公开/公告号CN105555704B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 卡文迪什动力有限公司;
申请/专利号CN201480048429.6
申请日2014-09-02
分类号
代理机构北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人谢攀
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:56:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-24
授权
授权
2016-10-05
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20140902
实质审查的生效
2016-05-04
公开
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机译: 在MEMS器件中形成平面牺牲材料的方法
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