摘要：本文从10MeV/20kW返波加速器的基本组成和工作原理出发,详细介绍了其真空系统的设计思想和实施方案,包括离子泵电源的详细设计。在电子束流通道上设计的分布式布置的真空系统,与辐照加速器中各真空部件紧密结合,可以最快速地抽除各气源部件工作时释放的气体,使加速器维持一个最佳的工作状态。针对加速器真空系统具有连锁保护功能等特定要求,详细介绍了一种专门用于辐照加速器的离子泵电源的设计思想及具体实施电路。该电源基于单端反激式开关电源原理,使用单端反激式开关电源取代传统的线性电源方式获得高压,效率高,体积小,重量轻,功率范围20～100W,可以直接使用24V低压电源(如蓄电池)供电,在市电停电时仍然可实现溅射离子泵的24小时不间断工作;电源输出高压从3kV-7kV连续可调。该电源还包括完整的离子泵及电源工作状态在线监测与状态报警保护功能,包括电压、电流实时监测与显示,电流、电压异常时联锁保护装置,可以在电源的工作状态和设备的真空状态发生异常时通过继电器的触点报告给加速器控制系统,从而满足加速器需要对真空系统进行电流、电压监控及联锁保护的要求。
