热梯度化学气相沉积工艺及其温度梯度的研究

摘要

阐明了用于制备炭/炭复合材料的热梯度化学气相沉积工艺过程和原理.本文测定了预成型体内不同位置的温度,并对温度梯度的变化进行了讨论.研究结果表明,在热梯度化学气相沉积工艺中,预成型体内存在温度梯度,前驱体气体从低温的冷面通过扩散进入高温热解区,前驱体气体在高温热解区裂解沉积热解炭.随着沉积过程的进行,热解区内部的孔隙被热解炭填充,热解区逐层向外推移.热梯度化学气相沉积炉内温度分布可用傅立叶定律来描述.通过温度梯度曲线可以得到热解沉积区域的厚度.