机译:乙硅烷作为等离子体沉积微晶硅薄膜的生长催化剂
机译:衬底对等离子体增强化学气相沉积法沉积微晶硅薄膜生长的影响
机译:在低温下通过等离子体沉积的微晶硅薄膜中的杂相生长增强了化学气相沉积
机译:在不同的等离子体激发频率下以高生长速率沉积的微晶硅膜的特性
机译:金属诱导的用于太阳能电池的微晶硅薄膜的生长。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:等离子体沉积无定形和微晶硅薄膜的表面反应和生长动力学
机译:椭圆偏振研究电子回旋共振等离子体沉积硅薄膜的成核和生长。