角度限制散射投影电子束光刻

摘要

角度限制散射投影电子束光刻（ＳＣＡＬＰＥＬ）采用并行投影技术，具有分辨率高、曝光范围大的特点，可望获得远比电子束直写光刻高的产量。本文介绍了ＳＣＡＬＰＥＬ的原理。