热梯度化学气相沉积工艺与设备的发展

摘要

用化学气相沉积法增密多孔坯体,尤其是炭纤维增强坯体,使坯体沿横截面建立起一定的温度梯度,控制碳源气体仅在坯体高温带上裂解、沉积.沉积增密的坯体的电导性和热导性提高,区域温度升高,使高温区向低温区扩展,沉积区逐步扩大.该工艺较能保证获得所需要的材料的显微组织结构,并能大大提高沉积效率.为克服当前广泛使用的等温等压法CVD及压差法CVD的工艺设备生产周期长和生产成本高的不足,本文介绍了几种热梯度化学气相沉积的工艺与设备,同时也比较了其可行性与优缺点.