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Journal of Micromechanics and Microengineering

Journal of Micromechanics and Microengineering

SCIEI

中文名称：微机械与微工程学报

ISSN：0960-1317
出版周期：Monthly

发文量：5524

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1.A study on a silicon Hall effect device with an integrated electroplated planar coil for magnetic sensing applications

机译：具有集成电镀平面线圈的硅霍尔效应器件在磁传感应用中的研究
- 作者：Gamage SK;Henderson HT
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
2.High-throughput design and fabrication of an integrated microsystem with high aspect-ratio sub-micron pillar arrays for free-solution micro capillary electrophoresis

机译：高通量设计和制造具有高纵横比亚微米柱阵列的集成微系统，用于自由溶液微毛细管电泳
- 作者：Chan YC;Lee YK;Zohar Y
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
- LONG DNA-MOLECULES;
- SEPARATION;
- FIELD;
- CHIPS;
3.A thick film screen-printed ceramic capacitive pressure microsensor for high temperature applications

机译：用于高温应用的厚膜丝网印刷陶瓷电容式压力微传感器
- 作者：Clayton B. Sippola;Chong H. Ahn
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第5期
4.Design, fabrication and testing of a catalytic microreactor for hydrogen production

机译：用于制氢的催化微反应器的设计，制造和测试
- 作者：Kim T;Kwon S
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- BINARY CU/ZNO CATALYSTS;
- FUEL-CELL;
- MICROCHANNEL REACTOR;
- METHANOL;
- PROCESSOR;
- GENERATION;
- REFORMER;
5.Thermal stress analyses of multilayered films on substrates and cantilever beams for micro sensors and actuators

机译：用于微传感器和执行器的基板和悬臂梁上多层膜的热应力分析
- 作者：Hsueh CH;Luttrell CR;Cui T
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- PZT THIN-FILM;
- MEMS APPLICATIONS;
- DEFORMATION;
6.Characterization of metal and metal alloy films as contact materials in MEMS switches

机译：表征金属和金属合金膜作为MEMS开关中的接触材料
- 作者：Lee H;Coutu RA;Mall S;Leddy KD
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- ELASTIC-MODULUS;
- NANOINDENTATION;
- HARDNESS;
7.Bernoulli-Euler beam model based on a modified couple stress theory

机译：基于修正耦合应力理论的伯努利-欧拉梁模型
- 作者：Park SK;Gao XL
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- ELASTICITY;
- MICROCANTILEVER;
8.Electrical breakdown phenomena for devices with micron separations

机译：具有微米间距的设备的电击穿现象
- 作者：Chen CH;Yeh JA;Wang PJ
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- DISCHARGE;
- FIELD;
- GAP;
- AIR;
9.Modeling of transdermal drug delivery with a microneedle array

机译：用微针阵列对透皮药物传递进行建模
- 作者：Lv YG;Liu J;Gao YH;Xu B
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- SKIN;
- PREDICTION;
- TRANSPORT;
10.Tunable microfluidic optical devices with an integrated microlens array

机译：具有集成微透镜阵列的可调谐微流体光学设备
- 作者：Hong KS;Wang J;Sharonov A;Chandra D;Aizenberg J;Yang S
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- GRAY-SCALE PHOTOLITHOGRAPHY;
- ELECTROWETTING PUMPS;
- LIQUID MICROLENS;
- FIBER DEVICES;
- LENS;
- SYSTEM;
11.Fabrication of multi-layer SU-8 microstructures

机译：多层SU-8微结构的制备
- 作者：Mata A;Fleischman AJ;Roy S
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第2期
- HIGH-ASPECT-RATIO;
- EMBEDDED MICRO-CHANNELS;
- THICK PHOTORESIST;
- LIGA TECHNOLOGY;
- UV LITHOGRAPHY;
- MICROFLUIDIC SYSTEMS;
- 3D MICROFABRICATION;
- EXPOSURE;
- MICROCHANNELS;
- MEMS;
12.Fabrication of thick silicon nitride blocks embedded in low-resistivity silicon substrates for radio frequency applications

机译：嵌入射频应用的低电阻硅衬底中的厚氮化硅块的制造
- 作者：Fernandez LJ;Berenschot E;Wiegerink RJ;Flokstra J;Jansen HV;Elwenspoek M
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
- PASSIVE COMPONENTS;
- RF;
- MEMS;
- TECHNOLOGY;
- INDUCTORS;
- FILTERS;
- ICS;
13.Systematic modeling of microfluidic concentration gradient generators

机译：微流控浓度梯度发生器的系统建模
- 作者：Wang Y;Mukherjee T;Lin Q
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- NEUTROPHIL CHEMOTAXIS;
- HELICAL FLOWS;
- DEVICE;
- MICROCHANNELS;
- MICROMIXERS;
- SIMULATION;
- LEUKOCYTES;
- DIFFUSION;
- NETWORKS;
- CHANNELS;
14.Development of a dual-axis thermal convective gas gyroscope

机译：双轴热对流气体陀螺仪的研制
- 作者：Dau VT;Dao DV;Shiozawa T;Kumagai H;Sugiyama S
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- SILICON;
15.Modelling and performance evaluation of a MEMS dc/dc converter

机译：MEMS dc / dc转换器的建模和性能评估
- 作者：Martin Hill;C. O. Mahony
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
16.Piezoresistive sensing of bistable micro mechanism state

机译：双稳态微机构状态的压阻传感
- 作者：Jeffrey K. Anderson;Larry L. Howell;Jonathan W. Wittwer;Timothy W. McLain
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第5期
17.Development of a low temperatureMEMS process with a PECVD amorphous silicon structural layer

机译：具有PECVD非晶硅结构层的低温MEMS工艺的开发
- 作者：Chang S;Sivoththaman S
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- SI-H FILMS;
- ELASTIC PROPERTIES;
- MECHANICAL-STRESS;
- LPCVD-POLYSILICON;
- DILUTED SILANE;
- THIN-FILMS;
- MEMS;
- MICROSTRUCTURE;
- MICROSYSTEMS;
- DEPOSITION;
18.Simulation and fabrication of SiO{sub}2-based piezoresistive microbridges for chem/biosensors

机译：用于化学/生物传感器的基于SiO {sub} 2的压阻微桥的仿真与制造
- 作者：Yanqing Lu;Venkata Chivukula;Ming Wang;Hai-Feng Ji
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
19.In-package MEMS-based thermal actuators for micro-assembly

机译：基于封装的基于MEMS的热执行器，用于微装配
- 作者：Henneken VA;Tichem M;Sarro PM
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
- MICROACTUATORS;
- ARRAY;
20.Lateral nano-Newton force-sensing piezoresistive cantilever for microparticle handling

机译：横向纳米牛顿力感压阻悬臂用于微粒处理
- 作者：T. Chu Due;J. F. Creemer;P. M. Sarro
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
21.Microelectromechanical delay lines with slow signal propagation

机译：具有慢信号传播的微机电延迟线
- 作者：Alastalo AT;Kiihamaki J;Seppa H
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- DEVICES;
- OSCILLATOR;
22.High-fill-factor adaptive optics mirrors with independent piston, tip and tilt controls

机译：高填充系数自适应光学镜，具有独立的活塞，尖端和倾斜控制
- 作者：Greywall DS
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
23.Microbridge tests: II. On buckled thin gold films

机译：微桥测试：II。在弯曲的薄金膜上
- 作者：Huang B;Zhang TY
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第1期
- MICROMACHINED BEAMS;
24.A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses

机译：石英和硼硅酸盐玻璃热压印的玻璃碳模具聚焦离子束铣削研究
- 作者：Youn SW;Takahashi M;Goto H;Maeda R
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- MICRO PATTERNS;
- LITHOGRAPHY;
- NANOIMPRINT;
- FABRICATION;
- TECHNOLOGY;
25.Imprint template fabrication based on glass wet etching using a soft etching mask

机译：基于使用软蚀刻掩模的玻璃湿蚀刻的压印模板制作
- 作者：Wang QD;Duan YG;Lu BH;Ding YC;Tang YP
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- MICROFLUIDIC SYSTEMS;
- LITHOGRAPHY;
- STEP;
26.A silicon electrothermal rotational micro motor measuring one cubic millimeter

机译：硅电热旋转微型电动机，尺寸为一立方毫米
- 作者：Geisberger A;Kadylak D;Ellis M
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- ULTRASONIC MICROMOTOR;
- MM DIAMETER;
- ACTUATORS;
- DRIVEN;
27.Microelectromechanical tunable capacitors for reconfigurable RF architectures

机译：用于可重构RF架构的微机电可调电容器
- 作者：Rijks TGSM;Steeneken PG;van Beek JTM;Ulenaers MJE;Jourdain A;Tilmans HAC;De Coster J;Puers R
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- WIRELESS COMMUNICATIONS;
- MEMS DEVICES;
28.Design, kinematic modeling and performance testing of an electro-thermally driven microgripper for micromanipulation applications

机译：用于微操纵应用的电热驱动微夹持器的设计，运动学建模和性能测试
- 作者：Zeman MJF;Bordatchev EV;Knopf GK
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- THERMAL-EXPANSION COEFFICIENT;
- SMA MICROGRIPPER;
- FABRICATION;
- NICKEL;
29.Sacrificial layer etching process in joint channels

机译：关节通道中的牺牲层蚀刻工艺
- 作者：Wu CJ;Jin ZH;Ma HL;Lin SF;Wang YL
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
30.Microfluidic-optical integrated CMOS compatible devices for label-free biochemical sensing

机译：微流体光学集成CMOS兼容设备，用于无标签生化传感
- 作者：F. J. Blanco;M. Agirregabiria;J. Berganzo;K. Mayora;J. Elizalde;A. Calle;C. Dominguez;L. M. Lechuga
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第5期
31.Electrothermal effects at the microscale and their consequences on system design

机译：微观上的电热效应及其对系统设计的影响
- 作者：Jungen A;Pfenninger M;Tonteling M;Stampfer C;Hierold C
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- SILICON NANOWIRES;
- POLYSILICON;
- ACTUATORS;
- MICROACTUATOR;
- SCATTERING;
32.Analysis of out-of-plane thermal microactuators

机译：平面外热微执行器分析
- 作者：Atre A
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第2期
- ACTUATOR;
- DESIGN;
33.Sub-nanometer stable precision MEMS clamping mechanism maintaining clamp force unpowered for TEM application

机译：亚纳米级稳定精密MEMS夹紧机构，可保持TEM应用无动力的夹紧力
- 作者：D. M. Brouwer. B. R. de Jong;H. M. J. R. Soemers;J. Van Dijk
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
34.Effective heights and tangential momentum accommodation coefficients of gaseous slip flows in deep reactive ion etching rectangular microchannels

机译：深反应离子刻蚀矩形微通道中气态滑流的有效高度和切向动量容纳系数
- 作者：Jang JS;Wereley ST
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- GAS-FLOW;
- MICRODEVICES;
- CHANNELS;
35.An easy-to-implement method for evaluation of capacitive resonant sensors

机译：一种易于实现的电容谐振传感器评估方法
- 作者：Farzan Alavian Ghavanini;Henrik Rodjegard;Peter Enoksson
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
36.The 'acoustic scallop': a bubble-powered actuator

机译：``扇贝声''：气泡驱动的执行器
- 作者：Dijkink RJ;van der Dennen JP;Ohl CD;Prosperetti A
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- GAS-BUBBLES;
- TUBES;
- OSCILLATION;
- MICROPUMP;
- PHYSICS;
37.Seedless electroplating on patterned silicon

机译：在有图案的硅上进行无籽电镀
- 作者：L. D. Vargas Llona;H. V. Jansen;M. C. Elwenspoek
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
38.Creating a nano-sized light source by electrostatic trapping of nanoparticles in a nanogap

机译：通过静电捕获纳米间隙中的纳米粒子来创建纳米级光源
- 作者：Hoshino K;Yamada K;Matsumoto K;Shimoyama I
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- EMITTING-DIODES;
- ELECTROLUMINESCENCE;
- NANOCRYSTALS;
- DEVICES;
39.Directional droplet ejection by nozzleless acoustic ejectors built on ZnO and PZT

机译：通过基于ZnO和PZT的无喷嘴声喷射器进行定向液滴喷射
- 作者：Kwon JW;Yu HY;Zou Q;Kim ES
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- ARRAY;
- CHIP;
40.Design considerations and experimental results of a 100 W, 500 000 rpm electrical generator

机译：100 W，500 000 rpm发电机的设计考虑因素和实验结果
- 作者：Zwyssig C;Kolar JW
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
41.Fabrication of a hollow needle structure by dicing, wet etching and metal deposition

机译：通过切割，湿蚀刻和金属沉积来制造空心针结构
- 作者：Shikida M;Hasada T;Sato K
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- PHOTOLITHOGRAPHIC PATTERN TRANSFER;
- SILICON;
- MICRONEEDLES;
- ARRAY;
42.Experimental verification of the feasibility of a 100 W class micro-scale gas turbine at an impeller diameter of 10 mm

机译：叶轮直径为10 mm的100 W级微型燃气轮机可行性的实验验证
- 作者：Isomura K;Murayama M;Teramoto S;Hikichi K;Endo Y;Togo S;Tanaka S
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
43.A diamond-tip probe with silicon-based piezoresistive strain gauge for high-density data storage using scanning nonlinear dielectric microscopy

机译：带有硅基压阻应变仪的金刚石尖端探针，用于使用扫描非线性介电显微镜进行高密度数据存储
- 作者：Takahashi H;Ono T;Onoe A;Cho Y;Esashi M
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- FERROELECTRIC DATA-STORAGE;
44.Model predictive hydrodynamic regulation of microflows

机译：微流的模型预测流体动力调节
- 作者：Bleris LG;Garcia JG;Arnold MG;Kothare MV
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- ON-A-CHIP;
- FLOW SWITCHES;
- MEMS;
- SYSTEMS;
- DEVICES;
45.Polydimethylsiloxane membranes for millimeter-wave planar ultra flexible antennas

机译：用于毫米波平面超柔性天线的聚二甲基硅氧烷膜
- 作者：Tiercelin N;Coquet P;Sauleau R;Senez V;Fujita H
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- MICROSTRIP PATCH ANTENNA;
- CRYSTAL POLYMER LCP;
- DEVICES;
- BAND;
- GHZ;
46.Coupled FEM simulations of accelerometers including nonlinear gas damping with comparison to measurements

机译：加速度计的耦合有限元模拟，包括非线性气体阻尼与测量的比较
- 作者：Pursula A;Raback P;Lahteenmaki S;Lahdenpera J
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- TORSION MIRROR;
- FILM;
- SQUEEZE;
- MODEL;
- RESONATOR;
47.Microstructural, mechanical, fractural and electrical characterization of thinned and singulated silicon test die

机译：薄化和单片化硅测试芯片的微观结构，机械，断裂和电学表征
- 作者：Majeed B;Paul I;Razeeb KM;Barton J;OMathuna SC
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- SINGLE-CRYSTAL SILICON;
- TECHNOLOGY;
- STRENGTH;
48.CMOS micromachined structures using transistors in the subthreshold region for thermal sensing

机译：使用亚阈值区域中的晶体管进行热感应的CMOS微加工结构
- 作者：Lu MSC;Liu DH;Zheng LS;Tseng SH
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- TECHNOLOGY;
- MICROSTRUCTURES;
- SENSORS;
- IMAGER;
- ARRAY;
49.Highly decoupled single-crystal silicon resonators: an approach for the intrinsic quality factor

机译：高度解耦的单晶硅谐振器：一种固有品质因数的方法
- 作者：Baptiste Le Foulgoc;Tarik Bourouina;Olivier Le Traon;Alain Bosseboeuf;Frederic Marty;Cedric Breluzeau;Jean-Paul Grandchamp;Steve Masson
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
50.Micromachined air-gap structure MEMS acoustic sensor using reproducible high-speed lateral etching and CMP process

机译：采用可复制的高速横向蚀刻和CMP工艺的微机械气隙结构MEMS声传感器
- 作者：Ko SC;Jun CH;Jang WI;Choi CA
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- MICROPHONE;
- SILICON;
- MEMBRANE;
- SURFACE;
51.Interconnect microvia drilling with a radially polarized laser beam

机译：用径向偏振激光束互连微孔钻孔
- 作者：Venkatakrishnan K;Tan B
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- CYLINDRICAL VECTOR BEAMS;
- GENERATION;
- LIGHT;
52.A fully wafer-level packaged RF MEMS switch with low actuation voltage using a piezoelectric actuator

机译：使用压电致动器的低致动电压的完整晶圆级封装RF MEMS开关
- 作者：Park JH;Lee HC;Park YH;Kim YD;Ji CH;Bu J;Nam HJ
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- HIGH-FREQUENCY APPLICATIONS;
- PHASE SHIFTERS;
- DC;
- DESIGN;
53.The electrothermal feasibility of carbon microcoil heaters for cold/hot gas microthrusters

机译：碳微线圈加热器用于冷/热气微推力器的电热可行性
- 作者：Williams KL;Eriksson AB;Thorslund R;Kohler J;Boman M;Stenmark L
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
54.High pressure-resistant SU-8 microchannels for monolithic porous structure integration

机译：用于整体多孔结构集成的耐高压SU-8微通道
- 作者：Carlier J;Chuda K;Arscott S;Thomy V;Verbeke B;Coqueret X;Camart JC;Druon C;Tabourier P
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- LIQUID-CHROMATOGRAPHY;
- FLOW CHARACTERISTICS;
- MASS-SPECTROMETRY;
- NEGATIVE RESIST;
- SILICON;
- CHANNELS;
- CHIP;
- FABRICATION;
- POLYMERIZATION;
- INTERFACE;
55.Design principle and prototyping of a direct photosynthetic/metabolic biofuel cell (DPMFC)

机译：直接光合/代谢生物燃料电池（DPMFC）的设计原理和原型
- 作者：Furukawa Y;Moriuchi T;Morishima K
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- FUEL-CELL;
- THIN-FILM;
- BATTERIES;
56.A simple method for measuring the thermal diffusivity of surface-micromachined polysilicon thin films

机译：一种测量表面微机械加工的多晶硅薄膜的热扩散率的简单方法
- 作者：Qing-An Huang;Gaobin Xu;Lina Qi;Weihua Li
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第5期
57.Novel modification of Nafion (R) 117 for a MEMS-based micro direct methanol fuel cell (mu DMFC)

机译：Nafion（R）117的新型修改，用于基于MEMS的微型直接甲醇燃料电池（mu DMFC）
- 作者：Liu XW;Suo CG;Zhang YF;Wang XL;Sun C;Li L;Zhang LF
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- PROTON-EXCHANGE MEMBRANE;
- PORTABLE APPLICATIONS;
- COMPOSITE MEMBRANES;
- POROUS SILICON;
- ELECTROLYTE;
- TEMPERATURE;
- TRANSPORT;
- CROSSOVER;
58.Design criteria for bi-stable behavior in a buckled multi-layered MEMS bridge

机译：带扣多层MEMS桥中双稳态行为的设计标准
- 作者：Michael A;Kwok CY
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- MICROBRIDGE TESTS;
- MICROMECHANISMS;
- MICROVALVE;
- FILMS;
- BEAM;
59.Evolution of transient meniscus in a wettable microchannel for Newtonian fluid

机译：牛顿流体可湿性微通道中瞬态弯月面的演变
- 作者：Kim SM;Lee WI;Suh KY
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- THIN POLYMER-FILMS;
- SURFACE;
- DYNAMICS;
60.Control of strain gradient in doped polycrystalline silicon carbide films through tailored doping

机译：通过定制掺杂控制掺杂的多晶硅碳化硅膜的应变梯度
- 作者：Zhang JC;Howe RT;Maboudian R
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION;
- LPCVD POLYSILICON FILMS;
- 3C-SIC FILMS;
- MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS;
- THERMAL-EXPANSION;
- RESIDUAL-STRESS;
- SIC FILMS;
- 1;
- 3-DISILABUTANE;
- PRESSURE;
- MEMS;
61.Refractive lenses in silicon micromachining by reflow of amorphous fluorocarbon polymer

机译：非晶碳氟化合物聚合物回流硅微加工中的折射透镜
- 作者：Hedsten K;Karlen D;Bengtsson J;Enoksson P
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
- MICROLENS ARRAYS;
- OPTICAL-ELEMENTS;
- THERMAL REFLOW;
- FABRICATION;
- PHOTORESIST;
- REPLICATION;
- INTEGRATION;
- SCANNER;
- LAYERS;
- FILMS;
62.A micro-machined safety valve for power applications with improved sealing

机译：一种微机械安全阀，用于电力应用，具有改善的密封性
- 作者：Debray A;Nakakubo T;Yokoi A;Mogi S;Ueda K;Shibata M;Takeuchi S;Fujita H
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- FLOW-CONTROL;
- FUEL;
- MEMBRANES;
- POLYMER;
- WAFER;
63.Micromachined microbial and photosynthetic fuel cells

机译：微机械化的微生物和光合燃料电池
- 作者：Chiao M;Lam KB;Lin LW
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- ELECTRICITY-GENERATION;
- BIOFUEL CELLS;
- OUTPUT;
- LIGHT;
64.Piezoelectric AlGaAs bimorph microactuators

机译：压电AlGaAs双压电晶片微致动器
- 作者：L. Li;P. Kumar;S. Kanakraju;D. L. DeVoe
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第5期
65.The evolution from convex corner undercut towards microneedle formation: theory and experimental verification

机译：从凸角底切到微针形成的演变：理论和实验验证
- 作者：Wilke N;Reed ML;Morrissey A
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
- DRUG-DELIVERY;
- SILICON;
- FABRICATION;
- PLANES;
- MODEL;
- GENE;
- KOH;
66.Force feedback linearization for higher-order electromechanical sigma-delta modulators

机译：高阶机电sigma-delta调制器的力反馈线性化
- 作者：Dong YF;Kraft M;Redman-White W
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
- MICROMACHINED INERTIAL SENSORS;
- ACCELEROMETER;
- INTERFACE;
67.Pool boiling heat transfer on artificial micro-cavity surfaces in dielectric fluid FC-72

机译：电介质流体FC-72中人造微腔表面上的池沸腾传热
- 作者：Yu CK;Lu DC;Cheng TC
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- POROUS SURFACES;
- DYNAMIC-MODEL;
68.The fabrication of suspended micromechanical structures from bulk 6H-SiC using an ICP-RIE system

机译：使用ICP-RIE系统从块状6H-SiC制备悬浮微机械结构
- 作者：Hossain TK;MacLaren S;Engel JM;Liu C;Adesida I;Okojie RS
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
- ATOMIC-FORCE MICROSCOPE;
- SILICON-CARBIDE;
69.Hydrodynamic micro-encapsulation of aqueous fluids and cells via 'on the fly' photopolymerization

机译：通过“动态”光聚合对水性流体和细胞进行流体动力学微囊化
- 作者：Oh HJ;Kim SH;Baek JY;Seong GH;Lee SH
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第2期
- MONODISPERSE DOUBLE EMULSIONS;
- WALLED POLYMER MICROSPHERES;
- LIQUID JET;
- FLOW;
- MICROCAPSULES;
- DROPLETS;
- RELEASE;
- BREAKUP;
- DEVICE;
70.Mixing and separation of two-fluid flow in a micro planar serpentine channel

机译：微型平面蛇形通道中两种流体的混合与分离
- 作者：Yang JT;Lin KW
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- CHAOTIC ADVECTION;
- LAMINAR-FLOW;
- SYSTEM;
- FLUID;
- MIXER;
- PIPE;
71.Black silicon - new functionalities in microsystems

机译：黑硅-微型系统中的新功能
- 作者：Stubenrauch M;Fischer M;Kremin C;Stoebenau S;Albrecht A;Nagel O
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
72.Parametric identification of piezoelectric microscale resonators

机译：压电微型谐振器的参数识别
- 作者：Dick AJ;Balachandran B;DeVoe DL;Mote CD
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
- SYSTEMS;
- FILTERS;
73.Closed form solutions for the pull-in voltage of micro curled beams subjected to electrostatic loads

机译：承受静电载荷的微弯梁的引入电压的封闭形式解决方案
- 作者：Hu YC
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- DEVICES;
74.Numerical modeling of three-dimensional compressible gas flow in microchannnels

机译：微通道中三维可压缩气流的数值模拟
- 作者：Jain V;Lin CX
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第2期
- HEAT-TRANSFER;
- LIQUID FLOW;
- FLUID-FLOW;
75.Modeling of dry stiction in micro electro-mechanical systems (MEMS)

机译：微机电系统（MEMS）中的干摩擦建模
- 作者：Hariri A;Zu JW;Ben Mrad R
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- SELF-ASSEMBLED MONOLAYER;
- DER-WAALS FORCES;
- ADHESION;
- SURFACES;
- CONTACT;
- FILMS;
- STRENGTH;
76.The effect of soft bake temperature on the polymerization of SU-8 photoresist

机译：软烘烤温度对SU-8光刻胶聚合的影响
- 作者：Anhoj TA;Jorgensen AM;Zauner DA;Hubner J
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- HIGH-ASPECT-RATIO;
- MICROSTRUCTURES;
- LITHOGRAPHY;
- SYSTEMS;
- FABRICATION;
- ULTRATHICK;
- REDUCTION;
- RESIST;
- MEMS;
77.Spray etching 2 μm features in 304 stainless steel

机译：喷涂蚀刻2μm的304不锈钢
- 作者：Sudipta Chatterjee;Motoki Ujihara;Dong Gun Lee;Jerry Chen;Stanley Lei;Greg P. Carman
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
78.Stress control of polycrystalline 3C-SiC films in a large-scale LPCVD reactor using 1,3-disilabutane and dichlorosilane as precursors

机译：以1,3-二硅丁烷和二氯硅烷为前体的大型LPCVD反应器中多晶3C-SiC薄膜的应力控制
- 作者：Roper CS;Howe RT;Maboudian R
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- SILICON-CARBIDE;
- THIN-FILMS;
- SIC FILMS;
- STRAIN;
- MEMS;
- DEPOSITION;
- SYSTEMS;
79.Active micro-mixers utilizing a gradient zeta potential induced by inclined buried shielding electrodes

机译：有源微型混频器，利用倾斜的埋入式屏蔽电极产生的梯度zeta电位
- 作者：Lin JL;Lee KH;Lee GB
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
- SURFACE HETEROGENEITY;
- MICROFLUIDIC SYSTEMS;
- FLOW-CONTROL;
- ELECTROPHORESIS;
- MICROCHANNELS;
- GENERATION;
80.Vision-based measurement of microassembly forces

机译：基于视觉的微型装配力测量
- 作者：Anis YH;Mills JK;Cleghorn WL
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第8期
81.A conductivity-based interface tracking method for microfluidic application

机译：基于电导率的微流控界面跟踪方法
- 作者：Juan David Salgado;Keisuke Horiuchi;Prashanta Dutta
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第5期
82.A glass microfluidic chip adhesive bonding method at room temperature

机译：室温下的玻璃微流体芯片粘接方法
- 作者：Pan YJ;Yang RJ
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第12期
- CAPILLARY-ELECTROPHORESIS;
- FABRICATION;
- SYSTEMS;
- DEVICES;
- TECHNOLOGY;
83.A semi-analytical tool based on geometric nonlinearities for microresonator design

机译：基于几何非线性的微谐振器设计半分析工具
- 作者：Preidikman S;Balachandran B
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- RESIDUAL-STRESS;
- MEMS RESONATORS;
- SUBSTRATE;
84.A MEMS acoustic energy harvester

机译：MEMS声能采集器
- 作者：Horowitz SB;Sheplak M;Cattafesta LN;Nishida T
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
85.Design, fabrication and testing of a micromachined integrated tunable microlens

机译：微机械集成可调微透镜的设计，制造和测试
- 作者：Wang WS;Fang J
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- FILLED OPTICAL LENS;
86.Two-dimensional exact analysis for piezoelectric curved actuators

机译：压电弯曲执行器的二维精确分析
- 作者：Zhang TT;Shi ZF
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第3期
- BENDING BEHAVIOR;
- CANTILEVER BEAM;
- DESIGN;
- PERFORMANCE;
- DEVICES;
87.Development of an enzymatic reaction device using magnetic bead-cluster handling

机译：使用磁珠簇处理的酶促反应装置的开发
- 作者：Shikida M;Takayanagi K;Honda H;Ito H;Sato K
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- DROPLETS;
- SEPARATION;
- ACTUATION;
- SYSTEMS;
88.Integration of polymer and metal microstructures using liquid-phase photopolymerization

机译：液相光聚合法整合聚合物和金属微结构
- 作者：Agarwal AK;Beebe DJ;Jiang HR
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第2期
- X-RAY-LITHOGRAPHY;
- MICROFLUIDIC TECTONICS;
- LIGA PROCESS;
- FLOW-CONTROL;
- SILICON;
- MEMS;
- PHOTORESIST;
- TECHNOLOGY;
- CHANNELS;
- PLATFORM;
89.A micromachined thin-film gas flow sensor for microchemical reactors

机译：用于微化学反应器的微机械薄膜气体流量传感器
- 作者：Shin WC;Besser RS
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
- SILICON;
- SYSTEMS;
- GLASS;
90.Conformal AZ5214-E resist deposition on patterned (100) InP substrates

机译：保形的AZ5214-E可以在图案化（100）InP基板上沉积抗蚀剂
- 作者：Elias P;Gregusova D;Martaus J;Kostic I
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第2期
- PHOTORESIST;
- LITHOGRAPHY;
- MICROSCOPY;
- SURFACES;
- PROBES;
- MESA;
91.Low stress PECVD - SiN{sub}x layers at high deposition rates using high power and high frequency for MEMS applications

机译：低应力PECVD-使用高功率和高频率以高沉积速率在MEMS应用中使用SiN {sub} x层
- 作者：Ciprian Iliescu;Francis E. H. Tay;Jiashen Wei
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第4期
92.Numerical modeling and verification of gas flow through a network of crossed narrow v-grooves

机译：通过交叉的窄V型槽网络的气体流动的数值模拟和验证
- 作者：Bejhed J;Nguyen H;Astrand P;Eriksson A;Kohler J
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- MICROFLUIDICS;
- SYSTEMS;
- DEVICES;
- FLUID;
93.Strategies for void-free liquid filling of micro cavities

机译：微腔无空隙液体填充的策略
- 作者：Goldschmidtboeing F;Rabold M;Woias P
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- CAPILLARY;
- FLOW;
- DYNAMICS;
- MICROCHANNEL;
- SURFACES;
- GROWTH;
94.Refractive lenses in silicon micromachining by reflow of amorphous fluorocarbon polymer

机译：非晶碳氟化合物聚合物回流硅微加工中的折射透镜
- 作者：Karin Hedsten;David Karlen;Jorgen Bengtsson;Peter Enoksson
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
95.Creating multi-layered structures with freestanding parts in SU-8

机译：在SU-8中创建具有独立零件的多层结构
- 作者：Frederik Ceyssens;Robert Puers
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第6期
96.An optical probe stage and its applications in mechanical behavior measurements of micro-objects and thin films

机译：光学探针台及其在微物体和薄膜力学行为测量中的应用
- 作者：Li XD;Yang Y
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第9期
- SPECKLE PATTERN INTERFEROMETRY;
- SCANNING-ELECTRON-MICROSCOPE;
- DEFORMATION MEASUREMENT;
- MEMS MATERIALS;
- CARBON NANOTUBES;
- MOIRE;
- COMPONENTS;
- MICROELEMENTS;
- METHODOLOGY;
- DEFLECTION;
97.Full-wave electromagnetic and thermal modeling for the prediction of heat-dissipation-induced RF-MEMS switch failure

机译：全波电磁和热模型用于预测散热引起的RF-MEMS开关故障
- 作者：Wang ZD;Jensen BD;Chow LLW;Volakis JL;Saitou K;Kurabayashi K
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第1期
- POTENTIAL INTEGRALS;
- MICROSWITCHES;
- SCATTERING;
- SURFACES;
- SHAPE;
98.Characterization of a single-crystal silicon micromirror array for maskless UV lithography in biochip applications

机译：生物芯片应用中用于无掩模UV光刻的单晶硅微镜阵列的表征
- 作者：Jang YH;Lee KN;Kim YK
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第11期
- FABRICATION;
- MIRRORS;
99.Application of capillary forces and stiction for lateral displacement, alignment, suspension and locking of self-assembled microcantilevers

机译：毛细作用力和静力在自组装微悬臂梁的侧向位移，对准，悬挂和锁定中的应用
- 作者：Rose F;Hattori M;Kobayashi D;Toshiyoshi H;Fujita H;Kawakatsu H
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第10期
- MICROMECHANICAL STRUCTURES;
- SMALL CANTILEVERS;
- SURFACE-TENSION;
- MICROSCOPY;
- ADHESION;
- MEMS;
- MICROSTRUCTURES;
- SPECTROSCOPY;
- COATINGS;
- SYSTEMS;
100.A 3D paired microelectrode array for accumulation and separation of microparticles

机译：3D配对微电极阵列，用于微粒的积累和分离
- 作者：Chen DF;Du H;Li WH
- 期刊名称：《Journal of Micromechanics and Microengineering》 | 2006年第7期
- DIELECTROPHORESIS;
- CELLS;

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