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周美丽; 陈强; 葛袁静;
北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室;
阻隔包装; Si-O-N; RF-PECVD; 性能;
机译:添加氮气和退火对射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)沉积的DLC膜的电性能的影响
机译:通过射频等离子体增强化学气相沉积法低温生长碳纳米结构(通过RF-PECVD低温生长碳纳米结构)
机译:通过射频等离子体增强的热丝化学气相沉积制备的对准碳纳米管阵列的超级电容器性能
机译:通过化学气相渗透/化学气相沉积技术制备纳米多孔碳化硅膜的实验研究和计算机模拟。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:新型等离子体增强化学气相沉积法制备氧气阻隔涂层
机译:化学气相沉积和等离子体辅助化学气相沉积技术制备碳 - 碳复合材料氧化保护体系的研究。
机译:射频供电的等离子体增强化学气相沉积反应器和实现等离子体增强化学气相沉积的方法
机译:射频功率等离子体增强化学气相沉积反应器和影响等离子体增强化学气相沉积的方法
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