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一种新颖的MEMS表面工艺牺牲层厚度的电测量方法

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摘要

牺牲层厚度是MEMS表面工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义.目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长.本文介绍了一种新颖的MEMS表面工艺牺牲层厚度测试技术,实现了牺牲层厚度的电测量,测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成.

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来源
《电子器件》|2006年第1期|73-75|共3页
作者
李晓鹏; 李伟华;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
牺牲层; 厚度; 电测量;
入库时间 2023-07-25 14:26:25

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