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【2h】

Novel process and apparatus design for metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) of superconducting thin films

机译:用于超导薄膜的金属有机化学气相沉积(mOCVD)的新工艺和设备设计

摘要

by Brian Norio Hubert.
机译:由Brian Norio Hubert撰写。

著录项

  • 作者

    Hubert Brian Norio;

  • 作者单位
  • 年度 1996
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类

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