摘要：电子背散射衍射装置是获取材料的亚微米的范畴晶体学信息扫描电镜附件,此装置可在观察材料的形貌及分析成分的同时研究材料的取向关系.本文介绍了两种不同档次的电子背散射衍射接收系统,该系统的CCD以快速方式接收的灵敏度为5mlux,积累方式接收的灵敏度为10μlux,分辨率为512dpi,像元数分别为512×512×8bit、512×512×16bit,扫描卡最高的分辨率为4096×4096,并成功地安装在北京有色金属研究总院JSM-840扫描电镜上.此系统设计合理、结构简单、操作方便安全.同时编写了识别和标定电子背散射衍射花样的软件.
