳米测量技术与设备、MEMS器件与技术、纳米技术应用以及国内外纳米材料与器件的最新进展报道，兼顾微米电子领域的最新研究成果和进展。栏目分为：技术论坛，器件与技术，材料与结构，MEMS与传感器，加工、测量与设备。
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  • 发文量：4413
  • 被引量：6700
  • H指数：21
  • 开始收录时间：
  • CNKI综合因子：
  • 维普期刊影响因子： 0.44
  • 万方期刊影响因子：
  • 创刊时间：
  • 国内刊号/CN：13-1314/TN
    国际刊号/ISSN：1671-4776
  • 发行周期：月刊
    邮发代号：18-60
  • 主管单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
    主办单位：中国电子科技集团公司
微纳电子技术-联系信息
  • 主编：赵小宁
  • 电话：0311-87091487
  • 邮箱：wndz@vip.sina.com
  • 地址：石家庄市合作路113号
  • 邮编：050002
微纳电子技术-获奖情况
  • 2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖
  • 2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术水平优秀奖
  • 中国学术期刊执行（光盘版）检索与评价数据规范优秀期刊
  • 2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊学术技术水平优秀奖。
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微纳电子技术 >2025年第2期
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共4384条结果
  • 摘要：液滴喷射技术具有广泛的应用前景和技术优势,结合现有技术设计了一种能够实现有效的微滴喷射的装置,该装置基于电磁铁驱动,采用撞针式结构。本装置包括电磁铁、滑轨、撞针、喷嘴、弹簧、垫圈等几个主要部分,通过电磁铁驱动撞针撞击喷嘴从而使液滴从喷嘴中喷射出。整体而言其结构简单、成本较低、易于加工,可实现液滴稳定喷射。以甘油溶液(丙三醇)作为喷射实验材料,进行了多粘度溶液及多种喷嘴直径的喷射实验,并对实验结果进行分析,总结了该装置液滴喷射的相关性能,实现了粘度为0~1 410 mpas的多种粘度液滴的稳定喷射,丰富了微滴喷射装置的结构设计。
  • 摘要：HfO_2是一种很有应用前景的高k栅介质材料,稀土元素掺杂可以有效改进HfO_2的性能。采用磁控溅射方法制备了Ge基HfGdO薄膜,即HfGdO/Ge异质结。X射线衍射结果显示这种方法制备的薄膜是非晶结构,利用原子力显微镜对退火前后薄膜的表面形貌进行了观察,俄歇电子能谱结果发现制备的薄膜是符合化学计量比的。通过X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的禁带宽度和它相对于Ge衬底的导带、价带偏移进行了研究,结果显示其禁带宽度为(5.86±0.2)eV,HfGdO/Ge结构的价带偏移和导带偏移分别是(3.6±0.2)eV和(1.6±0.3)eV。这些数据将为HfGdO薄膜在栅介质上的应用提供理论依据。
  • 摘要：采用水热法合成了以4,4′-联苯二甲酸(BPDC)为配体的Ni-金属有机框架(MOF),利用低成本、无污染的物理超声法在不改变Ni-MOF晶体结构的前提下对其进行改性,使块状Ni-MOF表面产生孔隙,改善Ni-MOF表面微/纳米结构,提高其电化学性能。通过扫描电子显微镜(SEM)图、X射线衍射(XRD)谱、循环伏安(CV)曲线和恒电流充放电(GCD)曲线分析了改性前后Ni-MOF的微结构形貌和电化学性能。结果表明,经过超声处理后,Ni-MOF的比表面积从40.6 m^2·g^-1增加到65.8 m^2·g^-1,平均孔径从12 nm增加到22 nm。在0.5 A·g^-1电流密度下,超声处理后Ni-MOF电极比电容从420 F·g^-1增加到515 F·g^-1,提高了22.6%,电荷转移电阻明显降低,从25.11Ω降低到15.51Ω。因此,物理超声法可有效改善Ni-MOF表面微/纳米结构,提高其电化学性能。
  • 摘要：合成了一种绿色荧光碳量子点(CD),使用分子量为25 kDa的支化聚乙烯亚胺修饰CD表面,通过静电作用得到CD-聚乙烯亚胺(PEI)体系,该体系具有良好的生物相容性和稳定的光学性质。以CD-PEI为载体,实现抗肿瘤基因p53的递送。通过Zeta电位和紫外光谱的变化以及细胞成像图可知,p53质粒成功与CD-PEI体系结合。分别用CD-PEI/p53纳米体系孵育正常细胞和肝癌细胞,通过3-(4,5-二甲基噻唑-2)-2,5-二苯基四氮唑溴盐(MTT)实验可知该体系对肝癌细胞增殖具有较强的抑制效果,而对正常细胞的毒性较小,故可用于肝癌细胞的治疗。同时,与传统PEI/p53组比较,CD-PEI/p53纳米体系具有更高的转染效率和增殖抑制率,其转染效率是传统PEI/p53组的1.6倍,增殖抑制率比传统PEI/p53组的高12%。
  • 摘要：第11届IEEE国际专用集成电路会议（ASICON2015）将于2015年11月3—6日在中国成都举行。这次会议旨在为VLSI电路设计者、ASIC用户、系统集成工程师、IC制造厂商、工艺和器件工程师以及CAD／CAE工具开发者提供一个国际论坛，介绍其在各自领域取得的最新进展和研发成果。四天的会议将汇集中外著名专家关于VLSI电路、器件、工艺设计与制造等技术最新发展的主题演讲、论文报告以及资深专家的报告。
  • 摘要：压阻式力传感器常被用作工业机器人手指接触力传感器,为准确测量微小力与力矩,设计并测试了一种用于六自由度微力测量的微压阻式力传感器。该传感器由传力支柱、软半球盖、力-力矩传感结构和Wheatstone电桥四部分构成。采用有限元方法分析了各方向上施加力时应力的分布情况,由此确定了压敏电阻的位置分布。采用光刻、掺杂、深反应离子刻蚀和键合等微细加工工艺制备微压阻式力传感器的力-力矩传感结构(2 mm×2 mm×0.5 mm)。测试结果表明:传感器的量程为0~875 mN,z方向上的力Fz灵敏度为0.14 mV/mN,y方向上的力矩My灵敏度为1.76 mV/N·μm,x方向上的力矩Mx灵敏度为1.66 mV/N·μm,力-力矩传感结构相互间的串扰≤5%,并且施加的力与输出电压呈线性关系。该传感器具有体积小、灵敏度高和可靠稳定的特点。
  • 摘要：围绕近年来金属氧化物pH传感器的相关研究,对其传感机理进行了概述,对不同类型金属氧化物pH传感器的研究进展进行了介绍,根据二氧化钌、二氧化铱、五氧化二钽等金属氧化物的特性,分析其作为pH敏感电极的优点和不足,重点分析了4种pH传感器(电位型、电导型、离子敏感场效应管型和外延栅极场效应管型)的制备工艺、工作原理、灵敏度和响应时间,并总结了针对不同应用最适宜的金属氧化物pH传感器类型。最后,对金属氧化物pH传感器面临的问题进行了概述,展望了其未来的发展方向。
  • 摘要：针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布。先利用ANSYS有限元软件分析探针Si_3N_4弹性薄膜的厚度和面积尺寸对探针测量范围的影响规律,得到了优化的几何参数。然后基于仿真结果,运用微机电系统(MEMS)技术中的硅基工艺、薄膜工艺和光刻工艺完成了多探针硅杯的腐蚀、弹性薄膜的沉积及SU-8胶质探针的制作,制备出独立多探针。初步测量Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针单元的各项参数表明:Si_3N_4弹性膜的长度平均值为399.4μm,最大偏差为1.8%;SU-8胶质探针的尺寸为Φ99.1μm×27.8μm,最大偏差分别为1.9%和9.8%;探针间的平均距离为1.500 6 mm,最大偏差为0.6%。该探针的结构设计合理,制作工艺可行,可以用于大范围、快速测量方法。
  • 摘要：比较了现有人体能量集能器收集方式的功率密度,分析了各种人体能量集能器供电的可行性。讨论了环境能量集能器的功率密度及优缺点,并列出了人体能量集能器相对环境能量集能器的优势。介绍了人体能量的分类以及人体驱动所能产生的能量。针对人体的能量分布和利用潜力,详细介绍了人体的动能、热能、化学能和呼吸能等人体能量的现有收集方法,并分别阐述了每种能量的不同收集方法的研究现状,进一步探讨了电磁式、压电式、摩擦电式、静电式、复合式、热电式及燃料电池等收集方式的优缺点,指出人体能量收集器的研究前景。
  • 摘要：制作了一种BiFeO3纳米纤维压力传感器和测试装置,用测试装置对压力传感器进行测试,并对测试数据进行分析。采用BiFeO3纳米纤维作为敏感材料,利用微电子机械系统（MEMS）加工工艺制备出带有叉指电极的硅基底,用静电纺丝设备将BiFeO3纳米纤维铺设到叉指电极上面,再将PDMS薄膜覆盖在纳米纤维上制成压力传感器。在磁感应强度0和80 mT下,用自制的测试装置分别采集25℃和80℃下0-20 kPa的输出电压。得知输入压力与输出电压基本呈线性关系,温度和磁场的变化对传感器的影响不大,BiFeO3纳米纤维压力传感器的最大输出电压达到了0.91 mV。
  • 摘要：硅通孔(TSV)是三维电子封装的关键部位,因此分析其应力状态对评估TSV可靠性非常重要。建立了微型红外光弹性系统,并可施加热载荷来表征TSV结构的应力。在测试系统的全域和实时的模式下得到结论:即便制造技术和工艺是一样的,每个TSV应力状态是不同的;不同的TSV其零应力温度也不相同;并且即便温度升高,TSV仍保持零应力状态。为了对TSV的应力进行定量分析,建立了有限元模型,获得了TSV在不同零应力的温度下的应力状态。基于光弹性原理和有限元结果构造出不同零应力温度下的虚拟光弹性条纹,通过虚拟条纹与实验结果的对比,选取适当的虚拟光弹性条纹图案从而可确定TSV的应力。
  • 摘要：《微纳电子技术》于2002年创刊（月刊）,在2011年的中文核心期刊评选中被收录进最新版（2011年版）《中文核心期刊要目总览》,再次成为中文核心期刊。
  • 摘要：以薄膜体声波谐振器(FBAR)的背腔刻蚀为研究背景,研究了光刻工艺参数设置与光刻图形转移效果的关系。分析了紫外曝光剂量大小对光刻图形面积和边角曲率的影响,优化得到最佳工艺流程,以AZ4620光刻胶为掩膜实现了氮化硅的湿法刻蚀。实验结果表明,曝光剂量为60 mJ、显影时间60 s时,曝光图形化质量最佳;随着氮化硅刻蚀液温度的升高,湿法刻蚀速率不断增大,温度过高导致光刻胶被破坏而不能起到掩膜作用,60℃时刻蚀速率为109.5 nm/min,得到了边线规整、底部平整的微结构。刻蚀后表面分子喇曼位移为单晶硅的波峰(519.354 cm^(-1)),证实氮化硅被完全去除,为氮化硅作掩膜的单晶硅湿法刻蚀提供了一种有效途径。
  • 摘要：介绍了典型的电子封装用复合材料,着重介绍了不同类型的金属基复合材料（MMC）;综述了以铝碳化硅（SiC/Al）和Si/Al为代表的金属基复合材料的国内外研究现状和进展,阐述了SiC/Al复合材料常见的制备工艺,比较了粉末冶金、铸造法、喷射沉积、浸渗法等不同制备工艺的优缺点并讨论了不同制备工艺的影响因素,分析了这些工艺所制备的复合材料的热膨胀系数和热导率等热物理性能;介绍了SiC/Al复合材料在国内外航空航天、飞行器、民用汽车和光电子器件等领域的研究应用实例,在此基础上指出了目前研究还需解决的基础理论研究和多学科交叉等问题,展望了SiC/Al复合材料未来的研究和发展方向。
  • 摘要：在通道壁面垂直施加一个调控电场可以改变双电层电荷密度和Zeta电位势,实现对电渗流的调控。采用离子输运Nernst-Planck方程、液体流动Navier-Stokes方程、以及介电层-电解液耦合双电层Poisson方程,数值求解外加均匀调控电压下微纳米通道的电渗流动,得到表面Zeta电位势、电渗流速度与外加调控电压的关系特性。数值解与基于Poisson-Boltzmann方程双电层弱重叠近似和双电容串联模型的解析解相对比,进一步研究了控制外加调控电压以及控制电渗流的方法。
  • 摘要：基于负电晕放电原理的气体传感器利用局部高压电场将目标气体电离,根据电离特性对气体进行识别。采用MEMS技术制备硅尖阵列电极,利用电喷ZnO纳米颗粒对电极表面进行修饰,结合金平板正电极构建了多针-板结构电晕放电气体传感器。研究了电极间距对传感器负电晕放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为100μm。测试了在-0.70 kV放电电压下传感器对乙酸气体的敏感特性。该传感器对乙酸气体的响应灵敏度约为1.05 mV/10-6,理论检测限(三倍噪声)约为8.6×10-6,测试范围内传感器响应同乙酸气体体积分数近似呈线性关系。实验结果表明,ZnO纳米颗粒修饰减小了放电尖端曲率半径,增加了放电尖端个数,消除了硅尖阵列之间高度和顶端曲率半径的差异,从而有效降低了起晕电压,提高了传感器对乙酸气体响应灵敏度及电晕放电的稳定性。
  • 摘要：设计制作了一种柔性压力传感器，以聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）作为柔性基底，用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅（PZT）纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡（ITO）叉指电极的PET柔性基底上，再将聚二甲基硅氧烷（PDMS）薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器。利用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分别对PZT纳米纤维的晶体结构和形貌进行了表征，并通过测试系统测试了传感器的性能。测试结果表明：在20-60kPa内，随着压强的增大，传感器的开路电压随之线性增大，最大约为10V，其中灵敏度约为180mV／kPa。
  • 摘要：通过Al原子吸附和取代的方法对硅烯材料进行掺杂,基于第一性原理计算方法研究了Al掺杂硅烯材料的吸附特性,分析H_(2)、SO_(2)和NH_(3)气体分子在其表面的吸附过程。研究发现,Al吸附硅烯体系由于强的物理吸附对H_(2)敏感,吸附能为-0.51 eV;SO_(2)和NH_(3)以成键的方式吸附在两种掺杂材料上,其中Al取代硅烯体系吸附SO_(2)后打开了0.3 eV的带隙,吸附能为-1.19 eV;Al吸附硅烯体系吸附SO_(2)后带隙缩小,吸附NH_(3)后带隙增大,吸附能分别为-1.01和-0.96 eV。结果表明,Al原子的吸附和取代提高了硅烯材料的吸附性能,为研究Al掺杂硅烯材料的储氢和气敏性能提供理论参考。
  • 摘要：随着传统产业的转型和技术升级,中国半导体分立器件产业在新兴产业发展中发挥着越来越大的作用。新材料和新技术的不断发展应用,对半导体分立器件未来发展产生深远的影响。在轨道交通、新能源汽车、固态照明、5G通信、物联网等新兴市场快速增长的牵引下,半导体分立器件产业将继续保持平稳发展的态势。
  • 摘要：针对医疗行业多指标检测的需求,利用微流控技术高通量的优势,设计出一款由离心力驱动的阵列化检测芯片。首先介绍了芯片所涉及的力学理论,并由此计算出阀的突破频率,然后用COMSOL软件仿真流体运动,验证突破频率的正确性以及芯片结构的合理性,最后用软光刻技术和模塑法制得PDMS芯片进行离心实验,观察流体实际运动情况并和仿真结果作对比。经验证,力学理论计算所得突破频率与仿真结果和离心实验结果吻合,说明疏水阀设计的正确性。此微流控芯片实现了15通道的阵列化探测,此外还具有加样方便、结构简单等优点。
  • 摘要：以二水氯化铜和硫脲为原料,聚乙烯吡咯烷酮为表面活性剂,不同体积比的酒精与去离子水为溶剂,通过水热法合成了硫化亚铜纳米球、纳米花与纳米棒三种形貌的晶体。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)与透射电子显微镜(TEM)对晶体的形貌与结构进行表征。XRD测试表明,这三种纳米结构均为高结晶性材料。此外还测试了这三种纳米结构的场发射性能。场发射实验结果表明,棒状结构的硫化亚铜纳米晶体具有最佳的场发射性能,开启场约3.1 V/μm,阈场约5.9 V/μm,场增强因子约2 064。这些结论表明,硫化亚铜纳米棒在场发射器件领域具有良好的应用前景。
  • 摘要：第十二届IEEE国际专用集成电路会议（ASICON2017）将于2017年10月25—28日在中国贵阳举行。这次会议旨在为VLSI电路设计者、ASIC用户、系统集成工程师、Ic制造厂商、工艺和器件工程师以及CAD／CAE工具开发者提供一个国际论坛，介绍他们在各自领域获得的最新进步和研发成果。四天的会议将汇集中外著名专家关于VLSI电路、器件、工艺设计与制造等技术最新发展的主题演讲、论文报告以及资深专家的讲课。大会将评选出优秀学生论文.
  • 摘要：摩擦纳米发电机(TENG)由于其超高电压特性而备受关注。为了进一步提升TENG的输出性能,受益于对自然界闪电击穿空气产生巨大能量的观察,引入对称针尖结构。利用TENG产生的高压来击穿对称针尖微小区域的空气,从而产生能量更为集中的高压。通过电学性能测试得到,带有针尖结构的TENG的开路电压达到2.5 kV(不携带针尖结构的TENG的开路电压为900 V),并且电容充电能力也得到了提升。进一步通过改变针尖电极尖端直径,研究带不同尖端直径针尖的TENG的输出性能得出,针尖尖端直径越大会导致放电电压越高。通过点灯实验说明带针尖TENG的性能得到了提升,推动了TENG的实用化进程。
  • 摘要：为紧跟国际功率半导体器件技术发展步伐,推动我国新型半导体功率器件技术水平进一步提高,加快其成果转化和应用推广,增强自主创新能力,由中国半导体行业协会半导体分立器件分会主办的“第五届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会”于2019年11月22-24日在广东深圳召开。本会议是继厦门、昆明、长沙、苏州成功举办后,全国新型半导体功率器件及应用领域又一次重要的学术与技术交流活动,将为广大从事新型半导体功率材料、器件及其应用技术的工作者提供一个高起点、大范围、多领域的沟通平台,增进产、学、研之间的技术交流,相互学习,共同提高。
  • 摘要：电流体动力学喷印技术是一种制备微纳米结构与器件的新型技术,该技术在多种功能器件的制备方面受到广泛关注。阐述了电流体动力学喷印技术的研究背景,通过分析得出电压控制问题是电流体动力学喷印技术中的一个重要问题。概述了目前电流体动力学喷印技术的电压控制模式,主要包括直流高压、高压脉冲、直流电压叠加脉冲电压、交流电压和直流电压叠加交流电压五种控制模式,并对各种电压控制模式及其应用现状进行分析。最后,对电流体动力学喷印的电压控制模式中存在的问题以及未来发展的前景进行了总结和展望。
  • 摘要：中国微纳电子技术交流与学术研讨会是由中国半导体行业协会分立器件分会、中国电子科技集团公司第十三研究所和《微纳电子技术》杂志社共同主办,每年举行一次的全国性行业与学术交流会议。
  • 摘要：液体混合是微流控芯片的重要功能之一,微流控液体混合方式可分为主动式和被动式两种。针对目前微流控混合器存在的被动式混合效率不高和主动式混合器制作工艺复杂等问题,研究设计了一种基于雕刻机加工的低成本、高效率气动式微流控混合器。该微流控芯片采用数控雕刻机快速加工微模具,经PDMS固化、翻模、打孔和键合等工艺,实现了微流控混合器的制作。同时研究设计了多气室脉冲气体驱动模式,有效实现了微量试剂和样品的快速混合。实验结果表明,所研究的主动式微流控混合器可以产生对流混沌作用,显著提高微尺度下的混合效率,为实现低成本的微流控芯片制作和高效试剂混合的MEMS生化检测系统提供了一种有效的技术途径。
  • 摘要：进入21世纪,2004年集成电路的特征尺寸已进入90 nm节点,标志着微电子进入一个新的纪元,即进入了纳电子时代。介绍和总结了纳电子的新进展,包括纳电子的两条发展技术路线:其一是继续按自上而下的方法,以CMOS技术为基础,不断改变栅结构,改变沟道材料,增强控制电子的能力;其二是自下而上的新思路,采用新的器件结构,向自组装发展。此外,还介绍了"后CMOS"器件的工作原理、当前的实验以及和MOSFET相关的性能和面临的挑战。并预计了纳电子未来发展的趋势。
  • 摘要：将介电电泳(DEP)效应与生物分子亲和性捕获结合,利用负向介电电泳力克服细胞捕获过程中没有识别能力的非特异性吸附力的方法,减小非靶细胞吸附,提高捕获纯度。根据介电电泳原理,设计并制备了插齿电极结构的细胞捕获微流控芯片,电极宽度为10μm、电极间距为40μm,通过单株细胞样品捕获的实验优化了施加于电极上的交流电参数,并将峰峰值电压为5 V、频率为20 kHz的交流电用于混合细胞株样品的分离及捕获实验中,以验证介电电泳提高捕获纯度的效果。实验结果表明:靶细胞HCT-116细胞的捕获纯度可从60.2%±5.01%提高到94.7%±2.77%,介电电泳能够提高以生物分子亲和性为基础的微流控芯片的细胞捕获纯度。
  • 摘要：采用电化学沉积法,在电解液中放入不同质量(1、3和5 mg)的碳纳米管(CNT),在柔性基底碳纤维布上制备出3种聚吡咯(PPy)/CNT复合电极。研究了不同CNT质量对PPy/CNT复合电极比电容的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对样品进行形貌表征,并采用循环伏安、交流阻抗和恒流充放电等方法研究样品的电化学性能。SEM和XRD结果表明,在碳纤维布上生成了PPy/CNT复合沉积物,且随着CNT质量的增加,碳纤维布上沉积物逐渐增多且在复合电极上形成更加明显的三维结构,从而使电极材料具有更加良好的表面特性。电化学性能测试结果表明,当电势范围为-0.4~1 V、扫描速率为100 mV/s时,质量为1、3和5 mg CNT的复合电极的比电容分别为338.1、424.3和481.4 F/m^(2)。通过增加电解液中CNT的质量,达到了提升柔性PPy/CNT复合电极的电容特性的目的。

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    • 曾用名：半导体情报
    • 创刊时间：
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    • 语言：中文
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    微纳电子技术的获奖情况

    • 2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖
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