化学气相沉积/化学气相渗透工艺尾气处理方法与设备

摘要

本发明公开了一种工业化CVI/CVD工艺尾气处理方法与设备，主要用于以含氯硅烷为原料的工业化生产过程的尾气处理，也可用于其它真空设备的尾气处理。本发明采用机械泵油循环沉降过滤技术、蒸汽与尾气反应处理技术和尾气处理产物分离技术对经过油过滤、固体过滤的尾气进行处理，使尾气处理后的气体、液体和固体产物的排放均满足环保要求。本发明提高了机械泵工作的稳定性，具有尾气处理设备无噪音、寿命长、成本低廉且清理和维护简单方便等优点。