polymeric MEMS; SU-8 micromachining; polymer substrate; maskless lithography; laser micromachining;
机译:低温加工的SU-8光刻胶在MEMS器件制造中的分层分析
机译:MEMS在无牺牲层面工艺中使用SU-8换能器的低成本制造
机译:MEMS的面内兼容SU8结构的制造和研究及其在微阀和微夹持器中的应用
机译:制造测试结构以监测用于MEMS应用的SU-8膜中的应力
机译:使用掩埋的光刻胶掩模方法制造多层,独立式,SU-8结构
机译:MEMS S&A器件金属/硅复合结构的混合制造工艺
机译:SU-8内部MEMS结构的简单稳健的制造过程
机译:标准工艺中的3D mEms:制造,质量保证和新型测量微结构