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机译:利用定制的电压波形研究SiH_4 / H_2等离子体沉积微晶硅的生长机理
LPICM-CNRS, Ecole Polytechnique, route de Saclay, 91128 Palaiseau, France;
LPICM-CNRS, Ecole Polytechnique, route de Saclay, 91128 Palaiseau, France,ICARE China-Europe Institute for Clean and Renewable Energy at Huazhong University of Science and Technology, 1037 Luoyu Road, 430074 Wuhan, China;
LPICM-CNRS, Ecole Polytechnique, route de Saclay, 91128 Palaiseau, France,TOTAL New Energies, 24 cours Michelet, 92069 Paris La Defense Cedex, France;
LPICM-CNRS, Ecole Polytechnique, route de Saclay, 91128 Palaiseau, France;
机译:利用定制的电压波形研究SiH4 / H2等离子体沉积微晶硅的生长机理
机译:使用等离子工艺沉积的微晶硅太阳能电池受到定制电压波形的激励
机译:使用等离子工艺沉积的微晶硅太阳能电池受到定制电压波形的激励
机译:使用SiCl_4 / H_2在低温下沉积多晶硅膜的生长机理研究
机译:利用电容驱动射频等离子体电压波形剪裁的带电粒子动力学和电子功率吸收动力学的控制
机译:电感耦合等离子体炬合成硅纳米线的生长机理及其相关的光致发光性能
机译:来自四氟化硅的微晶硅薄膜沉积:使用量身定制的电压波形等离子体隔离离子能量的作用
机译:矿渣形成机制的基础研究:电站锅炉沉积物形成中的引发,生长和烧结研究:局部技术报告