microcrystalline silicon; reactive plasmas;
机译:利用定制的电压波形研究SiH4 / H2等离子体沉积微晶硅的生长机理
机译:利用定制的电压波形研究SiH_4 / H_2等离子体沉积微晶硅的生长机理
机译:等离子体增强化学气相沉积生长的微晶硅薄膜-生长机理和晶粒尺寸控制
机译:从反应等离子体获得的微晶硅的生长机理
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:电感耦合等离子体炬合成硅纳米线的生长机理及其相关的光致发光性能
机译:硅烷作为等离子体沉积微晶硅薄膜的生长速率催化剂
机译:异质结太阳能电池的微晶硅生长