化学气相沉积 Ti(C·N)工艺及设备

摘要

本文介绍了用 CVD 法获得 Ti(C·N)沉积层的工艺及设备.在模具上沉积的 Ti(C·N)层硬度高、摩擦系数小、与基体结合牢、抗粘结性好,经沉积的模具寿命提高3～7倍.在工模具表面沉积一层碳化钛或碳氮化钛,可使其寿命提高几倍到十几倍,引起国内外科技人员的普遍重视.因而化学气相沉积(CVD)法最近几年在国外得到广泛应用.我们采用 C_6H_5CH_3+H_2+N_2+TiCl_4,在常压下沉积 Ti(C·N),随后在保护气氛中淬火,解决了模具的变形问题,已成功地应用于生产.