机译:邻近电子光刻技术的进展:使用低能电子束邻近投影光刻技术β的打印和覆盖性能演示
Proximity electron lithography; Low-energy electron-beam proximity-projection lithography; Stencil mask; Complementary splitting; Mask error enhancement factor; Defect printability; Mix-and-match lithography; Image placement correction;
机译:邻近电子光刻技术的进展:使用低能电子束邻近投影光刻技术β的打印和覆盖性能演示
机译:低能量电子束接近投影光刻工具在大扫描场下的电子光学性能
机译:低能电子束邻近投影光刻中的分辨率限制因素:掩模,投影和抗蚀剂工艺
机译:低能电子束接近投影光刻技术对70 nm节点的成像能力
机译:负电子亲和性光电阴极,用作电子束光刻和显微镜检查的高性能电子源。
机译:通过提高精度的电子束光刻覆盖层来制造三维悬浮层间和分层纳米结构
机译:低能量电子束接近投影光刻曝光工具开发的现状。
机译:电子束光刻的邻近效应校正程序