Department of Electronics Engineering MITERI, Myongji University, Yongin, Korea;
SU-8; design of experiment; neural network modeling; delamination;
机译:低温加工的SU-8光刻胶在MEMS器件制造中的分层分析
机译:使用屈曲驱动的分层技术和二氧化碳雪花喷射技术去除SU-8光刻胶,用于微流体制造
机译:在熔融二氧化硅透明基板上的粘附和无裂缝SU-8光致抗蚀剂衍生碳MEMS的方法和制造
机译:低温加工SU-8光致抗蚀剂的分层分析MEMS器件制造
机译:利用人工智能和有限元分析的MEMS器件新颖设计和优化过程。
机译:在SU-8光刻胶上的聚吡咯上使用电沉积硅制造视网膜假体测试装置
机译:利用选择性聚合制备sU-8光刻胶中的聚合多模波导和器件。
机译:利用mEms技术制造球形微型器件封装的工艺开发。