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N离子轰击对纳米金刚石薄膜微观形貌的影响

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本文用微波等离子化学气相沉积的方法,先在单晶Si片上制备出厚度为400nm左右的纳米金刚石薄膜,然后采用高能N离子束轰击的方法,对纳米金刚石薄膜进行离子束轰击,以期达到改善金刚石薄膜摩擦性能的目的.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学术会议》|2001年|302-303|共2页
会议地点包头
作者
徐洮; 杨生荣; 吕晋军; 薛群基;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;电子光学仪器;
关键词
离子轰击; 纳米金刚石薄膜; 化学气相沉积; 微观形貌; 晶体结构; 扫描电镜;
入库时间 2022-08-17 10:21:14

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