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等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺尾气危害性解析

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简要介绍了PECVD设备工艺尾气危害性及防护措施.

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来源
《洁净与空调技术》|2011年第1期|1-3|共3页
作者
廖雪江;
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作者单位

深圳奥意建筑工程设计有限公司;

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正文语种 chi
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关键词
PECVD; 工艺尾气; 危害性; 防护措施;

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