机译:用于22 nm节点互补金属氧化物半导体(CMOS)中的源极/漏极工程的SiGe选择性外延的优化
机译:HCl化学气相蚀刻和SiGe:B选择性外延的集成,用于MOSFET的源极/漏极应用
机译:用于10 nm节点互补金属氧化物半导体(CMOS)的源区和漏区中的SiGe层的生长
机译:源/漏区外延SiGe硅帽研究
机译:将选择性硅外延与薄的侧壁隔离层集成在一起,用于亚微米级的高源/漏MOSFET。
机译:使用隧道FET中的SiGe源/漏区提高ESD保护的鲁棒性
机译:Si / SiGe谐振带间隧穿二极管中的扩散势垒覆层及其在PMOS源/漏区上的图形生长