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机译:EPL(电子束投影光刻)的抗蚀剂开发进展
EPL; resist; sensitivity; line edge roughness; resolution;
机译:EPL(电子束投影光刻)的抗蚀剂开发进展
机译:邻近电子光刻技术的进展:使用低能电子束邻近投影光刻技术β的打印和覆盖性能演示
机译:低能电子束邻近投影光刻中的分辨率限制因素:掩模,投影和抗蚀剂工艺
机译:电子束投影平版印刷术(EPL)的超临界抗干技术
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:使用原位自显影抗蚀剂进行带反馈的电子束光刻
机译:用于电子束光刻的新型缩醛抗蚀剂的最新进展