摘要：太赫兹器件要求其支撑衬底具有较低的传输损耗,在太赫兹波段,聚合物薄膜材料不仅吸收小,而且折射率低,引起的反射损耗小,是理想的太赫兹器件衬底材料.然而,聚合物薄膜因其柔性特征,自支撑性差,难以直接在其表面大面积制备微纳结构.为了解决这一问题,提出了一种硬质基底辅助支撑的太赫兹器件制备方法,通过在平整无机硬质基底表面通过化学方法首先将聚合物衬底制作于其表面,然后再利用微纳工艺制备太赫兹器件结构,使制备器件结构在大面积范围内均一,保证其性能稳定.结果表明,该方法所制备的太赫兹偏振片在0.1THz处,器件的偏振消光比可达到50dB,在0.1-2THz范围内偏振方向的平均透过率高达89.78％,在42.3mm直径的区域内,其偏振均匀性良好.
